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1. 发明专利

JP2014139319A Carbosilane polymer composition for anti-reflective coating 有权
标题翻译：用于防反射涂料的碳纤维聚合物组合物
公开(公告)号：JP2014139319A
公开(公告)日：2014-07-31
申请号：JP2014040694
申请日：2014-03-03
申请人： Optitune Oy , オプティチューンオサケユキチュア
发明人： ARI KARKKAINEN
IPC分类号： C08G77/50
CPC分类号： G03F1/46 , C08G77/52 , C09D5/006 , C09D183/14 , G03F7/0752 , G03F7/091 , H01L21/02118
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new material for forming a film, which has characteristics suitable for anti-reflective coating to be used in lithographic production of a semiconductor device.SOLUTION: A silicon polymer material has a silicon polymer backbone with chromophore groups attached directly to at least a part of silicon atoms, and the polymer further exhibits carbosilane bonds. A film forming composition and resulting coating properties can be tailored to suit a specific exposure wavelength, device fabrication and design requirements. By using two different chromophores, a refractive index and an absorption co-efficient can be efficiently tuned. By varying the proportion of carbosilane bonds, and a desired Si-content of an anti-reflective coating composition can be obtained.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于形成膜的新材料，其具有适用于半导体器件的平版印刷生产中的抗反射涂层的特性。解决方案：硅聚合物材料具有附着的发色团的硅聚合物主链直接与硅原子的至少一部分接触，聚合物进一步显示出碳硅烷键。成膜组合物和所得到的涂层性能可以被定制以适合特定的曝光波长，器件制造和设计要求。通过使用两种不同的发色团，可以有效地调节折射率和吸收系数。通过改变碳硅烷键的比例，可以获得所需的抗反射涂层组合物的Si含量。

2. 发明专利

TW201700659A 混成有機-無機材料的組成物及其製造方法與使用方法审中-公开
简体标题：混成有机-无机材料的组成物及其制造方法与使用方法
公开(公告)号：TW201700659A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105108216
申请日：2016-03-17
申请人：歐提騰股份有限公司 , OPTITUNE OY
发明人：萊沃賈古 , LEIVO, JARKKO , 哈吉克艾默爾 , HADZIC, ADMIR , 漢紐-酷爾米傑 , HANNU-KUURE, MILJA , 卡坎南亞里 , KARKKAINEN, ARI , 加比塔勒黑娜 , JARVITALO, HENNA , 庫巴加拉娜-利娜 , KUVAJA, RAUNA-LEENA , 裴森嫩馬蒂 , PESONEN, MATTI
IPC分类号： C09D183/06 , C08G77/14 , C09D5/00 , C03C17/30 , G06F3/041 , G09F9/00 , H04M1/02
CPC分类号： C03C17/30 , C03C2217/73 , C03C2217/76 , C08L83/08 , G06F1/1643 , H04M1/026
摘要：一種電腦或個人通訊裝置或類似裝置，所述裝置包括：中央處理單元；以及顯示器；其中所述顯示器包括：光學元件陣列；觸控感測器；以及玻璃蓋板，具有疏油性的塗層。玻璃的塗層為在主鏈中具有矽、氧及碳的聚合物。視需要所述塗層可包含氟。所述塗層具有65或大於65的水接觸角、20度或大於20度的油接觸角、及7H或大於7H的鉛筆硬度。因此，所述塗層兼具疏水性及疏油性以及硬度性質。
简体摘要：一种电脑或个人通信设备或类似设备，所述设备包括：中央处理单元；以及显示器；其中所述显示器包括：光学组件数组；触摸传感器；以及玻璃盖板，具有疏油性的涂层。玻璃的涂层为在主链中具有硅、氧及碳的聚合物。视需要所述涂层可包含氟。所述涂层具有65或大于65的水接触角、20度或大于20度的油接触角、及7H或大于7H的铅笔硬度。因此，所述涂层兼具疏水性及疏油性以及硬度性质。

3. 发明申请

US20150249164A1 Method of forming functional coatings on silicon substrates 审中-公开
标题翻译：在硅衬底上形成功能涂层的方法
公开(公告)号：US20150249164A1
公开(公告)日：2015-09-03
申请号：US14430554
申请日：2013-09-24
申请人： OPTITUNE OY
发明人： Ari Kärkkäinen , Milja Hannu-Kuure , Henna Järvitalo , Paul Williams , Jarkko Leivo , Admir Hadzic , Jianhui Wang
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/02167 , H01L31/02168 , H01L31/1868 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： A method of passivating a silicon substrate, comprising providing a silicon substrate having a surface, forming a stack of passivating and anti-reflection coating layers on said surface by liquid phase deposition, wherein the passivating and anti-reflection coating layers comprise hydrogenated silicon oxide layers, and providing at least titanium oxide or tantalum oxide capping layer on the stack opposite to the silicon substrate surface. The procedure offers an alternative to the existing ALD or PECVD methods using SiH4 and other gases, enabling the PV manufacturers to apply chemicals rather than work with hazardous gases to produce a series of layers that provide passivation as well as light absorption.
摘要翻译：一种钝化硅衬底的方法，包括提供具有表面的硅衬底，通过液相沉积在所述表面上形成钝化和抗反射涂层的堆叠，其中所述钝化和抗反射涂层包括氢化氧化硅层并且在与硅衬底表面相对的堆叠上提供至少氧化钛或氧化钽封盖层。该程序提供了使用SiH4和其他气体的现有ALD或PECVD方法的替代方案，使PV制造商能够使用化学品，而不是使用有害气体，以产生一系列提供钝化和光吸收的层。

4. 发明专利

TW201700657A 混成有機─無機材料的組成物及其製造方法與用途以及所述用途的製造方法审中-公开
简体标题：混成有机─无机材料的组成物及其制造方法与用途以及所述用途的制造方法
公开(公告)号：TW201700657A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105108209
申请日：2016-03-17
申请人：歐提騰股份有限公司 , OPTITUNE OY
发明人：卡坎南亞里 , KARKKAINEN, ARI , 漢紐-酷爾米傑 , HANNU-KUURE, MILJA , 哈吉克艾默爾 , HADZIC, ADMIR , 萊沃賈古 , LEIVO, JARKKO , 加比塔勒黑娜 , JARVITALO, HENNA , 庫巴加拉娜-利娜 , KUVAJA, RAUNA-LEENA
IPC分类号： C09D183/04 , C03C17/30 , H01L31/0216 , H01L31/049 , H01L31/042 , H01L31/18
CPC分类号： G02B1/111 , H01L31/02167 , H01L31/02168 , H01L31/0488 , H01L31/068 , Y02E10/547
摘要：製造具有蓋板的光伏打電池的方法包括以下步驟：提供包括結晶矽基板的光伏打電池；提供透明基板；在所述透明基板上形成抗反射塗層以提供經塗佈的透明基板；以及用所述經塗佈的透明基板覆蓋所述光伏打電池。抗反射塗層為混成有機-無機材料，所述混成有機-無機材料具有包括矽、氧以及碳的無機部分且更包括具有連接至所述無機部分的有機基團的有機部分。本發明揭露製造太陽能板、經塗佈的玻璃基板以及抗反射塗層的方法以及新穎的混成有機-無機材料的組成物。
简体摘要：制造具有盖板的光伏打电池的方法包括以下步骤：提供包括结晶硅基板的光伏打电池；提供透明基板；在所述透明基板上形成抗反射涂层以提供经涂布的透明基板；以及用所述经涂布的透明基板覆盖所述光伏打电池。抗反射涂层为混成有机-无机材料，所述混成有机-无机材料具有包括硅、氧以及碳的无机部分且更包括具有连接至所述无机部分的有机基团的有机部分。本发明揭露制造太阳能板、经涂布的玻璃基板以及抗反射涂层的方法以及新颖的混成有机-无机材料的组成物。

5. 发明专利

TW201700548A 矽氧烷聚合物組成物及製造方法與用途、覆蓋基板的方法审中-公开
简体标题：硅氧烷聚合物组成物及制造方法与用途、覆盖基板的方法
公开(公告)号：TW201700548A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105108225
申请日：2016-03-17
申请人：歐提騰股份有限公司 , OPTITUNE OY
发明人：卡坎南亞里 , KARKKAINEN, ARI , 漢紐-酷爾米傑 , HANNU-KUURE, MILJA , 哈吉克艾默爾 , HADZIC, ADMIR , 萊沃賈古 , LEIVO, JARKKO , 加比塔勒黑娜 , JARVITALO, HENNA , 庫巴加拉娜-利娜 , KUVAJA, RAUNA-LEENA , 戈登格雷姆 , GORDON, GRAEME , 裴森嫩馬蒂 , PESONEN, MATTI
IPC分类号： C08G77/06 , C08L83/06 , C08L83/07 , G02F1/1333 , H01L33/44 , G03F7/038 , G03F7/32 , G03F7/075
CPC分类号： C09D183/14 , C08G77/14 , C08G77/20 , C08G77/50 , C08G77/52 , G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/0757
摘要：本發明是有關於矽氧烷聚合物組成物。具體而言，本發明是有關於具有適用於微影製造製程的特性的矽氧烷聚合物組成物。本發明亦有關於所述組成物的合成、聚合以及交聯。
简体摘要：本发明是有关于硅氧烷聚合物组成物。具体而言，本发明是有关于具有适用于微影制造制程的特性的硅氧烷聚合物组成物。本发明亦有关于所述组成物的合成、聚合以及交联。

6. 发明授权

US11127864B2 Carbosiloxane polymer compositions, methods of producing the same and the use thereof 有权
公开(公告)号：US11127864B2
公开(公告)日：2021-09-21
申请号：US15559074
申请日：2016-03-17
申请人： Optitune Oy
发明人： Ari Kärkkäinen , Milja Hannu-Kuure , Admir Hadzic , Jarkko Leivo , Henna Järvitalo , Rauna-Leena Kuvaja
IPC分类号： H01L31/02 , C09D5/00 , C09D183/04 , C09D183/08 , G02B1/111 , H01L31/048 , H01L31/068 , H01L31/18 , H01L51/00 , H01L51/44 , H01L31/0216 , H01L31/0224 , H01L31/0236 , H01L31/0296 , H01L31/032 , H01L31/0352 , H01L51/52 , H01L51/56
摘要： A method of producing a photovoltaic cell having a cover, comprising the steps of: providing a photovoltaic cell which comprises a crystalline silicon substrate; providing a transparent substrate; forming an antireflective coating on said transparent substrate to provide a coated transparent substrate; and covering the photovoltaic cell with said coated transparent substrate. The antireflective coating is a hybrid organic-inorganic material having an inorganic portion comprising silicon, oxygen and carbon, and further comprising an organic portion with organic groups connected to the inorganic portion. Methods of producing solar panels, coated glass substrates as well as antireflection coatings are disclosed as well as novel compositions of hybrid organic-inorganic materials.

7. 发明申请

US20150295196A1 Method of producing a photovoltaic device 审中-公开
标题翻译：光电器件的制造方法
公开(公告)号：US20150295196A1
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：US14430559
申请日：2013-09-24
申请人： OPTITUNE OY
发明人： Ari Kärkkäinen , Milja Hannu-Kuure , Henna Järvitalo , Paul Williams , Jarkko Leivo , Admir Hadzic , Jianhui Wang
IPC分类号： H01L51/44 , H01L51/00
CPC分类号： H01L51/448 , H01L31/02167 , H01L31/1868 , H01L51/0003 , H01L51/0004 , H01L51/0008 , H01L51/0034 , H01L51/005 , H01L51/0094 , H01L2031/0344 , H01L2251/301 , H01L2251/303 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： A method of producing a photovoltaic device which comprises a solar cell substrate forming the bulk of the device with at least one layer deposited thereon defining a surface of the device, said method comprising the step of introducing a functional layer on the substrate, said layer being capable of releasing hydrogen, and activating said layer to achieve hydrogenation of the photovoltaic device. The method makes it possible, in the case of thick film solar cell production, to have the whole manufacturing sequence performed using chemicals applied under atmospheric conditions.
摘要翻译：一种制造光伏器件的方法，该太阳能电池基板包括形成该器件本体的太阳能电池基板，其中沉积有至少一层沉积有该器件的表面，所述方法包括在基板上引入功能层的步骤，所述层为能够释放氢，并激活所述层以实现光伏器件的氢化。该方法在厚膜太阳能电池生产的情况下可以使用在大气条件下施加的化学品进行整个制造顺序。

8. 发明申请

US20220010172A1 SILOXANE POLYMER COMPOSITIONS AND THEIR USE 有权
公开(公告)号：US20220010172A1
公开(公告)日：2022-01-13
申请号：US17479009
申请日：2021-09-20
申请人： OPTITUNE Oy
发明人： Ari KARKKAINEN , Milja HANNU-KUURE , Admir HADZIC , Jarkko LEIVO , Henna JARVITALO , Rauna-Leena KUVAJA , Graeme GORDON , Matti PESONEN
IPC分类号： C09D183/14 , G03F7/038 , G03F7/075
摘要： The present invention provides a method for covering a substrate, and includes the following operations: (a) admixing at least four different silane monomers and at least one bi-silane to a first solvent(s) to form a mixture, with the proviso that at least one of the silane monomers or the bi-silane comprises an active group capable of achieving cross-linking to adjacent siloxane polymer chains of the siloxane polymer composition; (b) subjecting the mixture to an acid treatment so that the silane monomers are at least partially hydrolysed, and the hydrolysed silane monomers, the silane monomers and the bi-silane are at least partially polymerized and cross-linked; (c) optionally changing the first solvent to a second solvent; and (d) subjecting the mixture to further cross-linking of the siloxane polymer to achieve a predetermined degree of cross-linking, depositing the siloxane polymer composition on the substrate, and optionally curing the deposited siloxane polymer composition.

9. 发明申请

US20150255638A1 method of modifying an n-type silicon substrate 审中-公开
标题翻译：修改n型硅衬底的方法
公开(公告)号：US20150255638A1
公开(公告)日：2015-09-10
申请号：US14430558
申请日：2013-09-24
申请人： OPTITUNE OY
发明人： Ari Kärkkäinen , Milja Hannu-Kuure , Henna Järvitalo , Paul Williams , Jarkko Leivo , Admir Hadzic , Jianhui Wang
IPC分类号： H01L31/0216 , H01L31/028 , H01L21/02 , H01L31/054 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/02167 , C09D183/04 , C09D183/06 , H01L21/02126 , H01L21/02274 , H01L21/0228 , H01L21/02282 , H01L31/02168 , H01L31/028 , H01L31/0547 , H01L31/056 , H01L31/18 , Y02E10/52
摘要： A method of modifying a silicon substrate which is intended for use in a photovoltaic device, comprising the steps of providing an n-type silicon substrate having a bulk and exhibiting a front surface and a rear surface; and forming by liquid phase application dielectric layers on said front and rear surfaces. The dielectric layer formed at the rear surface is capable of acting as a reflector to enhance reflection of light into the bulk of the silicon substrate, and the dielectric layer formed at the front comprises oxygen, hydrogen and at least one metal or semimetal and is capable of releasing hydrogen into the bulk as well as onto the surfaces of the silicon substrate in order to provide hydrogenation and passivation. The present invention provides a low cost method of improving the electrical or optical performance, or both, of photovoltaic devices: an increase in the efficiency of the current extraction and reduction of recombination occur within the device.
摘要翻译：一种修改旨在用于光伏器件的硅衬底的方法，包括以下步骤：提供具有本体并呈现前表面和后表面的n型硅衬底; 以及在所述前表面和后表面上通过液相施加电介质层形成。形成在后表面的电介质层能够用作反射器，以增强光反射到硅衬底的主体中，并且在前面形成的电介质层包括氧，氢和至少一种金属或半金属并且能够将氢释放到本体以及硅衬底的表面上以提供氢化和钝化。本发明提供了改进光电器件的电或光学性能或两者的低成本方法：在器件内发生电流提取的效率的提高和复合的减少。

10. 发明授权

US11634610B2 Siloxane polymer compositions and their use 有权
公开(公告)号：US11634610B2
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：US17479009
申请日：2021-09-20
申请人： OPTITUNE Oy
发明人： Ari Karkkainen , Milja Hannu-Kuure , Admir Hadzic , Jarkko Leivo , Henna Jarvitalo , Rauna-Leena Kuvaja , Graeme Gordon , Matti Pesonen
IPC分类号： B05D5/00 , C09D183/14 , G03F7/038 , G03F7/075 , C08G77/52 , C08G77/14 , C08G77/20 , C08G77/50
摘要： The present invention provides a method for covering a substrate, and includes the following operations: (a) admixing at least four different silane monomers and at least one bi-silane to a first solvent(s) to form a mixture, with the proviso that at least one of the silane monomers or the bi-silane comprises an active group capable of achieving cross-linking to adjacent siloxane polymer chains of the siloxane polymer composition; (b) subjecting the mixture to an acid treatment so that the silane monomers are at least partially hydrolysed, and the hydrolysed silane monomers, the silane monomers and the bi-silane are at least partially polymerized and cross-linked; (c) optionally changing the first solvent to a second solvent; and (d) subjecting the mixture to further cross-linking of the siloxane polymer to achieve a predetermined degree of cross-linking, depositing the siloxane polymer composition on the substrate, and optionally curing the deposited siloxane polymer composition.

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