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51. 发明专利

JP2016098641A ラッチ構造有权
标题翻译：锁定结构
公开(公告)号：JP2016098641A
公开(公告)日：2016-05-30
申请号：JP2014257851
申请日：2014-12-19
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：羅孝嘉 , 林志銘
IPC分类号： H01L21/673 , E05C21/00
CPC分类号： F16C29/005 , F16C29/004 , H01L21/67373 , F16C2226/74 , F16C29/04
摘要：【課題】ラッチ位置の一定方向装置を提供する。【解決手段】本発明のラッチ位置の一定方向装置は、ウエハキャリアケースの底部に取り付けられ、少なくとも1つの摺動溝を備えた一定方向装置と、少なくとも1つの凹溝を有する少なくとも1つの側板を備えたラッチ板と、少なくとも1つの摺動溝と少なくとも1つの凹溝の間に設けられた少なくとも1つの転がり部材と、を含む。ラッチ板と一定方向装置は、少なくとも1つの転がり部材を通じて互いに嵌合し、且つラッチ板が一定方向装置の案内を介して位置を移動する。上記構造を介してウエハキャリアケースをロック或いはアンロックする機械動作をより一層正確にさせ、同時に故障率と微粒子による汚染を減らす。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于闩锁位置的固定方向装置。解决方案：根据本发明的用于闩锁位置的固定方向装置包括：安装到晶片载体的底部的固定方向装置，包括至少一个滑动槽; 闩锁板，包括至少一个具有至少一个凹槽的侧板; 以及设置在至少一个滑动槽和所述至少一个凹槽之间的至少一个滚动构件。闩锁板和固定方向装置经由至少一个滚动部件彼此配合，并且在固定方向装置的引导下，闩锁板移位。通过上述结构锁定或解锁晶片载体壳体的机械操作更加准确，并且同时降低了故障率和细颗粒污染。选择图：图2

52. 实用新型

JP3201454U フォトマスクボックス有权
标题翻译：光罩盒
公开(公告)号：JP3201454U
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：JP2015004882
申请日：2015-09-25
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：羅銘模 , 陸隆鳴 , 江俊彦 , 陳政欣 , 邱銘乾
IPC分类号： G03F1/66
摘要：【課題】フォトマスクボックスを提供する。【解決手段】フォトマスクボックスであって、ボックス体、複数の圧迫ホールド部材20、複数の連接部材30を有する。ボックス体の内部には収容空間を有し、フォトマスクを収容する。各圧迫ホールド部材20はボックス体内に設置され、各圧迫ホールド部材20はフォトマスクのサイズに基づき、そのボックス体に設置する位置を調整され、フォトマスクの側辺をそれぞれ圧迫ホールドする。複数の連接部材30は相互に対応する各圧迫ホールド部材20にそれぞれ通して設置し、これにより各圧迫ホールド部材20をボックス体内に固定する。こうしてフォトマスクのサイズの違いに応じて各圧迫ホールド部材20を交換する必要がないため、フォトマスクボックスの製造コストを引き下げることができる。【選択図】図1C
摘要翻译：本发明的一个目的是提供一种光掩膜框。本发明涉及的光掩模盒具有盒主体，多个压缩保持构件20，多个连接构件30的。箱体内具有容纳空间，用于容纳光罩。每个压缩保持部件20安装在箱主体的基础上，在光掩模的大小每个压缩保持构件20被调节在箱体，放置分别压缩并保持光掩模的侧面的位置。多个连接构件30都通过各自的压缩安装保持构件20彼此对应，由此固定压缩在盒体保持构件20。因此，没有必要根据在光掩模可以降低制造光掩模框的成本的大小的差，以替换相应的压缩保持构件20。点域1C

53. 发明专利

JP2014191351A Photomask storage container provided with gas guide device 有权
标题翻译：具有气体指导装置的光伏储存容器
公开(公告)号：JP2014191351A
公开(公告)日：2014-10-06
申请号：JP2014054953
申请日：2014-03-18
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： LU PAO YI , LIN TIEN JUI
IPC分类号： G03F1/66 , B65D85/86 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67359 , H01L21/67393
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photomask storage container provided with a gas guide device.SOLUTION: A photomask storage container with a gas guide device is attached with a gas guide device, and the gas guide device communicates with at least one vent hole of the photomask storage container and is provided with a first outlet opening corresponding to a first gas flowing space of the photomask storage container and a second outlet opening corresponding to a second gas flowing space thereof. When a clean gas is supplied from the vent hole to the gas guide device, the clean gas flows through the gas guide device and flows through the first outlet opening and the second outlet opening into the first gas flowing space and the second gas flowing space, respectively. The configuration secures uniform distribution of the clean gas in the first gas flowing space and the second gas flowing space, increasing the cleanliness of the photomask, effectively preventing contact of the photomask with air, allowing reduction of the amount of the high-cleanliness gas used, and thus increasing the filling efficiency of the high-cleanliness gas.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种设置有气体引导装置的光掩模存储容器。解决方案：具有导气装置的光掩模存储容器与气体引导装置一起安装，导气装置与至少一个通气孔光掩模存储容器，并且设置有对应于光掩模存储容器的第一气体流动空间的第一出口开口和对应于其第二气体流动空间的第二出口开口。当清洁气体从通气孔供给气体引导装置时，清洁气体流过导气装置，流过第一出口和第二出口，进入第一气体流通空间和第二气体流动空间，分别。该构造确保了第一气体流动空间和第二气体流动空间中的清洁气体的均匀分布，增加了光掩模的清洁度，有效地防止了光掩模与空气的接触，从而减少了使用的高清洁度气体的量，从而提高高洁净度气体的填充效率。

54. 发明专利

JP5539466B2 Front open-type wafer carrier includes a latch structure 有权
公开(公告)号：JP5539466B2
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：JP2012179998
申请日：2012-08-15
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：建峰王 , 銘隆邱 , 紹▲うえ▼ 呂 , 子正徐
IPC分类号： H01L21/673 , B65D43/02
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , Y10T292/0834 , Y10T292/0964

55. 发明专利

JP2013125962A Front opening wafer carrier with latch structures 有权
标题翻译：带开关结构的前开式滚子架
公开(公告)号：JP2013125962A
公开(公告)日：2013-06-24
申请号：JP2012179998
申请日：2012-08-15
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： WANG CHIEN-FENG , CHIU MING-LONG , LU SHAO-WEI , HSU TZU-JENG
IPC分类号： H01L21/673 , B65D43/02
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/67393 , Y10T292/0834 , Y10T292/0964
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a front opening wafer carrier with latch structures.SOLUTION: A front opening wafer carrier has a pair of latch structures disposed inside a front cover of the wafer carrier. The latch structures utilize a circular turntable to drive sliding devices for stabilizing locking and unlocking of the latch structures and for preventing unnecessary vibrations and collisions during locking and unlocking. In addition, movement of rollers is utilized to prevent generation of dust.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有闩锁结构的前开口晶片载体。解决方案：前开口晶片载体具有设置在晶片载体的前盖内的一对闩锁结构。闩锁结构使用圆形转台来驱动滑动装置，以稳定闩锁结构的锁定和解锁，并且用于在锁定和解锁期间防止不必要的振动和碰撞。此外，使用辊的移动来防止灰尘的产生。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

56. 发明专利

JP2013070014A Large-sized front opening unified wafer pod 有权
标题翻译：大尺寸前置开口统一的WAFER POD
公开(公告)号：JP2013070014A
公开(公告)日：2013-04-18
申请号：JP2011275915
申请日：2011-12-16
申请人： Gugeng Precision Industrial Co Ltd , 家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人： SHENG JAIN PING , HSU TZU JENG , LU SHAO WEI , CHIU MING LONG
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67386 , H01L21/67379
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a front opening unified pod (FOUP) provided with a plurality of supporting pieces.SOLUTION: The positions of the plurality of supporting pieces of the FOUP are calibrated to be symmetrical for the supporting pieces to horizontally support wafers in the pod. In addition, an overhead hoist transport pad (OHT pad) evenly distributes the weight of the FOUP and the wafers so that the transportation of the FOUP and the wafers by the OHT head can be further stabilized and more weight can be loaded to meet demands of a process.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种设置有多个支撑件的前开口统一吊舱（FOUP）。解决方案：FOUP的多个支撑件的位置被校准为对于支撑件对称以水平地支撑荚中的晶片。另外，顶置式起重运输垫（OHT垫）均匀地分配FOUP和晶片的重量，使得可以进一步稳定由OHT头进行的FOUP和晶片的输送，并且可以加载更多的重量以满足一个过程。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

57. 发明专利

JP5103605B2 Wafer carrier 有权
公开(公告)号：JP5103605B2
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：JP2010025418
申请日：2010-02-08
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：邱銘乾 , 呂保儀 , 林志銘 , 洪國鈞
IPC分类号： H01L21/673 , B65D85/86
CPC分类号： H01L21/67369 , H01L21/67373 , Y10S206/818

58. 发明专利

JP5005778B2 Reticle pod 有权
公开(公告)号：JP5005778B2
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：JP2010030093
申请日：2010-02-15
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：呂保儀 , 王勝弘
IPC分类号： H01L21/673

59. 实用新型

JP3177757U Thin substrate pitch measuring device and wafer pitch measuring device 失效
公开(公告)号：JP3177757U
公开(公告)日：2012-08-16
申请号：JP2012003350
申请日：2012-06-05
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：呂保儀
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67265
摘要：【課題】ポッド内に置かれた複数の薄型基板の間の垂直ピッチを測定するための薄型基板ピッチ測定装置を提供する。
【解決手段】ポッド１０内の薄型基板Ｓに光束を発し、この薄型基板Ｓから反射される光束を受ける光電素子３０と、光電素子を薄型基板Ｓの垂直方向に沿って移動させ、ポッド内の複数の薄型基板Ｓの間の垂直ピッチを測定する走査装置４０と、ポッド１０を載せ、複数の角度に回転させて、これらの薄型基板Ｓの間の垂直ピッチを測定する回転台座５０とを主に含む。
【選択図】図４Ｂ

60. 实用新型

JP3177145U Container for semiconductor element 失效
公开(公告)号：JP3177145U
公开(公告)日：2012-07-19
申请号：JP2012002760
申请日：2012-05-10
申请人：家登精密工業股▲ふん▼有限公司
发明人：震維古 , 承儒李 , 聖元王
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67373
摘要： A container for storing semiconductor devices is revealed. The container includes a receiving body and a cover. The receiving body is disposed with at least one fastener and at least one driver therein. The fastener includes a rolling element that is in contact with the driver. When the driver is rotated, it drives the fastener to move in the receiving body. At least one fixing part of the fastener is moved toward at least one fastening part of the cover. The cover is fixed on the receiving body by the fixing part locked in the fastening part. Moreover, friction between the fastener and the driver is minimized by the rolling element which reduces contact area between the fastener and the driver so as to prevent production of contaminants in the container and protect semiconductor devices stored in the container from being polluted. Thus the container is of high cleanness.

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