基本信息:
- 专利标题： OPC模型的量化评估方法
- 申请号：CN202510105516.0 申请日：2025-01-23
- 公开(公告)号：CN119882360A 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 伍思昕 , 杨颖玥 , 李玉莹
- 申请人： 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 申请人地址： 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
- 专利权人： 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人： 上海华虹宏力半导体制造有限公司
- 当前专利权人地址： 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区祖冲之路1399号
- 代理机构： 上海浦一知识产权代理有限公司
- 代理人： 刘昌荣
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本发明提供一种OPC模型的量化评估方法，基于OPC模型，得到各个光罩图形的光强分布I，光强分布I由必须项、辅助项以及调节各项的系数组成；通过各个光罩图形的光强分布I和晶圆关键尺寸得到光强I