基本信息:
- 专利标题： 一种微动台位置测量系统
- 申请号：CN202510316584.1 申请日：2025-03-18
- 公开(公告)号：CN120065644A 公开(公告)日：2025-05-30
- 发明人： 李晓勇 , 赵宏亮 , 刘强 , 李建辉 , 关宏武 , 王学军
- 申请人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 申请人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理人： 高燕
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
本申请提供了一种微动台位置测量系统，包括：光源模块产生环形高斯光束并入射到位置测量模块；位置测量模块响应于接收到的环形高斯光束，产生对应的光生电流信号，并对光生电流信号进行电压转换处理，得到电压数据并发送到位置计算模块；位置计算模块基于每个微动台位置探测设备对应的电压数据，确定微动台相对于粗动台的位置信息。本申请通过将光源模块和位置测量模块进行一体化连接，降低微动台位置测量系统集成复杂性，且基于不同微动台位置探测设备的探测数据确定微动台位置，提高精度。