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热词
    • 7. 发明公开
    • IV족 기판 상의 III족-N MEMS 구조체들
    • IV-substrate上的III-N MEMS结构
    • KR20180019744A
    • 2018-02-26
    • KR20187002474
    • 2015-06-26
    • INTEL CORP
    • THEN HAN WUIDASGUPTA SANSAPTAKGARDNER SANAZ KPILLARISETTY RAVIRADOSAVLJEVIC MARKOSUNG SEUNG HOONCHAU ROBERT S
    • B81B7/02B81C1/00H01L41/083H01L41/18
    • B81C1/00246B81B2201/0235B81B2201/0242G01L1/18G01L1/2293
    • 실리콘, 실리콘게르마늄, 또는게르마늄기판과같은 IV족기판상에 III족재료-나이트라이드(III-N) 미세전자기계시스템들(MEMS) 구조체들을형성하기위한기법들이개시되어있다. 일부경우에, 기법들은기판상에그리고임의적으로얕은트렌치격리(STI) 재료상에 III-N 층을형성하는것과, 그다음으로, 기판위에매달려진 III-N 층의자유부분을형성하기위하여에칭함으로써 III-N 층을이형하는것을포함한다. 기법들은예를들어, 기판및/또는 STI 재료를선택적으로에칭하지만 III-N 재료를에칭하지않는(또는실질적으로더 느린레이트로 III-N 재료를에칭하지않는) 습식에칭프로세스를이용하는것을포함할수 있다. 압전저항엘리먼트들은예를들어, III-N 층의자유/매달린부분에서진동들또는편향을검출하기위하여 III-N 층상에형성될수 있다. 따라서, MEMS 센서들은예를들어, 가속도계들, 자이로스코프들, 및압력센서들과같은기법들을이용하여형성될수 있다.
    • 公开了在诸如硅,硅锗或锗衬底的第IV族衬底上形成III族材料 - 氮化物(III-N)微机电系统(MEMS)结构的技术。 在一些情况下,可以采用技术在衬底上并且可选地在浅沟槽隔离(STI)材料上形成III-N层,然后蚀刻以形成III- N层“。 技术可以包括例如使用选择性蚀刻衬底和/或STI材料但不蚀刻III-N材料(或不以显着更慢的速率蚀刻III-N材料)的湿法蚀刻工艺, 有。 可以在III-N层上形成压阻元件以检测例如在III-N层的自由/悬置部分中的振动或偏转。 因此,可以使用例如加速度计,陀螺仪和压力传感器等技术来形成MEMS传感器。
    • 8. 发明公开
    • 보행자 추측 항법 기술
    • 行人导航技术
    • KR20180019741A
    • 2018-02-26
    • KR20187002279
    • 2015-06-26
    • INTEL CORP
    • HAN KEWANG XUNCAI XIAODONGLI LIANG
    • G01C21/16G01D1/04G01D1/16G06F17/10
    • G01C22/006G01C21/16
    • 사용자의위치를결정하는기술은모바일컴퓨팅장치(100)를포함하는데, 이장치는장치의감지된관성특성에기초하여사용자의워킹걸음걸이를판정한다. 워킹걸음걸이는사용자가모바일컴퓨팅장치를자신측으로홀딩하는것을나타내는제 1 걸음걸이또는사용자가모바일컴퓨팅장치를자신을따라스윙하는것을나타내는제 2 걸음걸이중 하나이다. 모바일컴퓨팅장치는추가로감지된관성특성및 사용자의판정된워킹걸음걸이에기초하여사용자가물리적스텝을취했음을검출하고, 물리적스텝의방향을나타내는모바일컴퓨팅장치의원 진행방향을결정한다. 모바일컴퓨팅장치는사용자의결정된원 진행방향, 사용자의추정스텝길이및 사용자의이전위치에기초하여사용자의추정위치를결정한다.
    • 用于确定用户的位置的技术包括移动计算设备100,其基于感测到的设备的惯性特性来确定用户的步态步态。 步行步态是第一步态和第二步态之一,第一步态指示用户将移动计算装置保持在其侧面,或者第二步态指示用户正在与其一起摆动移动计算装置。 移动计算设备基于进一步感测到的惯性特征和用户确定的步行步态来检测用户已经采取了物理步骤,并且确定移动计算设备的指示物理步骤的方向的行进方向。 移动计算设备基于用户确定的圆进度方向,用户的估计步长和用户的先前位置来确定用户的估计位置。
    • 10. 发明公开
    • 온-칩 스루-바디-비아 커패시터들 및 이를 형성하기 위한 기법들
    • 片上通体电容器和形成它们的技术
    • KR20180019078A
    • 2018-02-23
    • KR20177033496
    • 2015-06-22
    • INTEL CORP
    • CHEN YI WEIPHOA KINYIPNIDHI NIDHILIN JUI YENSHIH KUN HUANYANG XIAODONGHAFEZ WALID MTSAI CURTIS
    • H01L23/48H01L21/768H01L27/06H01L49/02
    • H01L23/481H01L21/76831H01L21/76898H01L27/0629H01L28/90
    • 스루-바디-비아(TBV)들을사용하여온-칩커패시턴스를제공하기위한기법들이개시된다. 일부실시예들에따르면, TBV는반도체층 내에형성될수 있고, 유전체층은 TBV와주변반도체층 사이에서형성될수 있다. TBV는 TBV 커패시터의하나의전극(예를들어, 애노드)으로서의역할을할 수있고, 유전체층은그 TBV 커패시터의유전체바디로서의역할을할 수있다. 일부실시예들에서, 반도체층은 TBV 커패시터의다른전극(예를들어, 캐소드)으로서의역할을한다. 그러한목적으로, 일부실시예들에서, 전체반도체층은낮은-비저항재료를포함할수 있는반면, 일부다른실시예들에서, 낮은-비저항영역(들)은, 예를들어, 해당위치(들) 내의선택적도핑에의해 TBV에대해국부적인측벽들을따라서만제공될수 있다. 다른실시예들에서, 유전체층과반도체층 사이에형성되는전도성층은 TBV 커패시터의다른전극(예를들어, 캐소드)으로서의역할을한다.
    • 公开了使用体通孔(TBV)提供片上电容的技术。 根据一些实施例,TBV可以形成在半导体层中,并且介电层可以形成在TBV和外围半导体层之间。 TBV可以用作TBV电容器的一个电极(例如,阳极),并且介电层可以用作TBV电容器的介电体。 在一些实施例中,半导体层用作TBV电容器的另一电极(例如阴极)。 为此,在一些实施例中,整个半导体层可以包括低电阻率材料,而在一些其他实施例中,低电阻率区域可以包括,例如, 可以通过选择性掺杂仅沿TBV的局部侧壁提供。 在其他实施例中,介电层和半导体层之间形成的导电层用作TBV电容器的另一电极(例如,阴极)。