基本信息:
- 专利标题： 一种声表面波器件的膜层设计及其制备方法
- 申请号：CN202510001450.0 申请日：2025-01-02
- 公开(公告)号：CN119945374A 公开(公告)日：2025-05-06
- 发明人： 舒平 , 唐向洁 , 陈国东 , 古健 , 郭耀祖 , 董姝 , 杜雪松 , 高钰奇 , 陈兴 , 冷俊林
- 申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 华为终端有限公司
- 申请人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所,华为终端有限公司
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所,华为终端有限公司
- 当前专利权人地址： 重庆市南岸区南坪花园路14号
- 代理机构： 重庆辉腾律师事务所
- 代理人： 王海军
- 主分类号： H03H9/64
- IPC分类号： H03H9/64 ; H03H9/02
摘要：
本发明涉及SAW声表面波电子器件技术领域，具体涉及一种声表面波器件的膜层设计及其制备方法，包括由下至上的衬底、WALL PI层和ROOF PI层；衬底与WALL PI层之间设有PAD结构；所述PAD结构与衬底接触；WALL PI层和ROOF PI层在PAD结构上方开有通孔，通孔侧壁及底部覆盖有一个UBM层，且UBM层与PAD结构接触；UBM层表面设有锡球，UBM层与锡球间通过电镀填充铜实现电连通；本发明在原本的PAD层表面设置一种特殊结构，增加UBM层与PAD层的接触面积，提高膜层间的结合力，进而增加膜层间的结合强度，有效提升声表器件的可靠性。