会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • 量子ドットアレイの製造装置及び製造方法
    • 量子阵列的制造装置和方法
    • JP2015220249A
    • 2015-12-07
    • JP2014100512
    • 2014-05-14
    • 富士通株式会社
    • 高橋 憲彦
    • C23C16/52H01L31/0352C23C16/50C23C16/56C23C16/42H01L21/316H01L29/06
    • 【課題】所望の直径及び間隔の量子ドットを安定して形成することができる量子ドットアレイの製造装置及び製造方法を提供する。 【解決手段】複数の量子ドットが配列した量子ドット層を含む量子ドットアレイを製造する装置に、所定の関係式を記憶した記憶手段101と、量子ドット層内での量子ドットの直径及び間隔を取得する取得手段102と、前記関係式に基づき、取得手段102により取得された直径及び間隔からシリコン化合物膜の組成及び熱処理の条件を計算する計算手段103と、計算手段103により計算された組成を備えたシリコン化合物膜を、取得手段102により取得された前記直径と等しい厚さで形成するプラズマ化学気相成長装置104と、計算手段103により計算された前記熱処理の条件で、プラズマ化学気相成長装置104により形成されたシリコン化合物膜の熱処理を行う熱処理装置105と、が含まれている。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够以期望的间隔稳定地形成具有期望直径的量子点的量子点阵列制造装置和方法。解决方案:一种用于制造包含量子点层的量子点阵列的装置,其中多个量子点 具有:存储装置101,用于存储预定的关系式; 用于获取量子点层中的量子点的直径和间隔的获取装置102; 计算装置103,用于根据关系式从获取装置102获取的直径和间隔计算硅化合物膜的组成和热处理条件; 等离子体化学气相生长装置104,用于形成具有由计算装置103计算的组成的硅化合物膜,使得硅化合物膜具有等于由获取装置102获取的直径的厚度; 以及用于在由计算装置103计算的热处理条件下对由等离子体化学气相生长装置104形成的硅化合物膜进行热处理的热处理装置105。