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1. 发明专利

JP2016541112A 温度センサのためのナノ磁性多層膜とその製造方法有权
标题翻译：纳米磁性多层膜和用于温度传感器及其制造方法
公开(公告)号：JP2016541112A
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：JP2016526771
申请日：2014-01-23
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：秀峰 ▲韓▼ , 秀峰 ▲韓▼ , 忠▲輝▼ 袁 , 忠▲輝▼ 袁 , ▲ぱん▼ ▲劉▼ , ▲ぱん▼ ▲劉▼ , 国▲強▼ 于 , 国▲強▼ 于 , 家峰 ▲豊▼ , 家峰 ▲豊▼ , 殿琳 ▲張▼ , 殿琳 ▲張▼
IPC分类号： H01L43/08 , G01K7/36 , H01L43/12
CPC分类号： H01L43/08 , G01K7/36 , G01K7/38 , H01F10/3272 , H01L43/02 , H01L43/12
摘要：温度センサのための面内ナノ磁性多層膜とその製造方法。多層フィルムは、3つのタイプに分類される。第1のタイプの構造は、基板(1)、底部層(2)、底部磁性複合材料層(3)、中間バリア層(4)、上部磁性複合材料層(5)及びキャップ層(6)を下から上の順序で含む。第1のタイプにおいて、上部磁性複合層(5)と底部磁性複合層(3)は、直接ピニング構造又は間接ピニング構造を採用する。第2のタイプは、基板、底部層、底部ピニング層、中間バリア層、上部ピニング層、及びキャップ層を下から上の順序で、含む。第2のタイプにおいて、上部ピニング層及び底部ピニング層は、直接ピニング構造又は間接ピニング構造を採用する。磁性ナノ多層膜構造の第3のタイプは、基板、底部層、底部磁性多層膜、底部磁性層、中間バリア層、上部磁性膜、上部磁性多層膜及びキャップ層を下から上の順序で含む。第3のタイプにおいて、磁性多層膜の磁気モーメントは、膜面に垂直であり、底部多層膜と上部多層膜の保磁力が異なり、2つの強磁性層、すなわち上部強磁性層及び底部強磁性層の磁気モーメントは、アニーリングを介して反平行配置にある。
摘要翻译：平面纳米磁性多层膜和用于温度传感器及其制造方法。所述多层膜可分为三种类型。第一种类型的结构中，在基板（1），底层（2），底部磁性复合材料层（3），中间层（4），上部磁性复合材料层（5）和所述覆盖层（6）包括在从底部顺序到顶部。在第一种类型中，上部磁性复合层（5）和底磁性复合层（3）采用直接钉扎结构或间接钉扎结构。第二种类型，一基板，一底层，底钉扎层，中间势垒层，上钉扎层，并从底部，包括上帽层的顺序。在第二种类型中，上钉扎层和钉扎底部层采用直接钉扎结构或间接钉扎结构。第三种类型的磁性纳米多层膜结构的包括基板，底层，底磁性多层膜，底磁性层，中间势垒层，上磁膜，在上部磁性多层膜，并从底部的帽层之上的顺序。在第三类型中，磁性多层膜的磁矩是垂直于膜平面的，不像底部多层膜的矫顽力和两个铁磁层的上部多层膜，即上侧强磁性层和底部铁磁层磁矩通过退火反平行地布置。

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