基本信息:
- 专利标题： 一种在薄膜材料中兼容中长波红外透明与导电性能的方法
- 申请号：CN202510769608.9 申请日：2025-06-10
- 公开(公告)号：CN120640807A 公开(公告)日：2025-09-12
- 发明人： 胡超权 , 张智睿 , 雷殷 , 杨帆 , 张雨阳
- 申请人： 吉林大学
- 申请人地址： 吉林省长春市前进大街2699号
- 专利权人： 吉林大学
- 当前专利权人： 吉林大学
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市前进大街2699号
- 代理机构： 北京和鼎泰知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨冬玲
- 主分类号： H10F71/00
- IPC分类号： H10F71/00 ; H10F77/20 ; H10F30/21 ; C23C14/35 ; C23C14/16 ; C23C14/18
摘要：
本发明属于功能材料技术领域，具体涉及一种在薄膜材料中兼容中长波红外透明与导电性能的方法，通过调控载流子弛豫时间τ小于0.1fs，载流子浓度n大于1.0×1020cm‑3，实现了中长波红外透明与导电性能的兼容。具体通过制备BiSexTe1‑x固溶体材料来获得弛豫时间τ小于0.1fs，载流子浓度n大于1.0×1020cm‑3的中长波红外透明导电薄膜。BiSexTe1‑x固溶体材料的制备工艺包括如下步骤：将纯BiTe和Bi2Se3靶材安装在磁控射频溅射靶上，用高纯本征硅片或硫化锌片作为衬底；抽真空度，通入高纯Ar气；控制纯BiTe靶材和Bi2Se3靶材的溅射功率，在衬底上共溅射沉积BiSexTe1‑x薄膜。本发明相比较于传统通过调控载流子浓度或有效质量的方法，其能够在薄膜材料中很好地实现兼容远红外透明与导电性能。