基本信息:
- 专利标题： 气体分析系统及气体分析方法
- 申请号：CN202411903797.6 申请日：2024-12-23
- 公开(公告)号：CN119881062A 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 王魁波 , 罗艳 , 吴晓斌 , 韩晓泉 , 丁金滨 , 郑龙晖
- 申请人： 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人： 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构： 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理人： 张鹏
- 主分类号： G01N27/62
- IPC分类号： G01N27/62 ; G01N35/10
摘要：
本发明属于气体检测及分析技术领域，具体涉及一种气体分析系统及气体分析方法。本发明中气体分析系统包括工艺腔室、采样单元、质谱分析单元、抽真空单元和校准单元；质谱分析单元包括分析室、气体分析仪和第一真空计，分析室通过采样单元和工艺腔室连通，气体分析仪和分析室连通，用于分析分析室内部气体的成分和浓度，第一真空计连接于分析室，用于监测分析室的真空度；抽真空单元和分析室连通，抽真空单元用于抽吸分析室的气体；校准单元包括标准气源，标准气源为已知数据的气体，数据包括成分和浓度，标准气源能够通向分析室。本技术方案中的气体分析系统能够通过校准单元进行校准，从而提高分析结果的精准度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N27/00 | 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料 |
| --------G01N27/62 | .通过测试气体的电离，通过测试放电，例如阴极发射 |