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1. 发明授权

CN103477262B 条带式透镜用的可调整的透镜支座有权
公开(公告)号：CN103477262B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201280011411.X
申请日：2012-02-14
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：汤玛士·德烈斯勒 , 艾尔克·艾希勒
IPC分类号： G02B7/02 , G02B26/12 , G02B27/00
CPC分类号： G02B7/023 , G02B26/125 , G02B26/127 , G02B27/0031
摘要：一种条带式透镜(5)用的透镜支座，条带式透镜(5)可在该支座内垂直于其光轴(5.2)变形，以将一道扫瞄过条带式透镜(5)的光束的成像直线化。此透镜支座主要包含一有槽孔的间隔棱条(7)、一载体棱条(1)及一底板(2)。载体棱条(1)可经由间隔棱条(1)（它的抗弯强度很小）与条带式透镜(5)牢接且可利用调整螺丝(4.1)(4.2)相对于底板(2)变形，如此条带式透镜(5)可变形。将一间隔棱条(7)放入，使透镜支座所需的构造空间从光轴(5.2)棱位离开，以提供构造空间给相邻的光学式或机械式构造组用。

2. 发明授权

CN103180768B 两个光学构件用的可多段式调整的检出构造组失效
公开(公告)号：CN103180768B
公开(公告)日：2015-05-27
申请号：CN201180039979.8
申请日：2011-08-04
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：卢兹·莱西曼 , 马缇亚斯·班宁
IPC分类号： G02B7/02
CPC分类号： G02B7/003 , G02B7/021 , G02B7/023
摘要：本发明提供一种可调整的夹座构造组（7），具有一个外夹座部（1）及一内夹座部（2），其中：a）所述内夹座部（2）设成可在所述外夹座部（1）中在一垂直于一光学轴的平面中利用调整螺丝（3）移动及固定，且所述二夹座部（1）（2）共同形成一可调整的一夹座，b）所述外夹座部（1）形成一可调整的第二夹座，而所述内夹座部（2）形成一第三可调整的夹座，c）所述外夹座部（1）和所述内夹座部（2）各由一外夹座框（1.1）（2.1）和一内夹座框（1.2）（2.2）形成，在其中各固定着一光学构件（1.5）（2.5），该光学构件各利用至少三个操纵单元（1.3）（2.3）互相连接成单块方式，d）所述外夹座部（1）的内夹座框（1.2）与所述内夹座部（2）的外夹座框（2.1）利用一可松开的力量接合作用的夹紧装置（4）互相连接，如此e）当夹紧装置（4）松开而调整螺丝（3）旋紧时，所述二光学构件（1.5）（2.5）可通过操纵所述外夹座部（1）而互相作相对调整，且f）当夹紧装置受力量接合方式沿轴向作用而将内夹座部(2)与外夹座部夹合时且当调整螺丝（3）旋松时，所述二光学构件（1.5）（2.5）可通过操纵内夹座部（2）而互相作相对调整，且所述二光学构件可通过操纵外夹座部（1）而共同相对于一参考基础作调整。

3. 发明公开

CN103649815A 用于将一面作构造化照射的照射装置失效
公开(公告)号：CN103649815A
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201280017466.1
申请日：2012-03-08
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：炎·维尔史尼克 , 马可斯·奥古斯丁 , 卢兹·莱西曼
IPC分类号： G02B26/08 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70208 , G02B3/0056 , G02B26/0841 , G03F7/7005 , G03F7/70291 , H01L21/67069
摘要：本发明是有关于一种用于对一晶圆进行构造化照射的照射装置（14），包括至少一照射机构（13），其中，利用两微镜数组（5.1，5.2）对一被分为两分射线束（2.1，2.2）的射线束（2）进行调变从而提高照射晶圆的通过速度。

4. 发明公开

CN103026285A 不同尺寸的长方形光束横截面用的光积累器无效
公开(公告)号：CN103026285A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201180032466.4
申请日：2011-05-24
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：托斯顿·哥烈兹 , 犹格-彼得·史密德 , 炎·维尔史尼克
IPC分类号： G02B27/09 , G02B6/00 , G03F7/20
CPC分类号： G02B27/0994 , G02B6/0096 , G03F7/70075
摘要：本发明提供一种光积累器，由四个方形玻璃板（1）构成，该玻璃板具有相同宽度（6），具有一内侧（2）及一外侧（3），其长度（l），并有一第一及一第二纵（4.1）（4.2）及二个端侧（5），其高度（h），这些侧互相设成使它们围住一方形开放的空腔（6），该空腔延伸过长度（l）的范围，其中玻璃板（1）互相粘接，其中，内侧（2）划分成各一个反射的光学作用的面（2.1）及一粘着面（2.2），粘着面包含一槽（7），沿纵向延伸，当作粘着剂阱的作用，该槽邻界到该光学作用的面（2.1），该内侧（2）以其各一玻璃板（1）的粘着面（2.2）间接利用粘着剂倚在另一玻璃板（1）的第一纵侧（4.1）上。

5. 发明公开

CN103180768A 两个光学构件用的可多段式调整的检出构造组失效
公开(公告)号：CN103180768A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201180039979.8
申请日：2011-08-04
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：卢兹·莱西曼 , 马缇亚斯·班宁
IPC分类号： G02B7/02
CPC分类号： G02B7/003 , G02B7/021 , G02B7/023
摘要：本发明提供一种可调整的夹座构造组（7），具有一个外夹座部（1）及一内夹座部（2），其中：a）所述内夹座部（2）设成可在所述外夹座部（1）中在一垂直于一光学轴的平面中利用调整螺丝（3）移动及固定，且所述二夹座部（1）（2）共同形成一可调整的一夹座，b）所述外夹座部（1）形成一可调整的第二夹座，而所述内夹座部（2）形成一第三可调整的夹座，c）所述外夹座部（1）和所述内夹座部（2）各由一外夹座框（1.1）（2.1）和一内夹座框（1.2）（2.2）形成，在其中各固定着一光学构件（1.5）（2.5），该光学构件各利用至少三个操纵单元（1.3）（2.3）互相连接成单块方式，d）所述外夹座部（1）的内夹座框（1.2）与所述内夹座部（2）的外夹座框（2.1）利用一可松开的力量接合作用的夹紧装置（4）互相连接，如此e）当夹紧装置（4）松开而调整螺丝（3）旋紧时，所述二光学构件（1.5）（2.5）可通过操纵所述外夹座部（1）而互相作相对调整，且f）当夹紧装置受力量接合方式沿轴向作用而将内夹座部(2)与外夹座部夹合时且当调整螺丝（3）旋松时，所述二光学构件（1.5）（2.5）可通过操纵内夹座部（2）而互相作相对调整，且所述二光学构件可通过操纵外夹座部（1）而共同相对于一参考基础作调整。

6. 发明公开

CN104508536A 具有单色F-θ物镜的无色扫描装置有权
公开(公告)号：CN104508536A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040097.2
申请日：2013-07-24
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：乌尔利希·克洛伊格 , 汤玛士·德烈斯勒 , 史戴芬·海纳曼
IPC分类号： G02B27/00 , G02B26/12
CPC分类号： G02B26/124 , G02B27/0031 , G02B27/005
摘要：一种无色扫描装置，其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案，使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OEpostλ1)叠合，该上游光学扫描器件的第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对一第二射束分量(1.1.2)的第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)分配有该下游光学扫描器件的一位于该目标表面(5)上的影像平面(BEpost)。

7. 发明授权

CN104508536B 具有单色F‑θ物镜的无色扫描装置有权
公开(公告)号：CN104508536B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201380040097.2
申请日：2013-07-24
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：乌尔利希·克洛伊格 , 汤玛士·德烈斯勒 , 史戴芬·海纳曼
IPC分类号： G02B27/00 , G02B26/12
CPC分类号： G02B26/124 , G02B27/0031 , G02B27/005
摘要：一种无色扫描装置，其中该上游光学扫描器件(2)及该下游光学扫描器件(4)采用某个设计方案及相对布置方案，使得针对映射至该目标表面(5)的光束(1.1)而言，该上游光学扫描器件的第一影像平面(BEpreλ1)与该下游光学扫描器件的针对一第一射束分量(1.1.1)的第一物镜平面(OEpostλ1)叠合，该上游光学扫描器件的第二影像平面(BEpreλ2)与该下游光学扫描器件的针对一第二射束分量(1.1.2)的第二物镜平面(OEpostλ2)叠合，其中，该下游光学扫描器件的该第一物镜平面(OEpostλ1)及该下游光学扫描器件的该第二物镜平面(OEpostλ2)分配有该下游光学扫描器件的一位于该目标表面(5)上的影像平面(BEpost)。

8. 发明授权

CN103649815B 用于将一面作构造化照射的照射装置失效
公开(公告)号：CN103649815B
公开(公告)日：2016-11-30
申请号：CN201280017466.1
申请日：2012-03-08
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：炎·维尔史尼克 , 马可斯·奥古斯丁 , 卢兹·莱西曼
IPC分类号： G02B26/08 , G03F7/20
摘要：本发明是有关于一种用于对一晶圆进行构造化照射的照射装置（14），包括至少一照射机构（13），其中，利用两微镜数组（5.1，5.2）对一被分为两分射线束（2.1，2.2）的射线束（2）进行调变从而提高照射晶圆的通过速度。

9. 发明公开

CN103477262A 条带式透镜用的可调整的透镜支座有权
公开(公告)号：CN103477262A
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201280011411.X
申请日：2012-02-14
申请人：耶恩光学系统公司
发明人：汤玛士·德烈斯勒 , 艾尔克·艾希勒
IPC分类号： G02B7/02 , G02B26/12 , G02B27/00
CPC分类号： G02B7/023 , G02B26/125 , G02B26/127 , G02B27/0031
摘要：一种条带式透镜(5)用的透镜支座，条带式透镜(5)可在该支座内垂直于其光轴(5.2)变形，以将一道扫瞄过条带式透镜(5)的光束的成像直线化。此透镜支座主要包含一有槽孔的间隔棱条(7)、一载体棱条(1)及一底板(2)。载体棱条(1)可经由间隔棱条(1)（它的抗弯强度很小）与条带式透镜(5)牢接且可利用调整螺丝(4.1)(4.2)相对于底板(2)变形，如此条带式透镜(5)可变形。将一间隔棱条(7)放入，使透镜支座所需的构造空间从光轴(5.2)棱位离开，以提供构造空间给相邻的光学式或机械式构造组用。

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