基本信息:
- 专利标题： 一种应用于FIB光刻技术中的实时检测设备
- 申请号：CN202510083409.2 申请日：2025-01-20
- 公开(公告)号：CN119861536A 公开(公告)日：2025-04-22
- 发明人： 张洁 , 张启华 , 简维廷 , 汪俊亮 , 张勇为 , 蒋军浩 , 吕佑龙
- 申请人： 东华大学
- 申请人地址： 上海市长宁区延安西路1882号
- 专利权人： 东华大学
- 当前专利权人： 东华大学
- 当前专利权人地址： 上海市长宁区延安西路1882号
- 代理机构： 上海申汇专利代理有限公司
- 代理人： 翁若莹
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明公开了一种应用于FIB光刻技术中的实时检测设备，包括用于离子束光刻的N把离子枪和用于离子束光刻之后的检测以保证光刻质量的N把电子枪一，N≥1，其特征在于，离子枪与电子枪一分别控制，同步工作。本发明具有如下有益效果：电子与离子枪相隔一定距离，能够实现同步工作的同时，确保互不干扰(尤其是电子枪不会干扰离子枪的工作)，实现实时检测的同时，大幅提高离子束光刻以及检测的效率；电子枪和离子枪分别单独控制，可以实现更好的“实时监控”；电子枪单独控制与工作，可以获得更好的监测效果。