基本信息:
- 专利标题： 硅基开关滤波器组的制作方法及硅基开关滤波器组
- 申请号：CN202411802335.5 申请日：2024-12-09
- 公开(公告)号：CN119892003A 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 曹海潮 , 校少辉 , 张智鹏 , 吕亮亮 , 梁红雁 , 李振南 , 林正华 , 赵子豪 , 欧毅 , 谷华锋
- 申请人： 北京晨晶电子有限公司
- 申请人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路6号院9号楼1至14层101内6层601室
- 专利权人： 北京晨晶电子有限公司
- 当前专利权人： 北京晨晶电子有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市朝阳区酒仙桥路6号院9号楼1至14层101内6层601室
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理人： 蔺向星
- 主分类号： H03H9/46
- IPC分类号： H03H9/46 ; H10N30/082
摘要：
本发明提供一种硅基开关滤波器组的制作方法及硅基开关滤波器组，该方法包括：刻蚀步骤、隔离层形成步骤、金属层形成步骤、开关芯片安装步骤和键合步骤；依次包括：在下底板、中间层及上盖板上分别刻蚀出硅通孔；在下底板的上下表面、中间层的上下表面、上盖板的上下表面和硅通孔侧壁表面形成衬底绝缘隔离层；在衬底绝缘隔离层外形成金属层；在中间层内靠近下底板的区域形成硅腔，在下底板上设置开关芯片，通过金丝将开关芯片与金属层连接；键合下底板、中间层及上盖板，形成三层硅基衬底以使金属层互联下底板、中间层及上盖板，并使开关芯片位于硅腔内。可以实现滤波器组的小型化，并降低滤波器组的能耗。
IPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H03 | 基本电子电路 |
| ----H03H | 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器 |
| ------H03H9/00 | 包括机电或电声元件的网络，如谐振电路 |
| --------H03H9/46 | .滤波器 |