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1. 发明公开

KR20180029836A 박리 장치 및 박리 방법 审中-公开
标题翻译：拆卸装置和拆卸方法
公开(公告)号：KR20180029836A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20170076716
申请日：2017-06-16
申请人： SCREEN HOLDINGS CO LTD
发明人： KAJINO ITSUKI , UENO MIYOSHI , MASUICHI MIKIO , UENO HIROYUKI , SHOJI KAZUHIRO
IPC分类号： H01L21/67 , B41F1/56 , B41F16/00
CPC分类号： B05C11/00 , B05C1/025 , B05D1/28 , B41F16/00
摘要： (과제) 제 1 판상체로부터제 2 판상체를박리시키는박리장치의저비용화및 소형화를도모한다. (해결수단) 제 1 판상체를유지하는유지부와, 박리진행방향으로배열되고, 제 2 판상체의타방주면을흡착하는복수의흡착부와, 유지부로부터이간되는이간방향으로각 흡착부를이동시킴으로써흡착부가흡착하고있는제 2 판상체의피흡착부위를제 1 판상체로부터박리시키는, 부분박리를복수의흡착부의배열순서로실시하여제 2 판상체의박리를진행시키는박리제어부를구비하고, 박리제어부는, 이간방향으로이동가능하게형성된제 1 가동체와, 제 1 가동체를이간방향으로이동시키는제 1 이동부와, 흡착부마다형성되고, 흡착부에장착되어이간방향으로이동하는제 1 가동체에걸어맞춤으로써제 1 가동체의이동에수반하여흡착부를이간방향으로이동시키는, 복수의제 1 걸어맞춤부재를갖고, 복수의제 1 걸어맞춤부재가각각제 1 가동체에걸어맞춰지는타이밍은배열순서와동일하다.
摘要翻译：第一可移动体设置成沿分离方向可移动，并且为每个抽吸单元设置第一接合构件。当第一可移动体沿分离方向移动时，多个第一接合构件以与吸取单元的排列顺序相同的顺序分别与第一可移动体接合。之后，抽吸单元与第一可移动体一起在分离方向上移动。

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