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1. 发明公开

CN117642946A 用于制造半导体器件的方法及该半导体器件审中-实审
公开(公告)号：CN117642946A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202280047309.9
申请日：2022-06-23
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： R·克尔纳 , A·魏格尔 , H·J·门希 , B·施密特
IPC分类号： H01S5/30 , H01S5/026 , H01S5/02 , H01S5/42 , H01S5/40 , H01S5/042 , H01S5/20 , H01S5/183
摘要：一种用于制造半导体器件(10)的方法，所述半导体器件用于发射光并且具有基体(9)，该基体具有用于产生光的有源层(16)以及由阻挡结构(26)限界的隧道结(27)，其中，该阻挡结构用于使导入到该有源层中的电流缩窄，该方法包括：该阻挡结构在该隧道结的区域中的产生通过注入步骤进行。一种半导体器件，其具有被注入的阻挡，所述半导体器件特别是设计为具有垂直共振器的表面发射器(VCSEL)。

2. 发明公开

CN113950638A 基于VCSEL的图案投影仪审中-实审
公开(公告)号：CN113950638A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202080041783.1
申请日：2020-06-05
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： S·格罗嫩博恩 , H·J·门希
IPC分类号： G02B27/09 , G01B11/25
摘要：提出了一种被适配成生成结构化光图案(70)的光电装置(1)和系统。该光电装置包括第一垂直腔表面发射激光器(11)VCSEL阵列(10)；第一均匀化光学器件组件(20)，该第一均匀化光学器件组件与该第一垂直腔表面发射激光器阵列相关联；第二垂直腔表面发射激光器(11)VCSEL阵列(10)；第二均匀化光学器件组件(20)，该第二均匀化光学器件组件与该第二垂直腔表面发射激光器阵列相关联；其中，各自与不同的VCSEL阵列相关联的这些均匀化光学器件组件被布置成使得它们的强度分布(63)合并为中间平面(60)中的共同均匀平顶强度分布(61)；以及图案光学器件组件(30)，该图案光学器件组件被适配成基于该中间平面(60)中的共同均匀强度分布(61)生成结构化光图案(70)。本披露进一步涉及一种对应的方法。

3. 发明授权

CN110537304B 固有安全的包括垂直腔表面发射激光器的激光器布置结构有权
公开(公告)号：CN110537304B
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN201880022873.9
申请日：2018-03-30
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： S·格罗嫩博恩 , H·J·门希
IPC分类号： H01S5/42 , H01S5/026 , H01S5/183
摘要：本发明描述一种包括被布置为能够发射激光(150)的至少一个垂直腔表面发射激光器的激光器布置结构，所述至少一个垂直腔表面发射激光器包括第一电极(100)、半导体基体(101)、第一分布布拉格反射器(110)、有源层(115)、第二分布布拉格反射器(120)和第二电极(125)，其中，有源层(115)夹置在第一分布布拉格反射器(110)与第二分布布拉格反射器(120)之间，其中，第一电极(100)和第二电极(125)被布置为能够提供跨过有源层(115)的电流以产生激光(150)，其中，激光器布置结构包括被布置为能够增大激光(150)的激光发射角(156)以增大激光器布置结构的眼睛安全性的光学结构(140)，其中，所述光学结构(140)是激光器布置结构的半导体层结构的集成部分。本发明还描述包括这样的激光器布置结构的照明装置和制造这样的激光器布置结构的方法。

4. 发明公开

CN111699598A 分段垂直腔面发射激光器有权
公开(公告)号：CN111699598A
公开(公告)日：2020-09-22
申请号：CN201880087329.2
申请日：2018-12-06
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： H·J·门希 , S·格罗嫩博恩
IPC分类号： H01S5/183
摘要：本发明描述一种垂直腔面发射激光器装置(100)。垂直腔面发射激光器装置(100)包括第一电接触体(105)、基体(110)、第二电接触体(135)和光学谐振器。光学谐振器布置在基体(110)的第一侧上。光学谐振器包括第一反射结构、第二反射结构、有源层(120)和引导结构(132)，第一反射结构包括第一分布式布拉格反射器(115)，第二反射结构包括第二分布式布拉格反射器(130)，有源层(120)布置在第一反射结构与第二反射结构之间。引导结构(132)被布置为能够将有源层(120)内的强度分布的第一相对强度最大值限定在光学谐振器的第一横向位置处，从而提供第一发光区域(124)，其中，引导结构(132)被布置为能够将有源层(120)内的强度分布的至少一个第二相对强度最大值限定在光学谐振器的第二横向位置处，从而提供第二发光区域(124)，其中，引导结构(132)还被布置为能够在垂直腔面发射激光器装置(100)的操作期间减小所述强度分布在至少两个发光区域(124)之间的强度，其中，引导结构(132)被布置在第一分布式布拉格反射器(115)或第二分布式布拉格反射器(130)的层堆叠内。本发明还描述包括这样的垂直腔面发射激光器装置(100)的光学传感器(300)、包括这样的光学传感器(300)的移动通信装置(380)以及制造垂直腔面发射激光器装置(100)的方法。

5. 发明授权

CN111699598B 分段垂直腔面发射激光器有权
公开(公告)号：CN111699598B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201880087329.2
申请日：2018-12-06
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： H·J·门希 , S·格罗嫩博恩
IPC分类号： H01S5/183
摘要：本发明描述一种垂直腔面发射激光器装置(100)。垂直腔面发射激光器装置(100)包括第一电接触体(105)、基体(110)、第二电接触体(135)和光学谐振器。光学谐振器布置在基体(110)的第一侧上。光学谐振器包括第一反射结构、第二反射结构、有源层(120)和引导结构(132)，第一反射结构包括第一分布式布拉格反射器(115)，第二反射结构包括第二分布式布拉格反射器(130)，有源层(120)布置在第一反射结构与第二反射结构之间。引导结构(132)被布置为能够将有源层(120)内的强度分布的第一相对强度最大值限定在光学谐振器的第一横向位置处，从而提供第一发光区域(124)，其中，引导结构(132)被布置为能够将有源层(120)内的强度分布的至少一个第二相对强度最大值限定在光学谐振器的第二横向位置处，从而提供第二发光区域(124)，其中，引导结构(132)还被布置为能够在垂直腔面发射激光器装置(100)的操作期间减小所述强度分布在至少两个发光区域(124)之间的强度，其中，引导结构(132)被布置在第一分布式布拉格反射器(115)或第二分布式布拉格反射器(130)的层堆叠内。本发明还描述包括这样的垂直腔面发射激光器装置(100)的光学传感器(300)、包括这样的光学传感器(300)的移动通信装置(380)以及制造垂直腔面发射激光器装置(100)的方法。

6. 发明公开

CN115428281A 波长对驱动电流依赖性增加的VCSEL 审中-实审
公开(公告)号：CN115428281A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202180026537.3
申请日：2021-03-31
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： U·魏希曼 , H·J·门希
IPC分类号： H01S5/183 , H01S5/026 , H01S5/062 , H01S5/30 , H01S5/024
摘要：本发明涉及一种垂直腔表面发射激光器(VCSEL)(10)，该垂直腔表面发射激光器包括光学谐振器(20)，该光学谐振器具有第一分布式布拉格反射器(12)、第二分布式布拉格反射器(16)和布置在第一分布式布拉格反射器(12)与第二分布式布拉格反射器(16)之间的用于激光发射的有源区(14)。VCSEL(10)包括电接触装置(32、34)，该电接触装置布置成提供电驱动电流以对光学谐振器(20)供电。布置在光学谐振器(20)中的附加损耗层(18)提供光学损耗和/或电损耗。这些附加损耗增加了VCSEL(10)的波长偏移，该波长偏移对于依赖于自混合干涉的传感器应用来说是重要参数。本发明还涉及一种包括这种VCSEL的光学传感器及其制造方法。

7. 发明授权

CN110300884B 光学颗粒传感器模块有权
公开(公告)号：CN110300884B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN201780085969.5
申请日：2017-12-01
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： J·H·M·斯普鲁伊特 , A·M·范德莱 , P·T·于特 , H·J·门希 , J·W·黑尔米格 , R·奥温克
IPC分类号： G01N15/06 , G01N15/14
摘要：本发明描述一种激光传感器模块。所述激光传感器模块包括：适用于发射第一测量光束(111')的至少第一激光器(111)和适用于发射第二测量光束(112')的至少第二激光器(112)；光学装置(150)，其设置用于至少将所述第一测量光束(111')聚焦到第一测量区(161)，所述光学装置还设置用于至少将所述第二测量光束(112')聚焦到第二测量区(162)，其中，所述光学装置的特征在于关于所述第一测量光束(111')的第一数值孔径和关于所述第二测量光束(112')的第二数值孔径，其中，所述第一数值孔径和所述第二数值孔径设置用以在参考速度下检测预定的最小颗粒尺寸，其中，所述参考速度在包括所述参考速度的0.01m/s与7m/s之间的预定的速度范围内进行选择，其中，所述第一测量光束(111')和所述第二测量光束(112')相互围成10°和160°之间的角度；至少第一检测器(121)，其适用于确定所述第一激光器(111)的第一激光器腔内的第一光波的第一自混合干涉信号；至少第二检测器(122)，其适用于确定所述第二激光器(112)的第二激光器腔内的第二光波的第二自混合干涉信号；分析处理装置(140)，其中，所述分析处理装置(140)适用于接收由至少第一检测器(121)和第二检测器(122)响应于所确定的自混合干涉信号而产生的检测信号，其中，所述分析处理装置(140)还适用于通过在预定的时间段内接收到的检测信号来确定由所述第一检测器(121)检测到的颗粒的至少第一平均速度和由所述第二检测器(122)检测到的颗粒的至少第二平均速度，其中，所述分析处理装置(140)还适用于基于由所述第一检测器(121)在预定的时间段内提供的检测信号来确定颗粒的至少第一数量并且基于由所述第二检测器(122)在预定的时间段内提供的检测信号来确定颗粒的至少第二数量，其中，所述分析处理装置(140)还适用于基于平均颗粒速度来确定颗粒密度，所述平均颗粒速度至少通过所述第一平均速度和所述第二平均速度、所述颗粒的至少第一数量和所述颗粒的至少第二数量来确定。本发明还涉及一种颗粒密度检测的方法和一种相应的计算机程序产品。本发明还涉及一种包括这样的激光传感器模块(100)的移动通信装置(190)。

8. 发明公开

CN113906641A 具有单片集成的光电二极管的垂直腔面发射激光器装置审中-实审
公开(公告)号：CN113906641A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202080041220.2
申请日：2020-05-05
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： U·魏希曼 , P·H·格拉赫 , S·魏登费尔德 , H·J·门希
IPC分类号： H01S5/026 , H01S5/183 , H01S5/343 , G01S7/4912 , G01S17/42
摘要：本发明涉及垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置(10)。该VCSEL装置(10)包括光学谐振器(18)、光电二极管(34)和电接触布置结构(36，38，40)。该光学谐振器(18)包括第一分布式布拉格反射器(12)、第二分布式布拉格反射器(16)和用于光发射的有源区(14)。该有源区(14)布置在该第一分布式布拉格反射器(12)与该第二分布式布拉格反射器(16)之间。该光电二极管(34)包括光吸收区(20)。该电接触布置结构(36、38、40)布置成能够提供驱动电流以对该光学谐振器(18)电泵浦，并且电接触该光电二极管(34)。该有源区(14)包括至少一个InxGa1‑xAs层，其中，0≤x

9. 发明授权

CN110326175B 用于确定基于激光的颗粒探测器的操作条件的方法有权
公开(公告)号：CN110326175B
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201880013094.2
申请日：2018-02-28
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： U·魏希曼 , J·W·黑尔米格 , A·M·范德莱 , H·J·门希
IPC分类号： H01S5/183 , H01S5/00 , H01S5/062 , G01N15/02 , G01S7/4913 , G01N15/14 , H01S5/026 , H01S5/065 , G01N15/00 , G01N15/10
摘要：本发明描述了一种用于确定颗粒探测器(200)的操作条件的方法，所述颗粒探测器用于探测流体中的具有小于20μm、优选地小于10μm的尺寸的颗粒的颗粒密度，其中，所述颗粒探测器(200)包括激光器(111)，其中，所述激光器是多模垂直腔表面发射激光器，所述方法包括以下步骤：向所述激光器(111)提供驱动电流，使得所述激光器发射激光束(112)，在预先定义的驱动电流范围内改变驱动电流，确定作为所述驱动电流的函数的、所述激光器(111)的激光腔内的光波的强度信号，确定作为所述驱动电流的函数的、所述强度信号的噪声度量，确定使所述噪声度量低于预先定义的阈值的驱动电流范围，通过从所确定的驱动电流范围中选择用于颗粒探测的驱动电流来确定所述颗粒探测器(200)的操作条件的至少一部分。本发明还涉及一种颗粒探测器(200)和包括所述颗粒探测器(200)的移动设备(190)。最后，本发明涉及相关的计算机程序产品。

10. 发明公开

CN111742455A 节能激光器布置结构有权
公开(公告)号：CN111742455A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201980014280.2
申请日：2019-01-03
申请人：通快光电器件有限公司
发明人： S·格罗嫩博恩 , H·J·门希
IPC分类号： H01S5/02 , H01S5/183 , H01S5/42
摘要：本发明描述一种激光器布置结构(100)，所述激光器布置结构(100)包括激光器阵列(110)和用于在限定视场中提供限定照射图案的光学结构(140)，其中，光学结构(140)包括扩散器(144)，扩散器(144)被布置为能够改变通过被激光器阵列(110)所包括的激光器(130)发射的激光(10)的分布，其中，每个激光器(130)的特征在于具有发射锥体，其中，光学结构(140)被布置为能够将激光(10)变换为变换后激光(150)，使得与被布置为能够将完全准直激光扩散为视场中的平顶强度轮廓的扩散器相比，被激光器(130)中的至少一组激光器(130)的发射锥体所包括的激光(10)的重叠在视场中增大；其中，光学结构(140)被布置为能够将在发射锥体的大角度处发射的激光(10)重新定向到视场。本发明还描述一种包括这样的激光器布置结构(100)的发光装置、一种包括这样的发光装置的飞行时间相机(200)以及一种制造激光器布置结构(100)的方法。

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