基本信息:
- 专利标题： 硅片盒门板的检测方法和硅片盒门板的检测系统
- 申请号：CN202411791667.8 申请日：2024-12-06
- 公开(公告)号：CN119869963A 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 李勇男
- 申请人： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 , 西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 申请人地址： 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
- 专利权人： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司,西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 当前专利权人： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司,西安奕斯伟硅片技术有限公司
- 当前专利权人地址： 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
- 代理机构： 北京布瑞知识产权代理有限公司
- 代理人： 张帆
- 主分类号： B07C5/34
- IPC分类号： B07C5/34 ; H01L21/67 ; G01B21/00 ; G01B21/32 ; G01D21/00 ; B07C5/02
摘要：
本申请提供了硅片盒门板的检测方法和硅片盒门板的检测系统，所述方法包括：分离硅片盒的硅片盒本体和硅片盒门板；检测所述硅片盒门板的硅片支撑件是否满足目标异常条件；所述目标异常条件包括安装未到位、变形和凸起中的一种或多种。本申请首先分离硅片盒的硅片盒本体与硅片盒门板，将硅片盒门板暴露出来。然后，对硅片盒门板上的硅片支撑件进行检测，以确定其是否满足目标异常条件。本申请保证了硅片盒门板在进入片盒清洗机之前，相应的硅片支撑件的状态符合设备运行要求，有效减少了因硅片支撑件异常引发的片盒清洗机的硬件损坏和硅片盒的品质不良。
IPC结构图谱:
| B | 作业；运输 |
| --B07 | 将固体从固体中分离；分选 |
| ----B07C | 邮件分拣；单件物品的分选，或适于一件一件地分选的散装材料的分选，如拣选 |
| ------B07C5/00 | 按照物品或材料的特性或特点分选，例如用检测或测量这些特性或特点的装置进行控制；用手动装置，例如开关，来分选 |
| --------B07C5/34 | .根据其他特殊性质来分选 |