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1. 发明专利

TWI625071B Ｘ線裝置、及構造物之製造方法有权
简体标题：Ｘ线设备、及构造物之制造方法
公开(公告)号：TWI625071B
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW102134737
申请日：2013-09-26
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION , 尼康計量公眾有限公司 , NIKON METROLOGY NV
发明人：箱田文彥 , HAKODA, FUMIHIKO , 高橋聰志 , TAKAHASHI, SATOSHI , 史密斯吉姆 , SMITH, JIM
IPC分类号： H05G1/02 , G01N23/02

2. 发明专利

TW201414360A Ｘ線裝置、及構造物之製造方法审中-公开
简体标题：Ｘ线设备、及构造物之制造方法
公开(公告)号：TW201414360A
公开(公告)日：2014-04-01
申请号：TW102134737
申请日：2013-09-26
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION , 尼康計量公眾有限公司 , NIKON METROLOGY NV
发明人：箱田文彥 , HAKODA, FUMIHIKO , 高橋聰志 , TAKAHASHI, SATOSHI , 史密斯吉姆 , SMITH, JIM
IPC分类号： H05G1/02 , G01N23/02
CPC分类号： H01J35/16 , B22D46/00 , G01N23/02 , G01N23/04 , G21K7/00 , H01J9/42 , H01J35/04 , H01J35/045 , H01J2235/163 , H05G1/02
摘要：本發明提供一種能抑制檢測精度之降低的X線裝置。X線裝置，具備藉由電子之撞擊或電子之穿透以產生X線的靶、對前述靶射出電子的燈絲、於內部具有前述燈絲的外罩、以及將配置在前述外罩外側之前述靶之一部分在前述外罩之外側加以保持的第1保持構件。
简体摘要：本发明提供一种能抑制检测精度之降低的X线设备。X线设备，具备借由电子之撞击或电子之穿透以产生X线的靶、对前述靶射出电子的灯丝、于内部具有前述灯丝的外罩、以及将配置在前述外罩外侧之前述靶之一部分在前述外罩之外侧加以保持的第1保持构件。

3. 发明专利

TWI634324B Ｘ線裝置及構造物之製造方法有权
简体标题：Ｘ线设备及构造物之制造方法
公开(公告)号：TWI634324B
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW103116504
申请日：2014-05-09
申请人：日商尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION , 比利時商尼康計量公眾有限公司 , NIKON METROLOGY NV
发明人：渡部貴志 , WATANABE, TAKASHI , 豪克山姆 , HAWKER, SAM , 希爾頓丹尼爾 , HILTON, DANIEL
IPC分类号： G01N23/02

4. 发明专利

TW201346215A 成像光學系、測定裝置、形狀測定裝置、構造物製造系統、及構造物製造方法审中-公开
简体标题：成像光学系、测定设备、形状测定设备、构造物制造系统、及构造物制造方法
公开(公告)号：TW201346215A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102104791
申请日：2013-02-07
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION , 尼康計量公眾有限公司 , NIKON METROLOGY NV
发明人：北澤大輔 , KITAZAWA, DAISUKE , 布蘭卡特派崔克 , BLANCKAERT, PATRICK
IPC分类号： G01B11/24 , G02B27/00 , G02B7/00 , B29C37/00
CPC分类号： B29C37/00 , G01B11/24 , G02B13/24 , G02B27/00 , G02B27/0025
摘要：於歪斜之成像光學系中，抑制成像性能之降低。成像光學系(21)，係包含連結物體面(P1)之一點和與物體面之一點共軛之像面(P2)之一點之第1軸(25)，於相對於包含物體面之面與包含像面之面之交線而垂直之平面內，物體面與像面相對於第1軸朝向相互相反方向傾斜之成像光學系，具備於平面內相對於第1軸而偏心之第1光學構件(51)。
简体摘要：于歪斜之成像光学系中，抑制成像性能之降低。成像光学系(21)，系包含链接物体面(P1)之一点和与物体面之一点共轭之像面(P2)之一点之第1轴(25)，于相对于包含物体面之面与包含像面之面之交线而垂直之平面内，物体面与像面相对于第1轴朝向相互相反方向倾斜之成像光学系，具备于平面内相对于第1轴而偏心之第1光学构件(51)。

5. 发明专利

TW201502501A Ｘ線裝置及構造物之製造方法审中-公开
简体标题：Ｘ线设备及构造物之制造方法
公开(公告)号：TW201502501A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103116504
申请日：2014-05-09
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION , 尼康計量公眾有限公司 , NIKON METROLOGY NV
发明人：渡部貴志 , WATANABE, TAKASHI , 豪克山姆 , HAWKER, SAM , 希爾頓丹尼爾 , HILTON, DANIEL
IPC分类号： G01N23/02
CPC分类号： G01N23/046 , G01N23/04 , G01N2223/33 , G01N2223/646
摘要：提供一種可抑制檢測精度降低之裝置及構造物之製造方法。檢測裝置1係對被測定物S照射X線並檢測通過被測定物S之X線的裝置，包含射出X線之X線源、保持被測定物S之桌台3、檢測從X線源射出並通過被測定物S之穿透X線之至少一部分之檢測器4、以及一邊支承桌台3一邊引導桌台3往與X線源之光軸Zr平行之方向之移動之第1引導裝置5A及第2引導裝置5B。檢測裝置1，其與光軸Zr平行、且用以規定桌台3之移動之平面的引導面GP，通過檢測器4之穿透X線之檢測區域DR內。
简体摘要：提供一种可抑制检测精度降低之设备及构造物之制造方法。检测设备1系对被测定物S照射X线并检测通过被测定物S之X线的设备，包含射出X线之X线源、保持被测定物S之桌台3、检测从X线源射出并通过被测定物S之穿透X线之至少一部分之检测器4、以及一边支承桌台3一边引导桌台3往与X线源之光轴Zr平行之方向之移动之第1引导设备5A及第2引导设备5B。检测设备1，其与光轴Zr平行、且用以规定桌台3之移动之平面的引导面GP，通过检测器4之穿透X线之检测区域DR内。

6. 发明申请

WO2016151101A3 METHOD FOR CORRECTING COORDINATE MEASUREMENT MACHINE ERRORS 审中-公开
标题翻译：校正坐标测量机错误的方法
公开(公告)号：WO2016151101A3
公开(公告)日：2016-10-27
申请号：PCT/EP2016056623
申请日：2016-03-24
申请人： NIKON METROLOGY NV
发明人： STOTT CHRISTOPHER , OSBORNE NICHOLAS PATRICK , VANDENHOUDT GEERT
IPC分类号： G01B21/04 , H01B7/00 , H01B11/00
CPC分类号： G01B21/045 , G01B21/047
摘要： The invention provides a method for creating or refining a mathematical correction model for correcting dybamic measurement errors in a co-ordinate measurement machine having at least 3 linear machine axes X, Y, and Z, each comprising a machine linear scale, and provided with a measurement probe. An error model for considering acceleration errors is created and refined using actual measurements of the probe position when accelerating. Also the probe offset from the linear translation axes is considered.
摘要翻译：本发明提供了一种用于在具有至少3个线性机器轴X，Y和Z的坐标测量机器中产生或精炼用于校正动态测量误差的数学校正模型的方法，每个线性机器轴线X，Y和Z各自包括机器线性刻度，测量探头。考虑加速度误差的误差模型是通过加速时探头位置的实际测量来创建和改进的。此外，考虑了与线性平移轴偏移的探头。

7. 发明申请

WO2016023949A1 X-RAY APPARATUS 审中-公开
标题翻译： X-RAY装置
公开(公告)号：WO2016023949A1
公开(公告)日：2016-02-18
申请号：PCT/EP2015/068555
申请日：2015-08-12
申请人： NIKON METROLOGY NV
发明人： PRICE, Ben , BEECHEY, Michael , SMITH, James
IPC分类号： G01N23/20 , G01N23/22 , G01Q30/18 , H01J35/16 , H01J37/16
CPC分类号： G01N23/02 , G01N23/20025 , G01N23/2204 , G01N2223/308 , G01N2223/309 , G01N2223/419
摘要： An equipment mount for an x-ray apparatus is disclosed. The mount comprises a main shield element, a peripheral shield element and a secondary shield element arranged to permit a mounting element to pass through the main shield element in a shielded manner. A support apparatus for an x-ray apparatus is also disclosed. The support apparatus comprises a separable bearing for translating a support part between a first position and a second position and an elevator mechanism for translating the support part from the second position to a third position, thereby separating the bearing. A manipulator stage for an x-ray apparatus is also disclosed. The stage comprises a first support structure arranged to support a sample stage and supported at first and second positions either side of the sample stage by second and third support structures, the second and third support structures being configured to allow the first support structure to raise and lower while remaining supported at both ends.
摘要翻译：公开了一种用于X射线设备的设备安装座。安装座包括主屏蔽元件，外围屏蔽元件和辅助屏蔽元件，其被布置成允许安装元件以屏蔽方式穿过主屏蔽元件。还公开了一种用于X射线装置的支撑装置。支撑装置包括用于在第一位置和第二位置之间平移支撑部分的可分离轴承和用于将支撑部件从第二位置平移到第三位置的升降机构，从而分离轴承。还公开了一种用于X射线设备的操纵台。舞台包括布置成支撑样本台并且通过第二和第三支撑结构在样品台的任一侧的第一和第二位置处被支撑的第一支撑结构，第二和第三支撑结构构造成允许第一支撑结构升高，较低，同时在两端保持支撑。

8. 发明申请

WO2016018508A2 METHOD FOR PACKAGING OPTICAL FIBER ARRAY FOR LASER RADAR 审中-公开
标题翻译：用于激光雷达包装光纤阵列的方法
公开(公告)号：WO2016018508A2
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/US2015/033828
申请日：2015-06-02
申请人： NIKON METROLOGY NV
发明人： SLOTWINSKI, Anthony R. , REZK, Mina A. , SLYUSAREV, Pavel
IPC分类号： G01S3/789
CPC分类号： G02B6/29398 , G01S7/484 , G01S7/486 , G02B6/02395 , G02B6/29346
摘要： An optical delay between a first fiber and a second fiber is temperature compensated by combining fibers with different thermal path length changes. In some examples, fibers with different buffer coatings exhibit different path length changes per unit length and temperature. Combining such fibers in a fiber array provides a path length difference that is substantially independent of temperature.
摘要翻译：通过组合具有不同热路径长度变化的光纤来对第一光纤和第二光纤之间的光学延迟进行温度补偿。在一些实例中，具有不同缓冲涂层的纤维在每单位长度和温度上表现出不同的路径长度变化。将这种纤维组合在纤维阵列中提供了基本上与温度无关的路径长度差。

9. 发明申请

WO2014081043A2 SCAN MIRRORS FOR LASER RADAR 审中-公开
标题翻译：扫射镜用于激光雷达
公开(公告)号：WO2014081043A2
公开(公告)日：2014-05-30
申请号：PCT/JP2013/081827
申请日：2013-11-20
申请人： NIKON CORPORATION , NIKON METROLOGY NV
发明人： GOODWIN, Eric Peter , SMITH, Daniel Gene , COOPER, Alexander , REZK, Mina , SLOTWINSKI, Anthony , HEDGES, Thomas
IPC分类号： G01S7/481 , G01S7/491 , G01S17/32
CPC分类号： G01S17/102 , G01S7/4812 , G01S7/4817 , G01S7/4818 , G01S7/4917 , G01S17/325 , G01S17/66 , G02B26/101 , G02B26/108
摘要： Laser radar systems include a pentaprism configured to scan a measurement beam with respect to a target surface. A focusing optical assembly includes a corner cube that is used to adjust measurement beam focus. Target distance is estimated based on heterodyne frequencies between a return beam and a local oscillator beam. The local oscillator beam is configured to propagate to and from the focusing optical assembly before mixing with the return beam. In some examples, heterodyne frequencies are calibrated with respect to target distance using a Fabry-Perot interferometer having mirrors fixed to a lithium aluminosilicate glass-ceramic tube.
摘要翻译：激光雷达系统包括配置成相对于目标表面扫描测量光束的五棱镜。聚焦光学组件包括用于调节测量光束聚焦的角立方体。基于返回波束和本地振荡器波束之间的外差频率来估计目标距离。本地振荡器束配置成在与返回光束混合之前传播到聚焦光学组件和/或从聚焦光学组件传播。在一些示例中，使用具有固定到铝硅酸锂玻璃 - 陶瓷管的镜子的法布里 - 珀罗干涉仪来校准相对于目标距离的外差频率。

10. 发明申请

WO2016045905A1 HIGH VOLTAGE GENERATOR 审中-公开
标题翻译：高压发电机
公开(公告)号：WO2016045905A1
公开(公告)日：2016-03-31
申请号：PCT/EP2015/069632
申请日：2015-08-27
申请人： NIKON METROLOGY NV
发明人： ZYWICKI, Janusz , HADLAND, Roger
IPC分类号： H05G1/20 , H05G1/32 , H05G1/26
CPC分类号： H05G1/20 , H01F27/29 , H01F27/30 , H01F29/02 , H01F29/12 , H02M7/043 , H05G1/265 , H05G1/32
摘要： Disclosed is a high-voltage generator for an x-ray apparatus. The generator comprises a voltage multiplier having a high-voltage output terminal and first and second alternating-current input terminals, an output transformer coil (12) having first and second output terminals respectively electrically connected to the first and second input terminals of the voltage multiplier, and an input transformer coil (11) having first and second input terminals and being arranged coaxially with and inductively coupled to the output transformer coil. The input and output transformer coils are relatively axially movable. Disclosed is also an x-ray apparatus using the high-voltage generator, a method of configuring a high-voltage generator and a method of configuring a high-voltage apparatus.
摘要翻译：公开了一种用于X射线装置的高压发生器。发电机包括具有高压输出端和第一和第二交流输入端的电压倍增器，输出变压器线圈（12）具有分别电连接到电压倍增器的第一和第二输入端的第一和第二输出端和输入变压器线圈（11），其具有第一和第二输入端子并且与输出变压器线圈同轴并且电感耦合。输入和输出变压器线圈相对轴向移动。还公开了使用高压发生器的X射线装置，高电压发生器的配置方法和配置高压装置的方法。

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