基本信息:
- 专利标题： 一种高精度工件台温度测量装置
- 申请号：CN202510346510.2 申请日：2025-03-24
- 公开(公告)号：CN120176869A 公开(公告)日：2025-06-20
- 发明人： 李晓勇 , 刘玄博 , 闫芸 , 汤明
- 申请人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 申请人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
- 当前专利权人地址： 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号
- 代理机构： 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理人： 高燕
- 主分类号： G01K7/24
- IPC分类号： G01K7/24 ; G01K15/00
摘要：
本申请提供了一种高精度工件台温度测量装置，装置包括：至少一个采集电路，每个采集电路的一端用于连接设置在待测环境下的一个温度传感器，用于采集设置在待测环境下的温度传感器对应的预设电压值；至少一个信号放大电路，一个采集电路对应一个信号放大电路，每个信号放大电路的一端用于连接其对应的采集电路的另一端，以对预设电压值进行放大处理得到目标电压值；存储模块，用于存储每个采集电路对应的校准数据；处理模块，处理模块的一端用于连接每个信号放大电路的另一端，处理模块的另一端用于连接存储模块，其中，处理模块，被配置为：依据每个信号放大电路对应的目标电压值和校准数据，确定每个采集电路所对应的温度传感器所在的环境温度。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01K | 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件 |
| ------G01K7/00 | 以应用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量 |
| --------G01K7/02 | .应用热电元件，例如，热电偶 |
| ----------G01K7/18 | ..元件为线性电阻，例如，铂电阻温度计 |
| ------------G01K7/24 | ...置于专门采用的电路内的，例如，桥路 |