基本信息:
- 专利标题： 一种致密氧化物涂层及其物理气相沉积方法和应用
- 申请号：CN202510476904.X 申请日：2025-04-16
- 公开(公告)号：CN120366712A 公开(公告)日：2025-07-25
- 发明人： 许雨翔 , 翁佳乐 , 王启民
- 申请人： 广东工业大学
- 申请人地址： 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- 专利权人： 广东工业大学
- 当前专利权人： 广东工业大学
- 当前专利权人地址： 广东省广州市番禺区大学城外环西路100号
- 代理机构： 广州嘉权专利商标事务所有限公司
- 代理人： 聂志伟
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/16 ; C23C14/18 ; C23C14/08
摘要：
本申请公开了一种致密氧化物涂层及其物理气相沉积方法和应用，致密氧化物涂层包括金属层和氧化物层，氧化物层沉积于金属层的表面。物理气相方法包括如下工艺流程：装载基体；对基体进行离子清洗；通入惰性气体，开启Cr靶，在基体表面沉积金属层；通入氧气和惰性气体的混合气体，氧气和惰性气体的流速比为3：1至2：1，开启Cr靶，在金属层表面沉积氧化物层，沉积1至5min；氧气和惰性气体的流速比改为1.5：1至1：1，沉积60至180min。通过分阶段调控氧气与氩气的流速比，在靶材毒化后降低氧分压，以平衡化学计量与涂层致密性和力学性能，从而提升和优化涂层的性能，扩大了制备涂层的工艺窗口。本申请可广泛应用于涂层制备技术领域。