
基本信息:
- 专利标题: 微区红外探针
- 申请号:CN202510115593.4 申请日:2025-01-24
- 公开(公告)号:CN119915765A 公开(公告)日:2025-05-02
- 发明人: 李浩 , 魏伟 , 刘洋 , 朱逸 , 张俊楠 , 张珽
- 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 代理机构: 苏州三英知识产权代理有限公司
- 代理人: 林愉欣
- 主分类号: G01N21/35
- IPC分类号: G01N21/35 ; G01N21/3563 ; G01N21/01 ; G02B17/08
摘要:
本发明公开了一种微区红外探针,其包括:微区红外光源、反射镜、卡塞格林棱镜和真空样品腔。微区红外光源用于发射多束平行的红外光线;反射镜设置于所述红外光线的光路上,用于反射所述红外光线;卡塞格林棱镜设置于被反射的所述红外光线的光路上,用于聚焦所述多束平行的红外光线;真空样品腔设置于被聚焦的所述红外光线的光路上,用于容置待测样品,所述红外光线能够进入所述真空样品腔。本发明的微区红外探针采用卡塞格林棱镜配合真空样品腔,能够将红外光线聚焦到样品的表面并达到了微米级的分辨率,提高了探测的精度,有效避免了水分、氧气等因素对二维材料异质集成器件的氧化。
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N21/00 | 利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
--------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
----------G01N21/21 | ..影响偏振的性质 |
------------G01N21/31 | ...测试材料在特定元素或分子的特征波长下的相对效应,例如原子吸收光谱术 |
--------------G01N21/35 | ....利用红外光 |