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1. 发明专利

JP2014529839A ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システム有权
标题翻译：纳米图形化和超宽带电磁特性测量系统
公开(公告)号：JP2014529839A
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：JP2014521921
申请日：2012-07-17
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京匯徳信科技有限公司
发明人：韓秀峰 , 馬勤礼 , 于国強 , 劉厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孫曉玉
IPC分类号： H01J37/28 , G01R29/00 , G01R33/12 , H01J37/244 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：本発明は、電源1と、制御装置2と、測定装置3とを備え、前記制御装置2は前記測定装置3に接続され、前記制御装置2と前記測定装置3は、それぞれ前記電源1に接続されており、前記測定装置3は、SEM結像又はEBLパターン化機能を有する結像装置31と、真空チャンバー32と、真空システム33と、試料ステージ34と、磁場応答特性測定装置35とを備え、前記真空システム33は前記真空チャンバー32に接続され、前記結像装置31、前記試料ステージ34及び前記磁場応答特性測定装置35は、いずれも前記真空チャンバー32内に設置され、前記結像装置31と前記磁場応答特性測定装置35は前記試料ステージ34に応じて設置されている、ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システムを提供する。本発明によれば、高速で効率よくナノ材料とデバイス、及びそのアレイ試料の測定と研究を行うことができ、幅広い応用分野を有している。
摘要翻译：本发明连接在电源1，一个控制单元2，和一个测量装置3中，控制单元2被连接到测量装置3，所述的控制装置2测量装置3中，分别对电源1的是，测量装置3设置有成像装置具有SEM成像或EBL图案化功能，真空室32，真空系统33，试样台34和磁场响应特性的测量装置31 35 真空系统33连接到真空室32，成像装置31中，样品台34和磁场响应特性的测量装置35都位于真空室32内，成像设备31 其中，所述磁场响应特性的测量装置35是安装在根据样品台34，以提供纳米图案化和超宽带电磁特性测量系统。根据本发明，可以进行快速和有效的纳米材料和设备，并且阵列样本研究的测定中，具有广泛的应用范围。

2. 发明专利

JP5964959B2 ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システム有权
标题翻译：纳米图形化和超宽带电磁特性测量系统
公开(公告)号：JP5964959B2
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：JP2014521921
申请日：2012-07-17
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京匯徳信科技有限公司
发明人：韓秀峰 , 馬勤礼 , 于国強 , 劉厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孫曉玉
IPC分类号： H01J37/28 , H01L21/027 , G01R29/00 , G01R33/12 , H01J37/305 , H01J37/16 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/3174 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12

3. 发明公开

CN102901471A 纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统有权
公开(公告)号：CN102901471A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201110209908.X
申请日：2011-07-26
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京汇德信科技有限公司
发明人：韩秀峰 , 马勤礼 , 于国强 , 刘厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孙晓玉
IPC分类号： G01B15/04 , G01R29/08
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

4. 发明授权

CN102901471B 纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统有权
公开(公告)号：CN102901471B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201110209908.X
申请日：2011-07-26
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京汇德信科技有限公司
发明人：韩秀峰 , 马勤礼 , 于国强 , 刘厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孙晓玉
IPC分类号： G01B15/04 , G01R29/08
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

5. 实用新型

CN202189227U 纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统失效
公开(公告)号：CN202189227U
公开(公告)日：2012-04-11
申请号：CN201120265595.5
申请日：2011-07-26
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京汇德信科技有限公司
发明人：韩秀峰 , 马勤礼 , 于国强 , 刘厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孙晓玉
IPC分类号： G03F7/20 , G01R31/00
摘要：一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本实用新型可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

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