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    • 5. 发明专利
    • 製造濺鍍靶的方法 METHOD OF MAKING SPUTTERING TARGET
    • 制造溅镀靶的方法 METHOD OF MAKING SPUTTERING TARGET
    • TW200600599A
    • 2006-01-01
    • TW094106042
    • 2005-03-01
    • 豪梅特公司 HOWMET CORPORATION
    • 葛列格A 巴特瑟 BUTZER, GREG A.羅伯特H 胡森加 HUIZENGA, ROBERT H.史帝芬D 姆斯曼 MUSSMAN, STEVEN D.
    • C23C
    • 一種製造用於濺鍍靶之大型鉬坯料與棒材的方法,其中二個或多個含鉬本體彼此相鄰放置(諸如彼此堆疊),且鉬粉末金屬存在於該相鄰本體間的間隙或接面。熱均壓該相鄰本體,以在相鄰本體之間的各金屬-鉬粉末金屬層-金屬(metal-powder metal layer-metal)接面形成擴散接合,而形成可加工或成形而提供大型濺鍍靶的坯料或棒材。彼此相鄰放置之鉬本體的數量與尺寸係經選擇,以形成適用於濺鍍靶的希冀大尺寸坯料或棒材。該用於濺鍍靶的坯料或棒材具有含小於30微米晶粒尺寸等軸晶的HIP微結構及小於約100重量ppm的低氧氣含量。
    • 一种制造用于溅镀靶之大型钼坯料与棒材的方法,其中二个或多个含钼本体彼此相邻放置(诸如彼此堆栈),且钼粉末金属存在于该相邻本体间的间隙或接面。热均压该相邻本体,以在相邻本体之间的各金属-钼粉末金属层-金属(metal-powder metal layer-metal)接面形成扩散接合,而形成可加工或成形而提供大型溅镀靶的坯料或棒材。彼此相邻放置之钼本体的数量与尺寸系经选择,以形成适用于溅镀靶的希冀大尺寸坯料或棒材。该用于溅镀靶的坯料或棒材具有含小于30微米晶粒尺寸等轴晶的HIP微结构及小于约100重量ppm的低氧气含量。