
基本信息:
- 专利标题: 检查装置
- 申请号:CN202122085925.9 申请日:2021-08-31
- 公开(公告)号:CN216309824U 公开(公告)日:2022-04-15
- 发明人: 小林信次 , 松田俊介
- 申请人: 住友化学株式会社
- 申请人地址: 日本国东京都
- 专利权人: 住友化学株式会社
- 当前专利权人: 住友化学株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国东京都
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理人: 佟胜男
- 优先权: 2020-003750 20200902 JP
- 主分类号: G01N21/95
- IPC分类号: G01N21/95 ; G01N21/01
摘要:
本实用新型提供虽为比较简易的结构但能够减少缺陷的遗漏的检查装置。检查装置(1)具备偏振滤光片(17)、配置于偏振滤光片(17)的一侧的光源(13)、能够将偏振滤光片(17)和光源(13)排列的方向作为轴线方向而使偏振滤光片沿其面内方向旋转的旋转构件(11)、以及配置于偏振滤光片(17)的另一侧,支援在检查时在与轴线方向大致正交的方向上使被检查物(2)沿其面内方向滑动的滑动支援机构(20)。当一边使被检查物(2)滑动一边进行检查时,在圆偏振板存在光学缺陷的情况下,该缺陷作为余像被强调显示。
IPC结构图谱:
G | 物理 |
--G01 | 测量;测试 |
----G01N | 借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料 |
------G01N21/00 | 利用光学手段,即利用红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料 |
--------G01N21/01 | .便于进行光学测试的装置或仪器 |
----------G01N21/88 | ..测试瑕疵、缺陷或污点的存在 |
------------G01N21/95 | ...特征在于待测物品的材料或形状 |