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    • 10. 发明专利
    • 製程設備與製程設備降溫方法
    • 制程设备与制程设备降温方法
    • TW201643936A
    • 2016-12-16
    • TW104143824
    • 2015-12-25
    • 亞智科技股份有限公司MANZ TAIWAN LTD.
    • 顏英哲YAN, YING ZHE黃建凱HUANG, CHIEN KAI
    • H01L21/02F25D17/02
    • 本發明揭露一種製程設備,製程設備包括藥液槽、第一偵測裝置、冷卻裝置以及排出裝置。藥液槽用以容置藥液。第一偵測裝置用以偵測藥液槽的溫度。冷卻裝置連通於藥液槽,冷卻裝置用以注入冷卻流體至藥液槽內。當第一偵測裝置偵測藥液槽的溫度超過一門檻溫度時,冷卻裝置注入冷卻流體至藥液槽內。排出裝置連通於藥液槽,排出裝置用以排出藥液槽內的流體,其中流體包含藥液且/或冷卻流體。當冷卻裝置注入冷卻流體至藥液槽內之後,排出裝置排出流體。此外,一種製程設備降溫方法亦被提出。
    • 本发明揭露一种制程设备,制程设备包括药液槽、第一侦测设备、冷却设备以及排出设备。药液槽用以容置药液。第一侦测设备用以侦测药液槽的温度。冷却设备连通于药液槽,冷却设备用以注入冷却流体至药液槽内。当第一侦测设备侦测药液槽的温度超过一门槛温度时,冷却设备注入冷却流体至药液槽内。排出设备连通于药液槽,排出设备用以排出药液槽内的流体,其中流体包含药液且/或冷却流体。当冷却设备注入冷却流体至药液槽内之后,排出设备排出流体。此外,一种制程设备降温方法亦被提出。