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    • 45. 发明专利
    • 磁化同軸プラズマ生成装置
    • 磁化同轴等离子体生成装置
    • JPWO2015002131A1
    • 2017-02-23
    • JP2015525201
    • 2014-06-30
    • 学校法人日本大学
    • 朋彦 浅井純一 関口匡史 松本
    • H05H1/26C23C14/32
    • H05H1/12H05H1/02H05H1/24H05H1/46H05H1/48H05H2001/466
    • 磁化効率を高め、省電力化やコイルへの熱負荷を軽減可能な磁化同軸プラズマ生成装置を提供する。スフェロマックプラズマを生成する磁化同軸プラズマ生成装置は、外部電極1と内部電極2とプラズマ生成ガス供給部3と電源回路4とバイアスコイル5とバイアスコイル用パルス電源6と磁束保持部7と制御部8とからなる。バイアスコイル5は、内部電極の内部に配置され、外部電極と内部電極との間にバイアス磁場を発生する。そして、バイアスコイル用パルス電源6は、バイアスコイルをパルス駆動する。磁束保持部7は、外部電極の外側に配置される。制御部8は、スフェロマックプラズマが生成されるのに必要なバイアス磁場が外部電極と内部電極との間に与えられるのに十分な時間、且つ磁束保持部へのバイアス磁場の磁束の染み込み時間よりも短い時間でバイアスコイルをパルス駆動するようにバイアスコイル用パルス電源を制御する。
    • 增强的磁化效率,省电和线圈提供磁化同轴等离子体发生器的热负荷的减轻。 用于产生铁麦克等离子体扫描磁化同轴等离子体生成装置中,外电极1和内部电极2与等离子体产生气体供给部3和电源电路4和偏置线圈5和偏置线圈脉冲电源6和磁通量保持单元7,控制部8 组成。 偏置线圈5配置在内部电极,产生外部电极和内部电极之间施加偏置磁场。 用于偏置线圈脉冲偏置线圈的脉冲电源6。 通量保持器7定位在外部电极的外侧。 控制单元8,时间足以向原生质球麦克等离子体所需的偏置磁场的磁通的外部电极和内部电极,比和渗透时间之间所产生的偏磁场之间施加的磁通量保持部 控制装置,用于偏置线圈的脉冲电源进行脉冲驱动偏置线圈在一个短的时间。