会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 47. 发明专利
    • 基板轉移暨處理系統及其設備
    • 基板转移暨处理系统及其设备
    • TW201508090A
    • 2015-03-01
    • TW102131318
    • 2013-08-30
    • 亞智科技股份有限公司
    • 陳傳宜CHEN, CHUAN YI游柏清YU, PO CHING藍受龍LAN, SHOU LONG陳智偉CHEN, CHIH WEI
    • C23C18/00
    • 一種基板轉移暨處理系統及其設備。其中基板轉移暨處理設備適用於使一處理液體均勻在一基板上進行製程步驟,基板轉移暨處理設備包含:一槽體;至少一反應槽室,設置於槽體內,用以提供處理液體與基板進行製程步驟,每一反應槽室包含一用以容置處理液體的處理容積;一限位單元,設置於槽體內,用以限制基板立於槽體內;及一流體循環系統,至少具有一驅動裝置,流體循環系統驅動該處理液體於處理容積內循環流動,用以使處理液體均勻在立於槽體內的基板上進行一製程步驟。
    • 一种基板转移暨处理系统及其设备。其中基板转移暨处理设备适用于使一处理液体均匀在一基板上进行制程步骤,基板转移暨处理设备包含:一槽体;至少一反应槽室,设置于槽体内,用以提供处理液体与基板进行制程步骤,每一反应槽室包含一用以容置处理液体的处理容积;一限位单元,设置于槽体内,用以限制基板立于槽体内;及一流体循环系统,至少具有一驱动设备,流体循环系统驱动该处理液体于处理容积内循环流动,用以使处理液体均匀在立于槽体内的基板上进行一制程步骤。