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1. 发明专利

JP2021153177A 容器システム审中-公开
公开(公告)号：JP2021153177A
公开(公告)日：2021-09-30
申请号：JP2021009517
申请日：2021-01-25
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：シウ、ミン−チェン , チョアン、シア−ホ , リン、シュー−フン , リー、イ−シュアン , ウー、ティン−ション
IPC分类号： H01L21/673
摘要：【課題】ワークピースの保管環境の清掃が容易な容器システムを提供する。【解決手段】本開示は、ワークピースを受け入れるように構成された内側ベースを備える容器システムを開示し、内側ベースは、ワークピース収容領域に対応する第1の処理領域と、内側ベースの第1の処理領域の周りに配置された第2の処理領域と、第1の処理領域と第2の処理領域との間の境界領域に配置されたワークピース支持ポストとを含む。【選択図】図2c

2. 发明专利

JP2021149079A マスクケース有权
公开(公告)号：JP2021149079A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2020078620
申请日：2020-04-27
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司 , GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人：荘家和 , 薛新民 , ▲ちょ▼ 育辰 , 邱銘乾
IPC分类号： F16B1/02 , H01L21/673 , G03F1/66
摘要：【課題】係止可能なマスクケースを提供する。【解決手段】本発明のマスクケース100は、上方に開口した本体1と、下方に開口した蓋体2と、少なくとも1つのスライドレール部材3と、少なくとも1つのスライダー部材4と、少なくとも1つの被着対応部材5とを備える。蓋体2の第1の側部21と本体1の第1の側部11とが枢着され、蓋が閉じられると、マスクを収容する保管空間が形成される。スライドレール部材3は、本体1の第1の側部11の反対面となる第2の側部22に配設される。スライドレール部材3は、窪み部31及びスロット部32を有する。スライダー部材4は、スライドレール部材3に摺動可能に設けられるとともに、ロック部41及び弾性アーム42を有する。被着対応部材5は、蓋体2の第2の側部22に設置されるとともに、窪み部31に位置が対応する。【選択図】図2

3. 发明专利

JP6928700B1 基板搬送キャリア用ロック機構有权
公开(公告)号：JP6928700B1
公开(公告)日：2021-09-01
申请号：JP2020138669
申请日：2020-08-19
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司 , GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人：邱銘乾 , 潘詠晉 , 劉維虔
IPC分类号： H01L21/673
摘要：【課題】基板搬送キャリア用ロック機構を提供する。【解決手段】一実施例によれば、主に頂部と、蓋体と、クイックリリース構造と、を含む基板搬送キャリア用ロック機構が提供される。前記頂部は、基板搬送キャリアのケースの側部に設けられ、前記蓋体が前記クイックリリース構造を介して取り外し可能に接続されるために用いられる。したがって、基板搬送キャリア上の応力が過度に集中することを防止することで、基板搬送キャリア内部の基板の完全性が保持される。【選択図】図1

4. 外观设计

JPD1688122S フォトマスクケース有权
公开(公告)号：JPD1688122S
公开(公告)日：2021-06-21
申请号：JPD202022957
申请日：2020-10-26
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
设计人：チウミンチエンパンユンチンチュユチェンチュンチェンエン

5. 发明专利

JP6490845B2 極紫外線フォトマスクポッド有权
公开(公告)号：JP6490845B2
公开(公告)日：2019-03-27
申请号：JP2018010514
申请日：2018-01-25
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：薛新民 , 荘家和 , 李承儒 , 黄政傑
IPC分类号： G03F1/24 , G03F7/20 , B65D85/38 , G03F1/66

6. 发明专利

JP2018120201A レチクルポッド审中-公开
公开(公告)号：JP2018120201A
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：JP2017095238
申请日：2017-05-12
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：薛新民 , 莊家和 , 李承儒 , ▲黄▼政傑
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
CPC分类号： G03F1/66 , B65D25/10 , B65D85/38 , H01L21/67359 , H01L21/67366 , H01L21/67376
摘要：【課題】レチクルを精度良く固定し、輸送中の振動によるレチクルのズレを回避し、微粒子の発生を抑えることができるレチクルポッドを提供する。【解決手段】レチクル4を収容するレチクルポッド1000であって、ベース1と、上部カバーと2、少なくとも1つの支持装置と、を備える。前記レチクル4が前記レチクルポッド1000に保管された場合、前記支持装置は突出部で前記レチクル4に当接する。前記レチクル4と前記突出部との最大静止摩擦力は、常に前記レチクル4の前記支持装置に対する水平方向における力より大きい。【選択図】図1

7. 实用新型

JP3198841U ウエハポッドの気体拡散装置有权
标题翻译： Uehapoddo的气体扩散装置
公开(公告)号：JP3198841U
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2015002372
申请日：2015-05-14
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：林志銘 , 邱銘乾 , 高瑞懇 , 張宸豪
IPC分类号： B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67393 , Y10T137/86212
摘要：【課題】フロント開閉式ウエハポッド内の気体を均一に拡散させることができるウエハポッドの気体拡散装置を提供する。【解決手段】ウエハポッドの気体拡散装置であって、本体10、係止部材20、進気部材30を有する。本体10は収容空間を有する。係止部材20は収容空間に位置し、係止部材20の一端は本体10前側と通路を形成する。進気部材30と本体10とは通じる。通路ルートを制御することで、拡散装置は気体を均一に充填する。【選択図】図2A
摘要翻译：在前面开Uehapoddo的气体可均匀地扩散，以提供气体扩散装置Uehapoddo。本发明提供了一种气体扩散装置Uehapoddo具有主体10，锁定构件20，Susumuki构件30。体10具有容纳空间。锁定部件20位于在容纳空间中，锁定构件20的一端形成主体10前部和通道。连通的Susumuki构件30和主体10。通过控制通道的路线，将扩散器均匀地填充气体。 .The 2A

8. 实用新型

JP3177055U Wafer cassette carrying device 失效
公开(公告)号：JP3177055U
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：JP2012002576
申请日：2012-05-01
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：詠晉潘
IPC分类号： H01L21/677
摘要：【課題】半導体ウェハカセット内のウェハ片を保護するウェハカセット搬送装置を提供する。
【解決手段】立桿１１１及び横桿１１２を縦横に組み立てた装置フレーム１０の前後の横桿の間に左右平行に一対の横向移動機構２０を固定し、移動機構の間に該横向移動機構に沿って前後方向に移行可能に縱向移動機構を配置し、該縱向移動機構上端にウエハカセットを支持して移送する一対の差込腕３３２を備えた差込腕部品３３を昇降可能に設ける。該差込腕部品に支持されたウエハカセットは、装置フレーム左右に設けられた支持機構４０上の設置ラック４１に載置されて、装置フレーム底端のローラー１２により移送れる。設置ラックは防振機構５０を介して桿体上に設置されるためウエハカセットに対する移送中の振動が吸収される。
【選択図】図１

9. 发明专利

JP2021179596A 保持ピンを備えたレチクルポッドおよびレチクルの保持方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021179596A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2021017619
申请日：2021-02-05
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司 , GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人：邱銘乾 , 荘家和 , ▲温▼ 星閔 , 李怡萱 , 薛新民
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
摘要：【課題】半導体製造技術においてレチクルポッドの気密封止能力を向上させるよう機械公差を改善することができる保持用ピンを備えたレチクルポッドを提供する。【解決手段】本発明は、蓋(111)および多数のピン組立体を有するレチクルポッドを開示する。ピン組立体は、蓋の天井(113)に対して動くことができる可動部材(202)および弾性部材(201)を含み、弾性部材は、可動部材を弾性部材と蓋の天井との間に配置するよう構成される。レチクルポッドがレチクルを受け入れていない場合、レチクルポッドの天井は、可動部材が停留する第1の高さ位置を定める。レチクルポッドがレチクルを受け入れている場合、弾性部材は、可動部材がレチクルポッドを第1の高さ位置よりも高い高さ位置に保持するよう可動部材と協働する。【選択図】図2A

10. 发明专利

JP2021179595A 有効気密封止状態で基板を受け入れる容器审中-公开
公开(公告)号：JP2021179595A
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：JP2021017618
申请日：2021-02-05
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司 , GUDENG PRECISION INDUSTRIAL CO.,LTD
发明人：荘家和 , 薛新民 , 李怡萱 , ▲温▼ 星閔 , 林書弘 , 邱銘乾
IPC分类号： H01L21/673 , G03F1/66
摘要：【課題】半導体製造に必要な基板が例えば空中粒子によって汚染されないように基板を収容する容器を提供する。【解決手段】本発明は、基板を収容する容器(300)を開示する。容器(300)は、少なくとも1つの第1の支持面(312)を備えた基部(310)および基板のための収容空間を構成するよう基部の第1の支持面(312)と係合する少なくとも1つの第2の支持面(322)を備えた蓋(320)を有する。基部の第1の支持面および蓋の第2の支持面は、それぞれの平坦度が0.04mm以下の同一の勾配を有し、その結果、第1の支持面と第2の支持面が互いに接触すると、第1の支持面と第2の支持面との間の有効ハーメチックシールが形成されるようになっている。【選択図】図5A

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