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1. 发明公开

KR1020010111460A 전기 방전 가스 레이저 无效
标题翻译：放电气体激光器
公开(公告)号：KR1020010111460A
公开(公告)日：2001-12-19
申请号：KR1020010032148
申请日：2001-06-08
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 오야마아츠시 , 세키구치신이치 , 시노자키히로유키 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01S3/03
摘要： 레이저 빔을 생성하는데 사용되는 가스가 들어있는 하우징; 상기 하우징내에서 가스를 순환시키기 위하여 하우징내에 제공된, 회전 샤프트를 구비한 회전 팬; 상기 회전 팬의 샤프트를 자기적으로 지지하기 위한 베어링 장치를 포함하여 이루어지는 전기 방전 가스 레이저가 제공되고, 상기 베어링 장치는 회전 샤프트의 위치를 가리키는 신호를 발생시키기 위하여 회전 샤프트의 위치를 감지하는 센서와; 상기 센서로부터 전달된 신호를 수신하고 처리하며 처리된 신호를 출력하는 신호 처리기; 및 상기 처리된 신호에 기초하여 상기 처리된 신호를 상기 베어링 장치를 제어하는 센서 장치로부터 수신하기 위하여 베어링 장치와 기능적으로 관련되고, 상기 베어링 장치로부터 분리된 제어 장치를 포함한다.

2. 发明公开

KR1020010030287A 자기 베어링 장치 无效
标题翻译：磁力轴承系统
公开(公告)号：KR1020010030287A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000052751
申请日：2000-09-06
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 바라다도시미츠 , 오야마아츠시 , 나카자와도시하루
IPC分类号： F16C32/04
CPC分类号： F16C32/0446 , F16C32/0442 , F16C2231/00
摘要： PURPOSE: To provide a magnetic bearing system easy to adjust a set value of a levitation control position of a levitation support body and capable of easily detecting deformation and abrasion of an auxiliary supporter for the levitation support body. CONSTITUTION: The maximum and the minimum values of a positional displacement detection signal to be detected by positional displacement sensors 5, 6, 7 8 are detected by mechanically moving the maximum region of a levitation support body 9 between pairs of electromagnets 1 and 2, and 3 and 4 by sequentially exciting the facing electromagnets 1 and 2, and 3 and 4 on a magnetic bearing system to levitate, support and control the levitation support body 9 at an optional position between the facing electromagnets 1 and 2, and 3 and 4. An output adjusting part to adjust an offset correction part means so that a central value of the positional displacement detection signal shows a position to support the levitation support body 9 between pairs of the electromagnets 1 and 2, and 3 and 4 by outputting an adjusting command value to the offset correction means so as to show the position to levitate and support the levitation support body 9 after the central value of these maximum and minimum values passes the offset correction means.
摘要翻译：目的：提供一种易于调节悬浮支撑体悬浮控制位置的设定值的磁轴承系统，能够容易地检测悬浮支撑体的辅助支撑体的变形和磨损。构成：通过位置位移传感器5,6,78检测的位置位移检测信号的最大值和最小值是通过机械地移动电磁体1和2之间的悬浮支撑体9的最大区域来检测的，以及如图3和图4所示，通过在磁轴承系统上顺序地激励面对的电磁体1,2和3和4，以在对置的电磁体1和2以及3和4之间的可选位置处悬浮，支撑和控制悬浮支撑体9。一种调整偏移校正部件的输出调节部件，使得位置检测信号的中心值表示在电磁体1和2以及3和4对之间支撑悬浮支撑体9的位置，通过输出调节指令以偏移校正装置的值表示在这些最大和最小值va的中心值之后浮动和支撑悬浮支撑体9的位置乐透通过偏移校正装置。

3. 发明公开

KR1020010041085A 순환팬 장치 및 순환팬 구동모터 有权
标题翻译：循环风机单元和循环风机驱动电机
公开(公告)号：KR1020010041085A
公开(公告)日：2001-05-15
申请号：KR1020007009124
申请日：1999-02-18
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 , 가부시키가이샤 고마츠 세이사꾸쇼
发明人： 세키구치신이치 , 시노자키히로유키 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루 , 가와무라다케시
IPC分类号： H02K9/04
摘要： 순환팬 장치는 부식성 기체를 포함하는 밀폐용기(1), 밀폐용기에 설치되는 순환팬(2), 베어링에 의해 회전가능하게 지지되는 순환팬의 회전자(2-1, 2-2)를 포함하며, 베어링은 제어형 레디얼 자기 베어링(4, 5) 및 적어도 하나의 제어형 축방향 자기 베어링(6, 7)으로 구성되며, 레디얼 자기 베어링(4, 5) 및 축방향 자기 베어링(6, 7)의 변위 센서 타겟(4-1, 5-1, 6-1, 7-1) 및 회전자측 자극(4-2, 5-2, 6-2, 7-2)은 순환팬(2)의 회전자(2-1, 2-2)에 고정되며, 밀폐용기로 통하는 밀폐공간에 배치되며, 변위 센서 타겟 및 회전자측 자극에 대응되는 변위 센서(4-3, 5-3, 6-3, 7-3) 및 고정자측 자극(4-4, 5-4, 6-4, 7-4)은 사이에 개재되는 캔(14, 15, 17,18)을 구비한 밀폐용기의 외부에 배치되며, 그로인해 순환팬이 고속 및 고하중하에 회전하더라도, 처리기체는 오염되지 않으며, 유지보수가 필요 없는 운전을 보장하며, 더 나아가, 설치공간을 줄여준다.

4. 发明公开

KR1020010030337A 모터 일체 구조의 자기 베어링 장치 无效
标题翻译：电机集成磁力轴承装置
公开(公告)号：KR1020010030337A
公开(公告)日：2001-04-16
申请号：KR1020000053370
申请日：2000-09-08
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 바라다도시미츠 , 오야마아츠시 , 나카자와도시하루 , 세키구치신이치 , 고마이마사카즈
IPC分类号： H02K5/16 , H02K7/09
CPC分类号： F16C32/0444 , F16C32/0457
摘要： PURPOSE: To obtain a motor-integrated magnetic bearing device, the operation of which can always be controlled stably, without having to perform readjustment, resetting, etc., of the troublesome control characteristics of magnetic bearings. CONSTITUTION: In a motor-integrated magnetic bearing device, which supports the rotating shaft 11 of a motor by means of magnetic bearings 14A and 14B, and at the same time, is driven by means of motors 12 and 13, the bearings 14A and 14B and the drive section of the motor are supplied with electric power from a common power supplying section 20 and a motor drive power source section 23, which suppress the fluctuation of the electric power supplied to the motor to a prescribed value or smaller with respect to the power supply fluctuation in the power supplying section 20 is provided.
摘要翻译：目的：为了获得一个电动机一体化的磁性轴承装置，其运行始终可以稳定地进行控制，而无需进行磁性轴承麻烦的控制特性的重新调整，复位等。构成：在通过磁性轴承14A和14B支撑电动机的旋转轴11并且同时由马达12和13驱动的电动机集成磁性轴承装置中，轴承14A和14B 从公共供电部20和电动机驱动电源部23向电动机的驱动部供给电力，该公共供电部20和电动机驱动电源部23将供给电动机的电力的波动相对于设置供电部20的电源变动。

5. 发明公开

KR1020160054422A 자기 부상형 펌프 审中-实审
标题翻译：磁力液压泵
公开(公告)号：KR1020160054422A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：KR1020150155193
申请日：2015-11-05
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 사토이치주 , 소부카와히로시 , 바라다도시미츠 , 오하시도모노리 , 모리사토시
IPC分类号： F04D13/02 , F04D13/06 , F04D29/048
CPC分类号： F04D29/22 , F04D13/0666 , F04D29/048
摘要： [과제] 이송액의맥동이없고, 슬라이딩이동부의접촉에의해생기는파티클의발생을억제할수 있는자기부상형펌프를제공한다. [해결수단] 펌프케이싱내에수용된임펠러(4)를자기에의해서부상시키는자기부상형펌프로서, 임펠러(4)를사이에끼워, 임펠러(4)를회전시키는모터(9)와, 임펠러(4)를자기에의해지지하는전자석(6)을대향하게배치하고, 모터(9)를펌프케이싱의흡입구(1s)와는반대측에배치하였다.
摘要翻译：本发明提供一种磁悬浮泵，抑制与滑动单元接触而产生的颗粒并除去转移液体的脉动。磁悬浮泵通过磁力悬浮储存在泵壳内的叶轮（4）。将叶轮（4）插入以旋转的电动机通过使用磁性面向与支撑叶轮（4）的电磁体（6）相对配置，电动机（9）配置在与电动机（6）的入口泵壳。

6. 发明公开

KR1020030042439A 자기베어링 및 자기부상장치 无效
标题翻译：磁轴承和磁悬浮装置
公开(公告)号：KR1020030042439A
公开(公告)日：2003-05-28
申请号：KR1020027014352
申请日：2001-04-26
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 오야마아츠시 , 나카자와도시하루 , 바라다도시미츠 , 세키구치신이치 , 시노자키히로유키
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： F16C32/0465 , F16C32/0459 , F16C32/047 , F16C2300/42
摘要： 본 발명은 자기베어링의 고정자(전자석)의 자극면과 회전자 사이의 자기적 간극을 작게 하여 소형이고, 또한 뛰어난 내부식성을 가지는 자기베어링을 제공한다. 이 자기베어링은 회전축상에 설치되는 자기베어링 회전자(16)와, 이 회전자의 주위에 설치되는 자기베어링 고정자(41)를 구비하고, 자기베어링 고정자가 자기베어링 회전자에 면하여 노정되는 자극면을 구비하는 고정자 코어(42)와, 고정자 코어에 장착된 여자코일(43a)과, 여자코일(43a)을 부식성 분위기로부터 차폐하는 내부식 부재(43)를 구비한다. 내부식 부재는 여자코일(43a)을 내부에 매설한 상태로 세라믹 또는 유리상 경화재를 성형하여 구성하거나, 내부식성재로 형성된 케이스 (43c)로 하거나, 상기 여자코일을 구성하는 도전선을 피복하는 시스로 하거나 할 수 있다.

7. 发明公开

KR1020010089488A 방전 펌프 엑시머레이저장치 有权
标题翻译：放电泵准分子激光器
公开(公告)号：KR1020010089488A
公开(公告)日：2001-10-06
申请号：KR1020017006416
申请日：1999-11-26
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 , 가부시키가이샤 고마츠 세이사꾸쇼
发明人： 시노자키히로유키 , 세키구치신이치 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01S3/225
摘要： 본 발명은 레이저용기내의 레이저가스의 열화가 적고, 자기베어링이나 모터에 먼지가 유입하는 일 없고, 또한 레이저가스에 접하는 부분의 손상이 적고, 수명이 긴 방전여기 엑시머레이저장치를 제공하는 것이다.
이를 위하여 본 발명의 방전여기 엑시머레이저장치는 레이저가스를 봉입하고, 한 쌍의 주방전 전극을 수납한 레이저용기의 양측에 연달아 접속한 하우징과, 하우징내에 수용한 자기베어링에 양쪽 끝부를 회전자유롭게 지지된 레이저가스흐름을 만들어내는 관류팬과, 하우징에 수용되어 관류팬을 회전구동하는 모터와, 자기베어링 및 모터의 로우터측과 스테이터측 사이의 간극을 통하여 하우징의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 레이저용기의 내부와 연통하는 레이저가스유로와, 레이저용기의 내부로부터 연장 돌출하여 하우징의 끝부에서 레이저가스와 연통하는 레이저가스도입로와, 레이저가스도입로내에 설치된 필터를 가지는 것을 특징으로 한다.

8. 发明公开

KR1020000077397A 방전펌핑된 엑시머 레이저 장치 有权
标题翻译：放电泵浦准分子激光器
公开(公告)号：KR1020000077397A
公开(公告)日：2000-12-26
申请号：KR1020000027958
申请日：2000-05-24
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 세키구치신이치 , 시노자키히로유키 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01S3/225
CPC分类号： F16C32/047 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要： 방전펌핑된엑시머레이저장치는케이싱, 한쌍의주 방전전극, 그대향단부에서돌출된회전샤프트를갖고상기주 방전전극사이에고속레이저가스플로우를생성하는직교류팬, 자기베어링, 상기자기베어링이작동하지않은경우상기회전샤프트를지지하는보호베어링, 및상기직교류팬을작동하는모터를포함한다. 상기자기베어링은상기직교류팬의대향단부상에각각배치되는방사자기베어링을포함한다. 모터의근방에배치된상기방사자기베어링중하나가상기모터에서떨어져배치된방사자기베어링의베어링강성보다더 큰베어링강성을갖는다.

9. 发明授权

KR100654409B1 엑시머 레이저장치 有权
标题翻译： EXCIMER激光装置
公开(公告)号：KR100654409B1
公开(公告)日：2006-12-05
申请号：KR1020000021029
申请日：2000-04-20
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
发明人： 세키구치신이치 , 시노자키히로유키 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01S3/225
CPC分类号： F16C32/047 , H01S3/036 , H01S3/225
摘要： 본 발명의 목적은 케이싱내에 채워진 레이저 가스의 압력이 변하는 경우에도 팬의 회전속도를 일정하게 유지시키고, 주(主) 방전전극 사이의 레이저 가스흐름을 균일하게 할 수 있는 엑시머 레이저장치를 제공하는 것이다.
엑시머 레이저장치는 레이저 가스로 채워진 케이싱; 상기 케이싱내에 배치되어 전기적 방전을 발생시켜 고속의 반복률로 상기 레이저 가스를 방전펌프시키는 한 쌍의 주 방전전극; 상기 주 방전전극 사이에 고속의 레이저 가스흐름을 발생시키는 팬; 베어링; 상기 팬을 작동시키는 모터; 상기 팬의 회전속도를 검출하는 회전속도 검출장치; 및 상기 회전속도 검출장치에 의해 검출된 상기 팬의 회전속도에 기초하여 상기 모터에 공급되는 전압과 주파수중 하나 이상을 제어하여, 상기 팬의 회전속도를 일정수준으로 제어하는 제어장치를 포함하여 이루어지며, 상기 팬은 상기 베어링에 의해 회전 가능하게 지지되는 회전 가능한 샤프트를 구비한다.

10. 发明授权

KR100639808B1 방전 펌프 엑시머레이저장치 有权
标题翻译：放电泵浦激光器装置
公开(公告)号：KR100639808B1
公开(公告)日：2006-10-27
申请号：KR1020017006416
申请日：1999-11-26
申请人： 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 , 가부시키가이샤 고마츠 세이사꾸쇼
发明人： 시노자키히로유키 , 세키구치신이치 , 바라다도시미츠 , 나카자와도시하루
IPC分类号： H01S3/225
摘要： 본 발명은 레이저용기내의 레이저가스의 열화가 적고, 자기베어링이나 모터에 먼지가 유입하는 일 없고, 또한 레이저가스에 접하는 부분의 손상이 적고, 수명이 긴 방전 펌프 엑시머레이저장치를 제공하는 것이다.
이를 위하여 본 발명의 방전 펌프 엑시머레이저장치는 레이저가스를 봉입하고, 한 쌍의 주방전 전극을 수납한 레이저용기의 양측에 연달아 접속한 하우징과, 하우징내에 수용한 자기베어링에 양쪽 끝부를 회전자유롭게 지지된 레이저가스흐름을 만들어내는 관류팬과, 하우징에 수용되어 관류팬을 회전구동하는 모터와, 자기베어링 및 모터의 로우터측과 스테이터측 사이의 간극을 통하여 하우징의 전체 길이에 걸쳐 연장되고, 레이저용기의 내부와 연통하는 레이저가스유로와, 레이저용기의 내부로부터 연장 돌출하여 하우징의 끝부에서 레이저가스와 연통하는 레이저가스도입로와, 레이저가스도입로내에 설치된 필터를 가지는 것을 특징으로 한다.

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