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21. 发明公开

KR20200137043A 기판 처리 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200137043A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：KR20207034259
申请日：2017-02-27
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： MURAMOTO RYO
IPC分类号： H01L21/677 , B65G47/90 , B65G49/06
摘要： 제 1 반송로봇은, 수용기에대해기판의반입및 반출을실시한다. 제 2 반송로봇은, 제 1 반송로봇과의사이에서기판의전달을실시하고, 또한제 1 출입구를통하여제 1 처리부에대해기판의반입및 반출을실시한다. 제 3 반송로봇은, 제 2 반송로봇과의사이에서기판의전달을실시하고, 제 2 출입구를통하여제 2 처리부에대해기판의반입및 반출을실시하며, 제 3 출입구를통하여제 3 처리부에대해기판의반입및 반출을실시한다.

22. 发明公开

KR20200136450A 처리액 토출 장치, 처리액 토출 방법, 기판 처리 장치, 및 폐쇄 밸브 조정 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200136450A
公开(公告)日：2020-12-07
申请号：KR20207030610
申请日：2019-05-07
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： INOUE MASAFUMI
IPC分类号： H01L21/67 , B05C11/10 , B05D3/00 , B08B3/02 , H01L21/02
摘要： 처리액토출장치 (1) 는, 노즐 (251) 에처리액을공급하는처리액공급유로를개폐하는개폐밸브 (72) 의폐쇄속도를판정하는판정부 (12) 와, 개폐밸브 (72) 가처리액공급유로를폐쇄하여노즐 (251) 로부터의처리액의토출이정지되었을때에, 노즐 (251) 의선단부의유로와, 당해노즐 (251) 의선단으로부터처리액의토출방향을따라전방으로연장되는처리액의토출경로를토출방향과는상이한방향으로부터촬상하는촬상부 (65) 를구비하고, 판정부 (12) 는, 촬상부 (65) 가노즐 (251) 의선단부의유로와토출경로를촬상한원화상중 노즐 (251) 의선단부의유로및 토출경로의화상에기초하여소정의판정처리를실시함으로써, 개폐밸브 (72) 의폐쇄속도가적절한가, 적절한속도보다느린가빠른가라고하는개폐밸브 (72) 의폐쇄속도의구분을판정한다.

23. 发明公开

KR20200131757A 현상 방법 및 현상 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200131757A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：KR20200056496
申请日：2020-05-12
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： TANAKA YUJI , ASAI MASAYA , HARUMOTO MASAHIKO , MORI CHISAYO , ARISAWA YOU , MOTONO TOMOHIRO , KANEYAMA KOJI
IPC分类号： G03F7/30 , G03F7/20 , H01L21/67
摘要： 현상처리부의현상유닛에있어서는, 스핀척에의해기판이수평자세로유지된다. 그기판의상면에는, 레지스트막이형성되어있다. 레지스트막은노광되어있다. 그기판에상온보다낮은온도까지냉각된린스액이공급되어, 기판의온도가상온보다낮은온도로조정된다. 다음으로, 린스액의공급이정지된다. 또한, 기판의상면에상온보다낮은온도까지냉각된현상액이공급되어, 레지스트막과현상액이반응한다. 그후, 냉각된현상액이기판의상면으로부터제거되어, 레지스트막과현상액의반응이정지한다.

24. 发明公开

KR20200124641A 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 审中-公开
公开(公告)号：KR20200124641A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：KR20200139035
申请日：2020-10-26
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： YAMAGUCHI TAKAHIRO
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/687
摘要： 기판처리방법은, 기판을수평자세로회전시키는기판회전공정과, 상기기판회전공정에서회전되고있는기판의상면에처리액을공급하는처리액공급공정과, 상기기판의상면에공급된처리액이상기기판의상면에형성하는액막의상태를감시하는액막상태감시공정과, 상기처리액공급공정의실행중에, 상기액막상태감시공정에서감시되는상기액막의상태에따라, 상기기판의회전수를변경하는기판회전수변경공정을포함한다.

25. 发明公开

KR20180071944A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180071944A
公开(公告)日：2018-06-28
申请号：KR20170161527
申请日：2017-11-29
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： YASUDA SHUICHI , IWAO MICHINORI , KIKUMOTO NORIYUKI , SASAKI MITSUTOSHI
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： B08B3/02 , B01D19/0005 , B08B3/14 , B08B2203/002 , H01L21/67023
摘要： [과제]기판처리장치의대형화를억제하면서, 처리액에있어서의제거대상기체의용존농도를저하시키는기술을제공한다. [해결수단]기판처리장치(100)는, 복수의기판처리부(20)와액처리시스템(30)을구비한다. 기판처리부(20)는, 기판(W)을유지하는기판유지부(21) 및기판유지부(21)에유지된기판(W)에처리액을토출하는토출노즐(23)을구비한다. 액처리시스템(30)은, 내부에처리액을저류하는저류조(31)와, 저류조(31)에접속되고, 토출노즐(23)에공급되는처리액이통과하는공급통로를형성하는공급배관부(320)와, 저류조(31)에접속되어있고, 공급배관부(320)를통과한처리액을저류조(31)에반송하는반송통로(322P)를형성하는반송배관부(322)와, 처리액중에용존하는산소와는다른질소가스를반송배관부(322)의반송통로(322P) 내에공급하는가스공급부(60)를구비한다.

26. 发明公开

KR20180054480A 도포 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180054480A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：KR20170150476
申请日：2017-11-13
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： FUJIWARA NAOZUMI
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B05D1/002 , B08B3/08 , H01L21/67023 , H01L21/67051
摘要： 직경이 300밀리미터이며, 직립하는다수의패턴요소가주면에형성된기판에 있어서, 당해주면에대해처리액에의한처리가행해진다. 당해처리액에의한처리후에는, 당해주면상에충전재용액이도포된다. 충전재용액의도포처리에서는, 수평상태의기판의상방을향하는당해주면에순수를공급함과더불어, 기판을회전시킴으로써, 당해주면을덮는것과함께두께가 5마이크로미터이하인순수의액막이형성된다. 그리고기판을매분 300회이상, 또한 500회이하의회전수로회전시키면서, 수용성의충전재를포함하는충전재용액이당해주면의중앙부에공급된다. 이에따라, 처리액에의한처리후의기판의주면에대해충전재용액을적절히도포할수 있다.

27. 发明公开

KR20180029913A 기판 세정 장치, 기판 처리 장치 및 기판 세정 방법 审中-公开
标题翻译：基板清洁装置基板处理装置和基板清洁方法
公开(公告)号：KR20180029913A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20170115952
申请日：2017-09-11
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： MURACHI HIROMI , YOSHIDA RYUICHI , NISHIYAMA KOJI , MOMMA TORU , SAGAE CHIKARA
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02
CPC分类号： B24B29/02 , B08B1/002 , B08B1/02 , B08B3/022 , B08B7/04 , B08B11/02
摘要： 회전되는기판이연마헤드및 세정브러시에의해세정된다. 연마헤드가제1의경로를따라서이동함으로써제1의궤적이형성된다. 세정브러시가제2의경로를따라서이동함으로써제2의궤적이형성된다. 제1 및제2의경로의중복영역이간섭영역으로서규정된다. 연마헤드가기판의중심으로부터외주단부를향해이동함과더불어, 연마헤드가간섭영역으로부터벗어났는지여부가판정된다. 연마헤드가간섭영역으로부터벗어났다고판정된시점에서, 세정브러시가기판의외주단부로부터중심을향하는이동을개시한다.
摘要翻译：旋转的基板通过抛光头和清洁刷进行清洁。第一轨迹由抛光头沿着第一路径的移动形成。第二轨迹由清洁刷沿第二路径的移动形成。将第一和第二路径彼此重叠的区域定义为干涉区域。抛光头从中心向基板的外周端移动，并且确定抛光头是否移出干涉区域。在确定抛光头已经移出干涉区域的时间点，清洁刷开始从外周端向基板的中心移动。

28. 发明公开

KR20180021183A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-公开
标题翻译：基板处理装置及基板处理方法
公开(公告)号：KR20180021183A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR20187002759
申请日：2016-04-21
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： HASHIZUME AKIO
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/02 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/304
摘要： 물을함유하는린스액이수평하게유지되고있는기판에공급된후, 린스액이부착되어있는기판에이소프로필알코올을함유하는 IPA 함유액이공급된다. 그후, 수분농도가낮은 IPA 함유액이기판에공급된다. 기판에공급된 IPA 함유액은, 다시기판에공급하기위해서회수된다.
摘要翻译：在将含有水的冲洗液供给至水平保持的基板之后，将含有异丙醇的含有IPA的液体供给至附着有冲洗液的基板。之后，将具有低湿气浓度的含IPA液体供给至基板。提供给基板的含有IPA的液体被回收并再次提供给基板。

29. 发明公开

KR20180020902A 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 审中-公开
标题翻译：基板处理装置和基板处理方法
公开(公告)号：KR20180020902A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR20170103536
申请日：2017-08-16
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： NISHIYAMA KOJI , INOUE KAZUHIRO
IPC分类号： H01L21/67 , G03F7/16 , G03F7/20 , H01L21/677
CPC分类号： G03F7/16 , B05C9/14 , B05C13/02 , G03F7/20
摘要： 노광처리전의기판이재치겸냉각부에반입되어, 냉각된다. 냉각된기판이재치겸냉각부로부터반송장치에의해유지되어, 반출된다. 노광장치가기판을받아들임가능한경우, 재치겸냉각부로부터반출된기판이반송장치에의해노광장치에반송된다. 노광장치가기판을받아들임불가능한경우, 재치겸냉각부로부터반출된기판이반송장치에의해냉각겸버퍼부에반입된다. 냉각겸버퍼부에있어서, 기판의온도가유지된다. 노광장치가기판을받아들임가능하게된 후, 반송장치에의해냉각겸버퍼부로부터기판이반출되어, 노광장치에반송된다.
摘要翻译：未进行曝光处理的基板被搬入放置冷却装置并被冷却。通过传送装置将冷却后的基板保持并从放置冷却单元中取出。在曝光装置能够接收基板的情况下，已经从放置冷却单元输出的基板通过输送装置被输送到曝光装置。在曝光装置不能接收基板的情况下，通过运送装置将从平台冷却部运出的基板搬入冷却缓冲部。在冷却缓冲单元中，保持衬底的温度。在曝光装置变得能够接收基板之后，基板从冷却缓冲单元输出并通过输送装置输送到曝光装置。

30. 发明公开

KR20180020872A 흡착 롤러, 도공 장치 및 막ㆍ전극 접합체의 제조 장치 审中-公开
标题翻译：吸引辊涂布装置及制造膜电极组件的装置
公开(公告)号：KR20180020872A
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR20170068832
申请日：2017-06-02
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： OGASAWARA MITSUO , TAKAGI YOSHINORI , OMORI MASAFUMI
IPC分类号： B05C13/02 , B05C5/02 , B05C9/14 , H01M8/1004
CPC分类号： H01M4/881 , B32B37/0053 , B32B38/00 , H01M4/8807 , H01M8/1004 , H01M2008/1095
摘要： (과제) 흡착롤러의외주면의개방영역으로부터진입하는기체에의해, 폐쇄영역의흡인력이저하되는것을억제할수 있고, 또한, 슬라이딩에의한부재의열화도억제할수 있는구조를제공한다. (해결수단) 롤러본체 (12) 와사이드플레이트 (15) 사이에, 오리피스공 (141) 을갖는오리피스플레이트 (14) 를개재삽입한다. 롤러본체 (12) 의외주면중, 기재에덮이는폐쇄영역에서는, 복수의흡착공 (123) 에생기는부압에의해, 롤러본체 (12) 의외주면에기재가흡착한다. 한편, 기재에덮이지않는개방영역에서는, 오리피스공 (141) 을기체가통과하기어렵기때문에, 외부공간으로부터롤러본체 (12) 의내부로의기체의흡인이억제된다. 따라서, 개방영역으로부터진입하는기체에의해, 폐쇄영역의흡인력이저하되는것을억제할수 있다. 또, 롤러본체 (12), 오리피스플레이트 (14) 및사이드플레이트 (15) 는, 일체로서회전한다. 이때문에, 각부재의슬라이딩에의한열화도억제할수 있다.
摘要翻译：具有孔口的孔板置于辊体和侧板之间。在被基材覆盖的辊主体的外周面的封闭区域中，基材通过抽吸孔中产生的负压而保持在辊主体的外周面上。在未被基材覆盖的外周面的开放区域中，由于气体难以通过孔口，所以抑制了从外部空间向辊体内吸入气体。这抑制了由于来自开放区域的气体的进入而导致的封闭区域中的抽吸力的减小。辊体，孔板和侧板作为一个整体旋转。这抑制了由于其滑动而导致的构件的劣化。

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