基本信息:
- 专利标题： 电子束光刻设备光刻图形数据存储方法、设备及介质
- 申请号：CN202510236070.5 申请日：2025-02-28
- 公开(公告)号：CN120162453A 公开(公告)日：2025-06-17
- 发明人： 周水清 , 范江华 , 李瑫 , 陈章隆 , 朱昌利
- 申请人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 申请人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第四十八研究所
- 当前专利权人地址： 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
- 代理机构： 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
- 代理人： 胡君
- 主分类号： G06F16/51
- IPC分类号： G06F16/51 ; G06F16/55 ; G06F16/583 ; G06T7/11 ; G06T9/00 ; G03F7/20
摘要：
本发明公开一种电子束光刻设备光刻图形数据存储方法、设备及介质，该方法步骤包括：获取目标电子束光刻设备的设计版图；将所述设计版图中所有图形分割为指定类型的基础图形得到图形分布；根据光刻顺序以及所述图形分布将所述设计版图划分为多个段区域；将每个所述段区域分割成多个场区域，每个所述子区域对应电子束光刻的场区域；根据各所述子区域内的图形分布，将每个子区域内的图形划分为一个以上的存储单元；获取各所述存储单元的位置信息、段区域信息、基础图形的类型信息进行编码存储。本发明能够对电子束光刻设备光刻图形数据快速、高效进行压缩存储，同时便于实现图形数据的快速检索及图形数据读取。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G06 | 计算；推算；计数 |
| ----G06F | 电数字数据处理 |
| ------G06F16/00 | 信息检索；数据库结构；文件系统结构 |
| --------G06F16/10 | .文件系统；文件服务器 |
| ----------G06F16/51 | ..索引；数据结构，存储结构 |