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    • G03F7/20H05K3/06
    • 기판 (9) 의막 (8) 상에서로인접하여형성되는마스크요소페어 (710) 사이의폭을마스크갭 폭 (G) 으로하여, 마스크요소페어를사용하여에칭에의해막에형성되는패턴요소페어 (810) 의상면사이의상면갭 폭 (GT) 과, 하면사이의하면갭 폭 (GB) 의관계를나타내는참조정보가, 복수의마스크갭 폭의각각에대해준비된다. 복수의마스크갭 폭이설정된복수의마스크요소페어를사용하여에칭이실시된처리가끝난기판에있어서, 각패턴요소페어의상면갭 폭의측정치가취득된다. 당해측정치를사용하여참조정보를참조함으로써, 복수의마스크갭 폭에있어서의하면갭 폭의값이취득되고, 당해값에기초하여막의패턴의설계데이터가보정된다. 이로써, 막의패턴의하면을기준으로하는설계데이터의보정이용이하게실현된다.
    • 基板9,图案元件对是相邻地形成于8对710到掩模的间隙宽度(G),使用通过蚀刻形成在薄膜上的掩模元件对(uimak掩模元件之间的宽度 根据上表面(GT)之间的间隙宽度810)中,如果示出了间隙宽度(GB)之间的关系的服装侧基准信息之间,对于每个所述多个掩模间隙宽度的制备。 在所述多个利用一对蚀刻过程结束时的掩模元件基板的情况下进行多个掩模间隙宽度的设定,是每个图案元件对的顶面的间隙宽度的度量被获得。 通过参照使用本领域测量的基准信息,根据该多个掩膜的间隙宽度的,被校正的图案以基于本领域的值的膜的设计数据得到的缝隙宽度的值。 结果,基于电影图案的设计数据可以用于校正。