基本信息:
- 专利标题： 成膜装置
- 申请号：CN202222440438.4 申请日：2022-09-15
- 公开(公告)号：CN218951491U 公开(公告)日：2023-05-02
- 发明人： 渡部武纪 , 桥上洋 , 坂爪崇寛
- 申请人： 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京千代田区丸之内一丁目4番1号(邮编:100-0005)
- 专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京千代田区丸之内一丁目4番1号(邮编:100-0005)
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理人： 贺财俊; 黄健
- 优先权： 2021-154679 20210922 JP
- 主分类号： C23C16/455
- IPC分类号： C23C16/455 ; C23C16/40 ; C23C16/46
摘要：
本实用新型是一种成膜装置、结晶性氧化物膜及其应用，所述成膜装置进行喷雾化学气相沉积法，所述成膜装置包括：基板加热部件，具有载置基板的基板载置部；喷嘴，喷出方向相对于所述基板的表面为垂直方向，且供给包含原料溶液的喷雾；以及所述喷嘴和/或所述基板加热部件的位置调整部件，能够将所述基板载置部的位置调整为所述喷嘴的所述喷出方向的位置与所述喷出方向以外的位置。由此，提供一种以氧化镓为主成分的结晶性氧化物膜、用于使所述结晶性氧化物膜成膜的成膜装置，所述结晶性氧化物膜的结晶性优异，即便为大面积且薄的膜厚，面内的膜厚分布也良好。