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1. 发明申请

WO2023090231A1 真空ポンプ、真空ポンプの軸受保護構造、及び真空ポンプの回転体审中-公开
公开(公告)号：WO2023090231A1
公开(公告)日：2023-05-25
申请号：PCT/JP2022/041792
申请日：2022-11-09
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：山口　俊樹
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】磁気軸受の制御不能時において、タッチダウン軸受に作用する回転体の運動エネルギを低減できる真空ポンプを提供する。【解決手段】回転翼（１０２）が設けられた回転体（１０３）と、回転体の中心に設けられたロータ軸（１１３）と、ロータ軸を浮上支持する磁気軸受（１１４）と、ロータ軸と隙間を存して設けられ、磁気軸受の制御不能時にロータ軸を支持するタッチダウン軸受（１５５，１５６）と、を備えた真空ポンプ（１００）であって、タッチダウン軸受を保護する軸受保護構造を有し、軸受保護構造は、回転体と回転体の周囲の部品との少なくとも一方に設けられた突出部（１６０）で構成され、ロータ軸のタッチダウン軸受へのタッチダウン時に、回転体と回転体の周囲の部品とが突出部を介して接触することにより、タッチダウン軸受に作用する回転体の運動エネルギを低減する。

2. 发明申请

WO2022265070A1 排気配管、排気装置および生成物付着防止方法审中-公开
公开(公告)号：WO2022265070A1
公开(公告)日：2022-12-22
申请号：PCT/JP2022/024171
申请日：2022-06-16
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：高橋　克典
IPC分类号： H01L21/31 , F27D17/00 , H01L21/205
摘要：【課題】冷却装置などを設けずに、ドライポンプの配管に生じる過昇温を防止するために、生成物の付着を防止する排気配管、排気装置および生成物付着防止方法を提供する。【解決手段】ドライポンプ１００内の「Ｘ」で示す部分において、過昇温が発生する。この部分に付着する生成物が過昇温の要因と考えられる。そこで、この部分に可能な限り生成物が付着しないように、不活性ガスを導入し、その際旋回流を起こさせる。この旋回流の効果で（図４参照）、ガスに含まれている成分が中央部に集められ、排気配管１８の壁面に付着しにくくなる。多くの成分は、排気配管１８を通って、除害装置１９へ送られる。

3. 发明申请

WO2022230766A1 ガス処理システム审中-公开
公开(公告)号：WO2022230766A1
公开(公告)日：2022-11-03
申请号：PCT/JP2022/018537
申请日：2022-04-22
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：管　錦泉 , 田中　正宏 , 阿部　光智
IPC分类号： H01L21/02 , F17D5/00 , G01M3/26
摘要：【課題】三方弁における内部リークを正確に検知できるとともに、バイパスラインへの排気ガスのリークを抑制できるガス処理システムを提供する。【解決手段】排気ガスを除害装置４０へ導く主排気ライン２２と、緊急除害装置５０へ排気ガスを導くバイパスライン３０と、上流側排気ライン２１と、上流側排気ライン２１からの排気ガスの流れを主排気ライン２２またはバイパスライン３０に切り替え可能な三方弁２３と、を備えたガス処理システム１０であって、バイパスライン３０は、仕切弁３３と、第２のガスを導入するガス導入管３４と、圧力を検出する圧力計３５と、を有し、三方弁２３が主排気ライン２２への排気となっている場合、仕切弁３３と三方弁２３との間の閉流路Ｃにガス導入管３４から第２のガスを導入した状態で、圧力計３５により検出される圧力の変化によって、三方弁２３における内部リークを検知可能である。

4. 发明申请

WO2022131035A1 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：WO2022131035A1
公开(公告)日：2022-06-23
申请号：PCT/JP2021/044570
申请日：2021-12-03
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：中辻　重義 , 高井　慶行 , 鈴木　春樹
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】　ロータ回転時におけるロータの接触不具合に起因する外部配管への影響を抑制する真空ポンプを得る。【解決手段】　この真空ポンプには、昇温リング３０１が設けられており、昇温リング３０１には、外部配管を接続される排気口１３３が接続しており、ロータの回転時におけるロータの接触不具合によって回転力が直接的にまたは間接的に加わる。そして、昇温リング３０１とケーシング（外筒１２７ａ）との接続部分とは別に、上述の回転力による昇温リング３０１の回転を抑制する回転抑制手段（穴３０１ａおよびボルト３０５など）が設けられている。

5. 发明申请

WO2022030373A1 真空排気系の洗浄装置审中-公开
公开(公告)号：WO2022030373A1
公开(公告)日：2022-02-10
申请号：PCT/JP2021/028254
申请日：2021-07-30
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：樺澤　剛志
IPC分类号： F04B37/16 , F04D19/04
摘要：真空ポンプの下流で堆積物が再付着するのを防止することが可能な真空排気系の洗浄装置を提供する。　昇華成分を含むガスを冷却して堆積物を発生させることが可能な冷却トラップ（１３）と、冷却トラップ（１３）の上流に配設された少なくとも１つの第１真空ポンプ（１１）と、第１真空ポンプ（１１）と冷却トラップ（１３）を繋ぐ少なくとも１つの第１配管（２１）と、冷却トラップ（１３）の下流に配設された少なくとも１つの第２真空ポンプ（１６）と、第２真空ポンプ（１６）と冷却トラップ（１３）を繋ぐ少なくとも１つの第２配管（２２）とを備え、第１真空ポンプ（１１）と、第１配管（２１）の少なくとも一部とを、昇華成分の昇華温度以上に加熱するとともに、冷却トラップ（１３）を、昇華成分の昇華温度以下に冷却する。

6. 发明申请

WO2022009812A1 真空ポンプおよび制御装置审中-公开
公开(公告)号：WO2022009812A1
公开(公告)日：2022-01-13
申请号：PCT/JP2021/025220
申请日：2021-07-02
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：深美　英夫
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】　真空ポンプの状態情報が適切なタイミングで収集される真空ポンプおよび制御装置を得る。【解決手段】　制御装置２００において、制御部２０１，２０２，２０４は、真空ポンプ本体に配置された内部デバイス（モータ１２１、ヒータ、冷却バルブなど）の動作状態を制御する。情報収集部２０７は、真空ポンプ本体の状態情報を収集し、記録処理部２０８は、情報収集部２０７により収集された状態情報を不揮発性メモリ２０９に記録する。そして、情報収集部２０７は、制御部２０１，２０２，２０４によって内部デバイスの動作状態が切り換えられたタイミングで真空ポンプ本体の状態情報を収集する。

7. 发明申请

WO2021166815A1 真空ポンプ、除害装置、および排気ガス処理システム审中-公开
公开(公告)号：WO2021166815A1
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：PCT/JP2021/005364
申请日：2021-02-12
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本　良弘
IPC分类号： F04B49/02 , F04D19/04 , F23G7/06
摘要：排気ガスを除害する際に省エネルギ化を図ることのできる真空ポンプを提供する。排気ガスを吸入して排出する真空ポンプ（２）であって、駆動源としてのモータ（ＭＴ）と、前記モータの駆動を制御する第１コントローラ（２９）と、を備え、前記第１コントローラは、前記モータの状態を監視する共に、前記モータの状態が起動時および停止時を除く特定状態である場合に特定信号（プロセス信号）を外部に出力することを特徴とする。

8. 发明申请

WO2021166777A1 真空ポンプ及びコントローラ审中-公开
公开(公告)号：WO2021166777A1
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：PCT/JP2021/005103
申请日：2021-02-10
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：深美　英夫
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】温度調整手段を適切な時期に点検、交換することが可能であって、予期せぬ停止等の発生を防止することができ、またメンテナンス費用を抑制することができる真空ポンプ、及びこれを制御するコントローラを提案する。【解決手段】本発明は、被排気装置のガスを排気する真空ポンプ１０であって、真空ポンプ１０の所定部位を所定の温度にするための温度調整手段と、温度調整手段を動作させる出力制御手段２０５と、出力制御手段２０５から得られる温度調整手段のＯＮ／ＯＦＦに関する情報を出力する情報出力手段２１０と、を備えることを特徴とする。

9. 发明申请

WO2020241521A1 真空ポンプ、および連結型ネジ溝スペーサ审中-公开
公开(公告)号：WO2020241521A1
公开(公告)日：2020-12-03
申请号：PCT/JP2020/020400
申请日：2020-05-22
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：三枝　健吾 , 吉原　菜穂子 , 大立　好伸
IPC分类号： F04D19/04
摘要：固定ボルトで連結型ネジ溝スペーサを締結しても、真空ポンプの排気性能の低下を防止することができる真空ポンプを提供する。　本発明の実施形態に係る連結型ネジ溝スペーサは、シグバーンポンプ部とネジ溝ポンプ部とを連結させる構造を備える。この連結型ネジ溝スペーサを締結する際、予め排気流路部にザグリ穴を設けておき、固定ボルトで、ベースと締結する。こうすることで、固定ボルトの頭部が排気流路に突出しなくなり、固定ボルトの頭部が排気ガスに対する抵抗とならない。こうして、真空ポンプの排気性能が低下することを抑制できる。

10. 发明申请

WO2020195941A1 真空ポンプ、及び、真空ポンプに用いられるシール部材审中-公开
公开(公告)号：WO2020195941A1
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：PCT/JP2020/011070
申请日：2020-03-13
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：高阿田　勉
IPC分类号： F04D19/04 , F16J15/10
摘要：【課題】部品点数が少なくシール性に優れた真空ポンプを提供する。【解決手段】吸気側ケーシング１４ａの中心に向かって設けられた複数のステータ翼１９と、吸気側ケーシング１４ａに内包され、回転自在に支持されたロータ軸２１と、ロータ軸２１の周囲に放射状に設けられた複数のロータ翼２０と、ロータ軸２１を回転させるモータ１６と、吸気側ケーシング１４ａと排気側ケーシング１４ｂとにより厚さ方向に挟み付ける力を受けて弾性変形し、吸気側ケーシング１４ａと排気側ケーシング１４ｂの間の気密性を保つ環状のシール部材４１と、を備え、シール部材は、その断面に、外周部に凹陥状に形成された変形促進部と、力を変形促進部に近付いた偏心位置で受けるシール部と、を有する。

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