基本信息:
- 专利标题： 一种适用于阴极弧靶的旋转磁场装置及多弧离子镀装置
- 申请号：CN202510466945.0 申请日：2025-04-15
- 公开(公告)号：CN120311143A 公开(公告)日：2025-07-15
- 发明人： 马延文
- 申请人： 苏州工业职业技术学院
- 申请人地址： 江苏省苏州市吴中区吴中大道（越湖路）国际教育园致能大道1号
- 专利权人： 苏州工业职业技术学院
- 当前专利权人： 苏州工业职业技术学院
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市吴中区吴中大道（越湖路）国际教育园致能大道1号
- 代理机构： 北京中知法苑知识产权代理有限公司
- 代理人： 李明
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32
摘要：
本公开的实施例提供一种适用于阴极弧靶的旋转磁场装置及多弧离子镀装置，装置包括：底壳，所述底壳的底壁具有朝向所述底壳内凸设的套管，所述套管具有用于容置弧靶的套孔；转架，所述转架与所述套孔同心布置并套设于所述套管外周，其中，所述转架与所述底壳转动连接；环形横向磁场结构，所述环形横向磁场结构套设于所述转架外周；驱动结构，所述驱动结构设置于所述底壳并与所述转架传动连接，所述驱动结构配置为驱动所述转架在所述底壳内绕弧靶转动。