基本信息:
- 专利标题： 用于高速原子力显微镜的单晶金刚石探针悬臂及其加工
- 申请号：CN202510227451.7 申请日：2025-02-27
- 公开(公告)号：CN120064712A 公开(公告)日：2025-05-30
- 发明人： 焦放 , 张鸥 , 米丝辰
- 申请人： 中国科学院物理研究所
- 申请人地址： 北京市海淀区中关村南三街八号
- 专利权人： 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院物理研究所
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区中关村南三街八号
- 代理机构： 北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙)
- 代理人： 关艳芬
- 主分类号： G01Q60/24
- IPC分类号： G01Q60/24 ; B23K26/38 ; B23K26/402 ; B23K26/70 ; B23K26/08 ; G01Q60/38
摘要：
本发明提供了一种用于高速原子力显微镜的单晶金刚石探针悬臂及其加工方法。该加工方法包括：获取指定厚度的单晶金刚石薄膜；使激光对准薄膜的侧面，沿着薄膜一端的底边以激光与薄膜的表面成设定角度的方式对薄膜进行切割，得到一端具有设定角度的斜角的单晶金刚石薄膜；从具有斜角的单晶金刚石薄膜的平坦表面一侧对斜角所在的单晶金刚石薄膜的端部进行激光切割，以切割出悬臂的预图案；使用聚焦离子束对悬臂进行精细纳米加工，得到目标尺寸的单晶金刚石探针悬臂。本发明的方案实现了超薄单晶金刚石一体化悬臂的制造。