专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 实用新型

TWM528515U 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWM528515U
公开(公告)日：2016-09-11
申请号：TW105208265
申请日：2016-06-02
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/30 , H01L21/673

2. 发明专利

TW201814780A 溼式製程設備审中-公开
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TW201814780A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW105131446
申请日：2016-09-30
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/302 , H01L21/84
摘要：一種溼式製程設備，包含一腔體、一輸送機構、一噴灑模組、複數個液浮載板以及一盛盤，該腔體內形成有用以容置一基板的一腔室，該輸送機構對應該基板的一側邊部並用以輸送該基板，該噴灑模組設置於該腔室內並用以對該基板的一上表面噴灑一處理液，該複數個液浮載板設置於該噴灑模組下方並用以對該基板的一下表面噴射該處理液，該盛盤設置於該複數個液浮載板周圍，該盛盤盛裝該處理液，使盛裝於該盛盤之該處理液漫淹該基板的該上表面。
简体摘要：一种湿式制程设备，包含一腔体、一输送机构、一喷洒模块、复数个液浮载板以及一盛盘，该腔体内形成有用以容置一基板的一腔室，该输送机构对应该基板的一侧边部并用以输送该基板，该喷洒模块设置于该腔室内并用以对该基板的一上表面喷洒一处理液，该复数个液浮载板设置于该喷洒模块下方并用以对该基板的一下表面喷射该处理液，该盛盘设置于该复数个液浮载板周围，该盛盘盛装该处理液，使盛装于该盛盘之该处理液漫淹该基板的该上表面。

3. 发明专利

TWI575641B 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWI575641B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW105117311
申请日：2016-06-02
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/673 , B08B11/04 , H01L21/30 , G06F3/041

4. 实用新型

TWM537709U 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWM537709U
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105215580
申请日：2016-10-14
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/306

5. 实用新型

TWM533311U 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWM533311U
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105210015
申请日：2016-07-04
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/64 , G06F3/041

6. 发明专利

TW201814808A 溼式製程設備审中-公开
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TW201814808A
公开(公告)日：2018-04-16
申请号：TW105133141
申请日：2016-10-14
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06 , H01L21/64
摘要：一種溼式製程設備，包含一槽體、複數個液浮載板以及複數個導輪，該槽體內形成有一槽室，該槽室用以容置一基板，該複數個液浮載板設置於該基板下方並用以對該基板噴射一處理液，該複數個導輪用以輸送該基板，各導輪包含一輪軸部以及一輪體部，該輪軸部具有一徑向及一軸向，該徑向垂直於該軸向，該導輪繞該軸向旋轉，該輪體部沿該徑向延伸於該輪軸部，該輪體部具有一胎面，該胎面上形成有複數個導輪出水孔，該複數個導輪出水孔用以對該基板噴射該處理液。
简体摘要：一种湿式制程设备，包含一槽体、复数个液浮载板以及复数个导轮，该槽体内形成有一槽室，该槽室用以容置一基板，该复数个液浮载板设置于该基板下方并用以对该基板喷射一处理液，该复数个导轮用以输送该基板，各导轮包含一轮轴部以及一轮体部，该轮轴部具有一径向及一轴向，该径向垂直于该轴向，该导轮绕该轴向旋转，该轮体部沿该径向延伸于该轮轴部，该轮体部具有一胎面，该胎面上形成有复数个导轮出水孔，该复数个导轮出水孔用以对该基板喷射该处理液。

7. 发明专利

TWI603421B 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWI603421B
公开(公告)日：2017-10-21
申请号：TW105121052
申请日：2016-07-04
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/677 , B65H23/032 , B05D5/08 , B05D7/04

8. 实用新型

TWM538508U 溼式製程設備有权
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TWM538508U
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW105214856
申请日：2016-09-30
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： C03C15/00 , G06F3/041

9. 发明专利

TW201802996A 溼式製程設備审中-公开
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TW201802996A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：TW105121052
申请日：2016-07-04
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/677 , B65H23/032 , B05D5/08 , B05D7/04
摘要：一種溼式製程設備，用以輸送一基板，該溼式製程設備包含一槽體、複數個導輪以及複數個液浮載板，該槽體用以容置該基板，該複數個導輪設置於該槽體內並用以支撐該基板的一側邊部，該複數個液浮載板設置於該基板下方，各液浮載板包含複數個直行水流通道以及一斜行水流通道，該斜行水流通道設置於該複數個直行水流通道與該液浮載板的一邊緣之間，該斜行水流通道的走向斜交於該複數個直行水流通道，該斜行水流通道與該複數個直行水流通道共同於該基板與該複數個液浮載板間形成能液浮支撐該基板的一薄膜層流。
简体摘要：一种湿式制程设备，用以输送一基板，该湿式制程设备包含一槽体、复数个导轮以及复数个液浮载板，该槽体用以容置该基板，该复数个导轮设置于该槽体内并用以支撑该基板的一侧边部，该复数个液浮载板设置于该基板下方，各液浮载板包含复数个直行水流信道以及一斜行水流信道，该斜行水流信道设置于该复数个直行水流信道与该液浮载板的一边缘之间，该斜行水流信道的走向斜交于该复数个直行水流信道，该斜行水流信道与该复数个直行水流信道共同于该基板与该复数个液浮载板间形成能液浮支撑该基板的一薄膜层流。

10. 发明专利

TW201743396A 溼式製程設備审中-公开
简体标题：湿式制程设备
公开(公告)号：TW201743396A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW105117311
申请日：2016-06-02
申请人：盟立自動化股份有限公司 , MIRLE AUTOMATION CORPORATION
发明人：黃榮龍 , HUANG, JUNG-LUNG , 呂峻杰 , LU, CHUN-CHIEH , 陳瀅如 , CHEN, YING-JU
IPC分类号： H01L21/673 , B08B11/04 , H01L21/30 , G06F3/041
摘要：一種溼式製程設備，包含一槽體、複數個導輪、複數個液浮載板以及一水路模組，該槽體用以容置一基板，該複數個導輪設置於該槽體內並用以支撐該基板的一側邊部，該複數個液浮載板設置於該基板下方，該複數個液浮載板用以對該基板噴射一處理液，以於該基板與該複數個液浮載板間形成一薄膜層流，該水路模組耦接於該複數個液浮載板，該水路模組控制該複數個液浮載板產生沿一輸送方向流動或沿相反於該輸送方向之一回復方向之該薄膜層流。
简体摘要：一种湿式制程设备，包含一槽体、复数个导轮、复数个液浮载板以及一水路模块，该槽体用以容置一基板，该复数个导轮设置于该槽体内并用以支撑该基板的一侧边部，该复数个液浮载板设置于该基板下方，该复数个液浮载板用以对该基板喷射一处理液，以于该基板与该复数个液浮载板间形成一薄膜层流，该水路模块耦接于该复数个液浮载板，该水路模块控制该复数个液浮载板产生沿一输送方向流动或沿相反于该输送方向之一回复方向之该薄膜层流。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式