基本信息:
- 专利标题： 基于真空互联的月壤材料表征方法
- 申请号：CN202311797721.5 申请日：2023-12-25
- 公开(公告)号：CN120213994A 公开(公告)日：2025-06-27
- 发明人： 崔义 , 孔亚萍 , 黄荣 , 刘通 , 龚忠苗 , 李治云 , 许蕾蕾 , 翁雪霏
- 申请人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址： 江苏省苏州市工业园区若水路398号
- 专利权人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市工业园区若水路398号
- 代理机构： 苏州三英知识产权代理有限公司
- 代理人： 黄晨
- 主分类号： G01N23/22
- IPC分类号： G01N23/22 ; G01N23/20091 ; G01N23/2273 ; G01N23/2202 ; G01N23/2206 ; G01N23/20008
摘要：
本申请公开了一种基于真空互联的月壤材料表征方法，包括在手套箱中将月壤样品包埋固定在载样片上；利用超高真空管道将载样片传递至扫描电子显微镜设备腔中，进行EDS能谱分析，筛选得到目标检测区域；利用超高真空管道将载样片传递至X射线光电子能谱仪设备腔中，对目标检测区域进行元素分析；利用超高真空管道将载样片传递至聚焦离子束设备腔中，对目标检测区域进行离子束切片制样；利用超高真空管道将聚焦离子束切片传递至飞行时间‑二次离子质谱仪设备腔中，对截面进行元素及其相关同位素含量分析。本申请实现同一样品同一区域处的多技术联用表征分析，表征结果可有效相互关联，检测过程中月壤样品不受大气环境干扰，样品的损耗量极少。
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
| ------G01N23/00 | 利用未包括在G01N21/00或G01N22/00组内的波或粒子辐射来测试或分析材料，例如X射线、中子 |
| --------G01N23/22 | .通过测量二次发射 |