基本信息:
- 专利标题： 基于石墨烯双材料栅极隧穿场效应晶体管的生物传感器
- 申请号：CN202510075697.7 申请日：2025-01-17
- 公开(公告)号：CN119894042A 公开(公告)日：2025-04-25
- 发明人： 鲁成龙 , 刘宪云 , 杨迪
- 申请人： 常州大学
- 申请人地址： 江苏省常州市武进区湖塘镇滆湖中路21号
- 专利权人： 常州大学
- 当前专利权人： 常州大学
- 当前专利权人地址： 江苏省常州市武进区湖塘镇滆湖中路21号
- 代理机构： 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 张秋月
- 主分类号： H10D30/60
- IPC分类号： H10D30/60 ; H10D30/01 ; H10D64/23 ; H10D64/27 ; H10D64/62 ; H10D64/64 ; H10D64/66 ; H10D62/83 ; H10D62/10 ; G01N27/22
摘要：
本发明涉及生物传感器领域，具体涉及一种基于石墨烯双材料栅极隧穿场效应晶体管的生物传感器，包括石墨烯沟道、源极、漏极、绝缘介质层、硅衬底、栅介质层、第一栅极、第二栅极、生物介质层和生物纳米空腔；硅衬底、绝缘介质层、石墨烯沟道和栅介质层自下而上依次层叠设置；源极、漏极位于石墨烯沟道的左右两侧；生物介质层和第二栅极分别层叠在栅介质层的上表面的左右两端部，生物介质层镂空形成生物纳米空腔；第一栅极层叠在生物介质层上表面；第一栅极的金属材料和第二栅极的金属材料的功函数不同。本发明能够对石墨烯沟道的能带进行全面调控，无需对石墨烯进行掺杂即可以实现石墨烯之间的能带隧穿，制造工艺较为简单，且灵敏度高。