基本信息:
- 专利标题： 用于独立驱动的半导体激光线阵光源及其制备方法
- 申请号：CN202510382251.9 申请日：2025-03-28
- 公开(公告)号：CN120184728A 公开(公告)日：2025-06-20
- 发明人： 仲莉 , 曾越 , 薛春来 , 陈平 , 肖湘珂 , 胡俊利 , 胡涛
- 申请人： 中国科学院半导体研究所
- 申请人地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
- 专利权人： 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人： 中国科学院半导体研究所
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人： 李婉婉
- 优先权： 2024118085046 2024.12.10 CN
- 主分类号： H01S5/024
- IPC分类号： H01S5/024 ; H01S5/0237 ; H01S5/40
摘要：
本公开提供一种用于独立驱动的半导体激光线阵光源及其制备方法，方法包括：根据边发射半导体激光光源的线阵长度和间距，光刻形成激光列阵条的发光区和电隔离区，激光芯片各发光单区之间的线阵定位精度为亚微米量级；制备过渡热沉，在过渡热沉双面电镀金属层；在过渡热沉上的激光列阵条焊接区均匀制备焊料，在激光列阵条的电极与过渡热沉贴合的区域间隔制备焊料；将激光列阵条正装或倒装贴片在过渡热沉上，使激光器出光面与过渡热沉一顶面边沿对准，完成激光列阵条到过渡热沉的焊接；将激光列阵条隔离区割断，使激光列阵条分离形成独立激光芯片及热沉的供电回路；逐一将单颗激光芯片引线键合到驱动电路正负极板上，形成边发射半导体激光光源；对边发射半导体激光光源进行光学准直和光束整形。