基本信息:
- 专利标题： 单片集成式半导体主振荡功率放大器激光器
- 申请号：CN202411725613.1 申请日：2024-11-28
- 公开(公告)号：CN119905892A 公开(公告)日：2025-04-29
- 发明人： 宋浩 , 张瑞康 , 陆丹 , 赵玲娟
- 申请人： 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人： 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人： 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构： 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理人： 常芳
- 主分类号： H01S5/026
- IPC分类号： H01S5/026 ; H01S5/12 ; H01S5/20 ; H01S5/343
摘要：
本发明提供一种单片集成式半导体主振荡功率放大器激光器，涉及半导体光电子技术领域，该激光器包括：采用标准半导体同一有源区工艺集成在同一衬底上的主振荡区和功率放大器区；功率放大器区采用有源1×1多模干涉耦合器结构；该激光器采用单片集成式结构。本发明可以改善光斑扁平问题，从而有利于与光纤或波导器件的耦合，简化系统耦合过程，易于大规模生产应用。