灭菌系统（100），该对象将被灭菌产品被输送（80）消毒器用于在预定的时间间隔（d）相对于（1），该灭菌产品喷射消毒剂（70） 以及用于输送基板（80）的输送单元（110）。 然后，以预定的间隔（d）过程中，它包括至少在灭菌产物（80）在一侧上（81）和相对侧（82）和一消毒杀菌机构（X）。

灭菌系统（100），用于供给含氧（30）的混合气体，蒸汽供给单元用于供给蒸汽（40），从气体供给单元的气体供给单元（30） 用于产生等离子体包括从氧气供给臭氧（11）的活性氧发生器的，血浆和蒸汽供给部（40），用于通过从供应的水蒸汽反应，产生活性氧等离子发生器（13） 与用于排放等离子体和活性氧作为杀真菌剂（70）和（12）的排出部分，一个消毒装置，其包括（1），输送单元用于输送杀菌物质（80）和（110），所述 以及用于减小待由消毒器（1）消毒的待消毒物体（80）之间的间隔的间距填塞机构（120）。

消毒器（1）（100A〜100D），所述消毒器（1），用于供给含氧（30）的混合气体进料气体供给部，所述水蒸气 一种等离子体产生单元（11），用于从由气体供给单元（30）供给的氧产生包含臭氧的等离子体，水蒸汽供给单元（40） 一种活性氧发生装置（13），用于在杀菌装置（1）消毒之前通过使杀菌剂（1）与杀菌装置（1）反应而产生活性氧 在灭菌过程中，并且，在消毒后中的至少一个，所述杀菌物质（80）以加热或待消毒的产品（80），用于围绕升高的环境温度的温度（121A，121B，121D）被提供人的加热装置 有。

灭菌系统（100），灭菌（1）中，供给的氧气和蒸汽灭菌装置（1），生成含有选自氧臭氧氧等离子体供给 并且所供给的水蒸汽与氧等离子体反应产生的氧等离子体和活性氧作为灭菌剂被排出。 灭菌系统（100）具有臭氧回收部（120），用于回收氧等离子体中包含的待排出的臭氧。