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1. 发明专利

JP6964031B2 パターンエッジ検出方法有权
公开(公告)号：JP6964031B2
公开(公告)日：2021-11-10
申请号：JP2018059802
申请日：2018-03-27
申请人： TASMIT株式会社
发明人：大家政洋
IPC分类号： G01N21/88 , G06T7/00

2. 发明专利

JP2021163689A 検査チャンバから試料ステージを取り出す装置および方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021163689A
公开(公告)日：2021-10-11
申请号：JP2020066575
申请日：2020-04-02
申请人： TASMIT株式会社
发明人：重田貴司
IPC分类号： H01J37/20
摘要：【課題】顕微鏡を囲む環境チャンバを解体することなく、簡単な構成で試料ステージを検査チャンバから速やかに取り外すことができる装置を提供する。【解決手段】本装置は、試料ステージ31を吊り上げるための吊り上げ機構40と、検査チャンバ30の外に設置されたレール50と、レール50上を移動可能なステージ台車51を備えている。吊り上げ機構40の少なくとも一部は、顕微鏡1を囲む環境チャンバ2の上部2aに支持されている。【選択図】図2

3. 发明专利

JP6900252B2 パターン検査装置の検査結果の度数分布形状に関する情報を活用する方法有权
公开(公告)号：JP6900252B2
公开(公告)日：2021-07-07
申请号：JP2017122860
申请日：2017-06-23
申请人： TASMIT株式会社
发明人：佐藤善茂
IPC分类号： G01N23/2251 , H01L21/66

4. 发明专利

JP2020161769A 画像生成方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020161769A
公开(公告)日：2020-10-01
申请号：JP2019062767
申请日：2019-03-28
申请人： TASMIT株式会社
发明人：丸山浩太郎
IPC分类号： H01J37/22 , G01N23/2251 , G01N23/18 , H01L21/66
摘要：【課題】ホットスポットなどの特定点の位置を正確に決定し、その特定点の画像を生成する方法を提供する。【解決手段】画像生成方法は、しきい値よりも高いユニークネス値を持つパターンが存在するクリップ領域C1を選択し、選択されたクリップ領域C1内に存在する特定点である第1特定点P1を決定し、決定された第1特定点P1の座標によって特定されるチップ上の第1の点F1の画像を走査電子顕微鏡で生成し、第1特定点P1と、画像上の第1の点F1とのずれを示す複数のベクトルV1を算出し、しきい値以下のユニークネス値を持つパターンが存在するクリップ領域内の第2特定点P5を決定し、決定された第2特定点P5の座標をベクトルV1に基づいて補正する。【選択図】図5

5. 发明专利

JP2020144995A 画像歪みの除去方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020144995A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019038706
申请日：2019-03-04
申请人： TASMIT株式会社
发明人：下田諒 , 田中和人
IPC分类号： H01J37/28 , H01L21/66 , H01J37/22
摘要：【課題】帯電した試料の画像の歪みを補正し、歪みの少ない画像を生成することができる方法を提供する。【解決手段】本方法は、実パターン201を電子ビームで複数回走査して、複数の走査線L1〜L9上の画素から構成される画像205を生成し、画像205上の実パターン201と、実パターン201に対応する設計データ上のCADパターンとの間の、複数の走査線L1〜L9上でのずれ量を算出し、電子ビームの走査順番とずれ量との相関を示す関係式を決定し、電子ビームの走査順番を表す数値を関係式に入力することで、複数の走査線L1〜L9にそれぞれ対応する補正量を決定し、各走査線上の画素を、対応する補正量だけ移動することで、画像205を補正する。【選択図】図3

6. 发明专利

JP2021174305A 画像生成方法および画像生成システム审中-公开
公开(公告)号：JP2021174305A
公开(公告)日：2021-11-01
申请号：JP2020078387
申请日：2020-04-27
申请人： TASMIT株式会社
发明人：水谷真士
IPC分类号： G06T5/50 , H01J37/28 , H01J37/22 , G06T1/00
摘要：【課題】事前照射の量を減らし、撮像のスループットを向上させることができる画像生成方法を提供する。【解決手段】本方法は、パターンのあるターゲット領域の撮像を走査電子顕微鏡1により繰り返し実行して2つの画像50を生成し、電子ビーム照射に起因するターゲット領域の帯電により生じた2つの画像50の差異を示す評価値を算定し、ターゲット領域の画像50の生成と、直近の2つの画像50の差異を示す評価値の算定を繰り返し、評価値の変化率がしきい値よりも下回ったことを決定し、その後、ターゲット領域の積算画像を生成する。【選択図】図2

7. 发明专利

JP2021156341A 荷重吸収装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021156341A
公开(公告)日：2021-10-07
申请号：JP2020056261
申请日：2020-03-26
申请人： TASMIT株式会社
发明人：新井洋一
IPC分类号： G03F7/20 , F16F15/02
摘要：【課題】振動が真空チャンバに伝わることを防止することができる荷重吸収装置を提供する。【解決手段】荷重吸収装置11は、ベローズ10の伸縮方向に垂直な方向の荷重を測定する荷重測定器30と、ベローズ10の伸縮方向に垂直な方向に力を発生する複数のアクチュエータ31A,31B,31Cと、荷重の測定値に基づいて、荷重と同じ方向および同じ大きさの力を複数のアクチュエータ31A,31B,31Cのうちの少なくとも1つに発生させる動作制御部35を備えている。【選択図】図2

8. 发明专利

JP2021012930A 欠陥有無推定装置、プログラム及び方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021012930A
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：JP2019125698
申请日：2019-07-05
申请人： TASMIT株式会社
发明人：淺井清美 , 佐藤善茂 , 重田貴司
IPC分类号： H01L21/66
摘要：【課題】半導体製造装置が設置された環境を考慮して、半導体製造に関する推定を行う。【解決手段】半導体製造装置で過去に加工された加工物に係る製造装置設定データ、製造測定データ、加工物測定データ、環境測定データからなる複数のデータセットを記憶装置が記憶する。機械学習部がデータセットに基づいて機械学習を実行してモデルを構築する。推定対象となる加工物のデータセットを、構築したモデルに適用することによって、推定処理部が該加工物に関する推定を実行する。【選択図】図1

9. 发明专利

JP2020150107A 半導体パターン測長処理装置审中-公开
公开(公告)号：JP2020150107A
公开(公告)日：2020-09-17
申请号：JP2019045608
申请日：2019-03-13
申请人： TASMIT株式会社
发明人：米谷秀嗣 , 芳賀継彦
IPC分类号： G01B15/00 , H01L21/66
摘要：【課題】画像を解析する範囲が少なくて済み、少ない作業時間で効率よく測長を行うことができることが可能な半導体パターン測長処理システムを提供する。【解決手段】走査型電子顕微鏡からなる画像生成装置600を使用して、繰り返しパターンと個別パターンとからなる測長対象パターンが形成された半導体ウェーハの表面を測長する半導体パターン測長処理システム1であって、走査型電子顕微鏡からなる画像生成装置600によって生成された半導体ウェーハの画像を画像データとして読み込むSEM画像読込部110と、繰り返しパターンと個別パターンとを識別するために予め定められた検出ルールを読み込む検出ルール読込部120と、検出ルールを用いて画像データから抽出された繰り返しパターンを測長する繰り返しパターン測長部130と、検出ルールを用いて画像データから抽出された個別パターンを測長する個別パターン測長部150と、を備える。【選択図】図1

10. 发明专利

JP2020123034A 画像マッチング支援方法、画像マッチング支援装置、および画像マッチング支援方法をコンピュータに実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体审中-公开
公开(公告)号：JP2020123034A
公开(公告)日：2020-08-13
申请号：JP2019013189
申请日：2019-01-29
申请人： TASMIT株式会社
发明人：芳賀継彦
IPC分类号： G06T7/32 , G06T1/00 , G06T3/00 , G06T7/00
摘要：【課題】ユーザーが画像マッチングを実行する作業を支援し、正確なマッチング結果に導くことができる方法を提供する。【解決手段】画像マッチング支援方法は、テンプレート画像101と実画像104の相対位置を変えながら、相対位置に対応する、テンプレート画像101と実画像104とのマッチング評価値を算出し、相対位置とマッチング評価値との関係を示す評価値テーブルを作成し、表示画面上に表示された実画像104とテンプレート画像101とを重ね合わせたときの、テンプレート画像101と実画像104の相対位置に対応するマッチング評価値を評価値テーブルに基づいて決定し、決定したマッチング評価値に従って視覚的に変化する可視図形200を生成し、矢印図形200を表示画面上に表示する。【選択図】図8

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