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    • 4. 发明申请
    • 圧力センサ
    • 压力传感器
    • WO2016056419A1
    • 2016-04-14
    • PCT/JP2015/077294
    • 2015-09-28
    • 国立大学法人東京大学セイコーインスツル株式会社
    • 下山 勲松本 潔高橋 英俊グェン ミン ジューン内山 武大海 学篠原 陽子須田 正之
    • G01L9/00H01L29/84
    • G01L1/18G01L1/2206G01L1/2262G01L9/00G01L9/0002G01L9/0022G01L23/10H01L29/84
    •  本発明は、キャビティを有するセンサ本体(2)と、レバー本体(20)及びレバー支持部(21A、21B)を有し、キャビティとセンサ本体(2)の外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバー(3)と、レバー本体(20)に形成された本体抵抗部(31)及びレバー支持部(21A、21B)に形成されたレバー抵抗部(32)の抵抗値変化に基づいてカンチレバー(3)の変位を検出する変位検出部(4)とを備える圧力センサ(1)である。レバー支持部(21A)には、レバー抵抗部(32)を、検出電極(35)に直列に電気接続される第1抵抗部(32a)と、第1抵抗部(32a)よりも隣接する他のレバー支持部(21B)寄りに位置する第2抵抗部(32b)と、に区画する区画溝(40)が形成されている。レバー支持部(21A、21B)の第1抵抗部(32a)は、本体抵抗部(31)を経由した第1経路(S1)と、第2抵抗部(32b)を経由した第2経路(S2)と、の並列経路を介して検出電極(35)に電気接続されている。
    • 本发明是一种压力传感器(1),其具有:具有空腔的传感器主体(2) 具有杠杆主体(20)和杠杆支撑部分(21A,21B)的悬臂(3),并且响应于所述腔体和所述传感器主体(2)的外部之间的压差而经历弯曲变形; 以及位移检测单元(4),用于基于形成在杆体(20)上的体电阻(31)的电阻值的变化和形成在杆上的杠杆电阻(32)来检测悬臂(3)的位移 支撑部件(21A,21B)。 在杠杆支撑部分(21A)上形成有用于将杠杆电阻器(32)划分成与检测电极(35)串联电连接的第一电阻器(32a)的分界槽(40)和第二电阻器(32b) 位于比第一电阻器(32a)更靠近另一杠杆支撑部分(21B)。 杠杆支撑部分(21A,21B)的第一电阻器(32a)通过平行路径(即通过体电阻器31)引导的第一路径(S1)与检测电极(35)电连接,第二电阻器 路径(S2)穿过第二电阻器(32b)。
    • 6. 发明申请
    • 圧力変化測定装置及び圧力変化測定方法
    • 压力变化测量装置和压力变化测量方法
    • WO2015198414A1
    • 2015-12-30
    • PCT/JP2014/066791
    • 2014-06-25
    • セイコーインスツル株式会社
    • 篠原 陽子内山 武大海 学須田 正之
    • G01L7/00G01L9/00G01L13/06
    • G01L23/10G01L9/0002G01L9/0052
    •  圧力変化測定装置1に備わる演算処理部30は、差圧計測用カンチレバー4の出力信号に基づいて、キャビティ10の内部圧力と測定対象圧力との差圧を求める差圧算出部と、設定されたキャビティ10の内部圧力と差圧算出部により算出された差圧とに基づいて、測定対象圧力を算出する測定対象圧力算出部と、差圧算出部により算出された差圧に基づいて、キャビティ10内外を流通する圧力伝達媒体の所定時間単位の流通量を算出する流量算出部と、流量算出部により算出された流通量とキャビティ10の容積とに基づいて、所定時間後のキャビティ10の内部圧力を算出し、当該算出した内部圧力で測定対象圧力算出部にて用いるキャビティ10の内部圧力の設定値を更新する内圧更新部と、を有する。
    • 配备有压力变化测量装置(1)的算术处理单元(30)具有:差压计算单元,其根据差压测量悬臂(4)的输出信号获得内压 空腔(10)和待测量的压力; 要测量的压力计算单元,其计算要测量的压力,所述待测量压力是基于所设定的腔体(10)的内部压力计算的,以及通过差压计算单元计算的差压 ; 流量计算单元,其基于通过差压计算单元计算出的压差,计算出每个预定时间的压力传递介质的流量,所述压力传递介质在空腔的内部和外部之间流动 (10); 以及内部压力更新单元,其基于通过流量计算单元计算出的流量和所述空腔(10)的体积,在预定时间之后计算所述空腔(10)的内部压力,以及 其使用如此计算的内部压力来更新空腔(10)的内部压力的设定值,所述设定值用于要被测量的压力计算单元。
    • 10. 发明申请
    • 検出装置
    • 检测装置
    • WO2015053012A1
    • 2015-04-16
    • PCT/JP2014/073080
    • 2014-09-02
    • セイコーインスツル株式会社
    • 有山 稔
    • G01D21/00
    • G01R33/0023G01D3/10G01D21/00G01R33/02
    • 検出精度を犠牲にすることなく、消費電力量を小さくすることが出来る電流出力式の検出装置を提供すること。 検出装置は、センサ回路と、センサ回路の検出結果の信号を受けて検出信号を出力するセンサ信号処理回路と、センサ回路とセンサ信号処理回路に制御信号を出力し、センサ信号処理回路から検出信号を入力する制御回路と、を備え、センサ回路とセンサ信号処理回路は、制御回路からの制御信号によって間欠的に動作する構成とした。
    • 提供了一种电流输出型检测装置,其能够降低功耗,而不牺牲检测精度。 该检测装置具有:传感器电路; 传感器信号处理电路,其接收通过传感器电路执行的检测结果的信号,并输出检测信号; 以及控制电路,其将控制信号输出到传感器电路和传感器信号处理电路,并且具有从传感器信号处理电路输入的检测信号。 传感器电路和传感器信号处理电路被配置为通过从控制电路发送的控制信号间歇地操作。