基本信息:
- 专利标题： 药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体
- 申请号：CN202510228996.X 申请日：2019-07-10
- 公开(公告)号：CN120065655A 公开(公告)日：2025-05-30
- 发明人： 大松祯 , 上村哲也 , 清水哲也 , 高桥智美 , 大津晓彦
- 申请人： 富士胶片株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人： 富士胶片株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 薛海蛟
- 优先权： 2018-133580 2018.07.13 JP
- 分案原申请号： CN201980046230.2 2019.07.10
- 主分类号： G03F7/32
- IPC分类号： G03F7/32 ; G03F7/40 ; G03F7/42 ; G03F7/20 ; G03F7/30 ; G03F7/039 ; H01L21/304 ; C11D7/50 ; C11D7/26 ; C11D7/24
摘要：
本发明的课题为提供一种即使在长期保存之后，缺陷抑制性能也优异的药液、试剂盒、图案形成方法、药液的制造方法及药液收容体。本发明的药液为含有有机溶剂、酸成分及金属成分的药液，其中，酸成分的含量相对于药液的总质量为1质量ppt以上且15质量ppm以下，金属成分的含量相对于药液的总质量为0.001～100质量ppt。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03F | 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备 |
| ------G03F7/00 | 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备 |
| --------G03F7/16 | .涂层处理及其设备 |
| ----------G03F7/30 | ..用液体消除影像的 |
| ------------G03F7/32 | ...所用的液体成分，例如，显影剂 |