基本信息:
- 专利标题： 激光诱导向前转移系统与装置、基板及显示器的制造系统
- 申请号：CN202122368647.8 申请日：2021-09-29
- 公开(公告)号：CN216980602U 公开(公告)日：2022-07-15
- 发明人： 山冈裕 , 植森信隆 , 仲田悟基 , 斋藤刚 , 小沢周作 , 佐藤伸一 , 仓田昌実 , 佐藤正彦 , 阿部司 , 野口毅 , 宇佐美健人
- 申请人： 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京千代田区大手町二丁目6番1号(邮递区号:100-0004)
- 专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京千代田区大手町二丁目6番1号(邮递区号:100-0004)
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 杨贝贝; 臧建明
- 优先权： 2020-165877 20200930 JP
- 主分类号： H01L33/48
- IPC分类号： H01L33/48 ; H01L33/00
摘要：
本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与装置、基板及显示器的制造系统，用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列间距(5、7)，决定供体基板与受体基板的移动速度之比，与所述供体基板的移动同步地进行激光诱导向前转移，即激光转印，由此将蓝宝石基板上的光器件以与显示器的像素间距相同的排列间距向载体基板移载。