专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

21. 发明专利

JP2010263185A Wafer carrier 有权
标题翻译：散热器
公开(公告)号：JP2010263185A
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：JP2010025418
申请日：2010-02-08
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： CHIU MING-CHIEN , LU PAO-YI , LIN CHIH-MING , HUNG KUO-CHUN
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , Y10S206/818
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a wafer carrier having excellent airtight effect. SOLUTION: The wafer carrier includes a container which has one side face forming an opening and in the inside of which a plurality of slots capable of storing a plurality of wafers are provided, and a door is used and joined to the opening of the container to protect the wafers in the container. The container is characterized in that a magnetic member is formed at the inner edge of the opening and a magnet is disposed at the inner surface of the door facing the magnetic member, and the magnet is disposed in a magnetic yoke with recessed cross section. Accordingly, the magnet on the door attracts the magnetic member at the opening of the container and the door is lock-fastened to the container for integration. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供具有优异气密效应的晶片载体。解决方案：晶片载体包括容器，其具有形成开口的一个侧面，并且在其内部设置有能够存储多个晶片的多个槽，并且使用门并将其接合到用于保护容器中的晶片的容器。容器的特征在于，在开口的内边缘处形成有磁性部件，并且磁体设置在面对磁性部件的门的内表面处，并且磁体设置在具有凹入横截面的磁轭中。因此，门上的磁体在容器的开口处吸引磁性构件，并且门被锁定固定到容器上用于集成。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

22. 发明专利

JP2010056500A Thin substrate pitch measurement equipment, and wafer pitch measurement equipment 审中-公开
标题翻译：薄基板倾斜测量设备和波峰测量设备
公开(公告)号：JP2010056500A
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：JP2008250638
申请日：2008-09-29
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： LU PAO-YI
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide thin substrate pitch measurement equipment for measuring vertical pitches between a plurality of thin substrates placed in a pod. SOLUTION: The equipment mainly includes: a photoelectric element which transmits a luminous flux to a thin substrate in the pod and receives a luminous flux reflected from the thin substrate; a scanning device which moves the photoelectric element along a vertical direction of the thin substrate to measure the vertical pitches between the plurality of thin substrates in the pod; and a rotation base which has the pod placed thereon and rotates the pod at a plurality of angles to measure the vertical pitches between these thin substrates. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供用于测量放置在荚中的多个薄基板之间的垂直间距的薄基板间距测量设备。解决方案：设备主要包括：光电元件，其将光通量传输到容器中的薄衬底并接收从薄衬底反射的光束; 扫描装置，其沿着所述薄基板的垂直方向移动所述光电元件，以测量所述多个薄基板在所述盒中的垂直间距; 以及旋转底座，其具有荚放置在其上并以多个角度旋转荚，以测量这些薄基底之间的垂直间距。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

23. 实用新型

JP3120494U Holding structure of the reticle pod 失效
公开(公告)号：JP3120494U
公开(公告)日：2006-04-06
申请号：JP2006000239
申请日：2006-01-16
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：銘乾邱
IPC分类号： G03F1/66
摘要：【課題】効果的にレチクルを挟持できるレチクルポッドの保持構造を提供する。
【解決手段】
本考案のレチクルポッドの保持構造はレチクル３を収納する格納空間１０を具え、格納空間１０中に複数の保持部材２を設置し、各保持部材２は基部２１を具え、基部２１は固定手段で格納空間１０中に固定し、基部２１の上面に上向きに延伸して且つ基部２１に向かって反転した彎曲部２２を設け、基部２１と彎曲部２２の間に彎曲部２２が変形移動できる緩衝空間を具え、彎曲部２２の自由端に順に弾接部２４と保持部２５を設け、彎曲部２２の外側にガイド面２３を設けることにより、レチクル３をレチクルポッドの格納空間１０に入れるとき、まず各保持部材２のガイド面２３がレチクル３を正しい位置に導き、レチクル３の位置がずれるのを防ぎ、更に各保持部材２の弾接部２４と保持部２５でレチクル３を支持固定して、レチクル３がレチクルポッド内で一定位置を保つようにする。
【選択図】図４

24. 发明专利

JP2021179597A 光学的に識別可能なマークを備えたレチクルポッドおよびレチクルポッドの識別方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021179597A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2021017620
申请日：2021-02-05
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司 , GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人：邱銘乾 , 荘家和 , ▲温▼ 星閔 , 李怡萱 , 薛新民
IPC分类号： G02B7/00 , G03F1/66
摘要：【課題】半導体処理装置内の正しい場所に配置可能であるようにするための光学的に識別可能なマークを備えたレチクルポッドを提供する。【解決手段】本発明は、基部および基部に取り付けられる蓋を備えたレチクルポッドを開示する。基部は、少なくとも1つの第1のマーク(201)および少なくとも1つの第2のマーク(202)を備えた底面(200)を有する。第1のマークは、光源(311)に対して第1の反射性を有し、第2のマークは、この光源に対して第2の反射性を有する。第1の反射性は、第2の反射性とは異なっており、しかも底面の残部領域の反射性とも異なっている。【選択図】図2

25. 外观设计

JPD1688189S キャリアボード搬送ボックス有权
公开(公告)号：JPD1688189S
公开(公告)日：2021-06-21
申请号：JPD202023562
申请日：2020-10-30
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
设计人：邱銘乾林志銘李柏廷鍾承恩余念芸黄亦兌周政翰

26. 外观设计

JPD1688124S フォトマスクケース用コネクター有权
公开(公告)号：JPD1688124S
公开(公告)日：2021-06-21
申请号：JPD202022959
申请日：2020-10-26
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
设计人：チウミンチエンパンユンチンチュユチェンチュンチェンエン

27. 发明专利

JP2021022719A 基板を収容するための装置およびこの装置を製造する方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021022719A
公开(公告)日：2021-02-18
申请号：JP2020011310
申请日：2020-01-28
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：荘家和 , 薛新民 , 邱銘乾
IPC分类号： B65D85/30 , H01L21/673
摘要：【課題】SMIFにおいて粒子の侵入および汚染を阻止するとともに製造容易性を促進し、しかも産業上の利用性を高める基板の収容装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】基板収容装置は周囲と複数の接触要素(321,322 )が設けられている上方に向いた水平の頂平面(31)とを備える基部(30)を有し、接触要素は基板(20)に係合して基板を頂平面(31)上に保持し、頂平面は上方に向いたフレーム状の支持面(33)を形成するよう延び、この支持面は基部の周囲の近くの位置で接触要素を包囲し、基板収容装置は下方に向いたフレーム状の支持面(132 )を備えたカバー(10)をさらに有し、支持面(132,33)は基板を基部とカバーとの間に基板を収容する空所を画定するだけでなく基部の頂平面と同一の高さ位置にはないように互いに広い面積にわたる接触状態にある。【選択図】図4A

28. 发明专利

JP2018120200A レチクルポッド有权
公开(公告)号：JP2018120200A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017095237
申请日：2017-05-12
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：薛新民 , 莊家和 , 李承儒 , ▲黄▼政傑
IPC分类号： G03F1/66
CPC分类号： G03F1/66 , B65D25/10 , B65D85/38 , H01L21/67359 , H01L21/67366 , H01L21/67376
摘要：【課題】レチクルを精度良く固定し、輸送中の振動によるレチクルのズレを回避し、微粒子の発生を抑えることができるレチクルポッドを提供する。【解決手段】レチクル4を収容するレチクルポッド1000であり、レチクルポッド1000のベース1における少なくとも1つの上面コーナー11に設置される位置決め装置3を備える。位置決め装置は、変形部材と、変形部材の上方に設置される当接部材を有する。レチクルがレチクルポッドに保管されて上部カバー2とベースとが結合した場合、上部カバーは当接部材に接触するとともに下方への圧力を与える。それで、当接部材は垂直方向に変形部材を圧縮させることによって、変形部材は横方向に拡張変形してレチクルに接触する。【選択図】図1

29. 发明专利

JP6342036B1 レチクルポッド有权
公开(公告)号：JP6342036B1
公开(公告)日：2018-06-13
申请号：JP2017095238
申请日：2017-05-12
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：薛新民 , 莊家和 , 李承儒 , ▲黄▼政傑
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
CPC分类号： G03F1/66 , B65D25/10 , B65D85/38 , H01L21/67359 , H01L21/67366 , H01L21/67376
摘要：【課題】レチクルを精度良く固定し、輸送中の振動によるレチクルのズレを回避し、微粒子の発生を抑えることができるレチクルポッドを提供する。【解決手段】レチクル4を収容するレチクルポッド1000であって、ベース1と、上部カバーと2、少なくとも1つの支持装置と、を備える。前記レチクル4が前記レチクルポッド1000に保管された場合、前記支持装置は突出部で前記レチクル4に当接する。前記レチクル4と前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクル4の前記支持装置に対する水平方向における力より大きい。【選択図】図1

30. 发明专利

JP2011166065A Reticle pod 有权
标题翻译： RETICLE POD
公开(公告)号：JP2011166065A
公开(公告)日：2011-08-25
申请号：JP2010030093
申请日：2010-02-15
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： LU PAO-YI , WANG SHENG HUNG
IPC分类号： H01L21/673
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reticle pod in which a plurality of support members having elasticity are disposed at contact locations with a reticle. SOLUTION: The reticle pod comprises an upper lid body, a lower lid bode, and a plurality of support components arranged on the four corners of the lower lid body. The support component comprises a seat body which is made by integral and mutual coupling by a vertical method and which has a fastening fixture on both ends thereof; a pair of elastic members each arranged on the seat body, and extending one step part in the vertical direction of the seat body and thereafter further extending another step part along the inward lateral direction of the seat body; a pair of guiding members each coupled with the lateral-direction extending step part of the elastic member, further extending a protrusion part in the vertical direction and forming a first inclined surface and a second inclined surface on the side surface of the protrusion part inside the seat body; and a support bottom plate whose first end and second end are coupled with the second inclined surface of the guiding member and on whose third end position a support post is arranged. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种掩模版荚，其中具有弹性的多个支撑构件设置在与掩模版的接触位置处。解决方案：光罩盒包括上盖体，下盖波纹管和布置在下盖体的四个角上的多个支撑部件。所述支撑部件包括座体，所述座体通过垂直方式通过整体和相互联接而制成，并且其两端具有紧固固定件; 一对弹性构件，每个弹性构件布置在所述座椅主体上，并且在所述座椅主体的垂直方向上延伸一个台阶部分，然后沿着所述座椅主体的向内侧方向进一步延伸另一台阶部分; 一对引导构件，每个引导构件与弹性构件的横向延伸台阶部分相配合，在竖直方向上进一步延伸突出部分，并且在突出部分的侧表面内形成第一倾斜表面和第二倾斜表面座椅身体以及支撑底板，其第一端和第二端与引导构件的第二倾斜表面联接，并且其第三端位置被布置成支撑柱。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式