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    • 1. 发明专利
    • Photodetektor mit verbessertem Detektionsergebnis
    • DE102019113343A1
    • 2020-11-26
    • DE102019113343
    • 2019-05-20
    • SENORICS GMBH
    • MEERHEIM RICOBRÜCKNER ROBERTJAHNEL MATTHIASLEO KARL
    • H01L31/0232H01L51/42H01L51/44
    • Die Erfindung betrifft verschiedene Aspekte eines Photodetektors zur spektral selektiven Detektion von elektromagnetischer Strahlung mit einem ersten optoelektronischen Bauelement zur Detektion einer ersten Wellenlänge der elektromagnetischen Strahlung. Das erste optoelektronische Bauelement weist dabei eine erste optische Kavität und mindestens eine in der ersten optischen Kavität angeordnete Detektionszelle auf. Die erste optische Kavität wird durch zwei voneinander beabstandete parallele Spiegelschichten gebildet, wobei die Länge der ersten optischen Kavität so ausgestaltet ist, dass sich für die erste Wellenlänge eine dieser zugeordnete Resonanzwelle i. Ordnung in der ersten optischen Kavität ausbildet Jede Detektionszelle weist eine photoaktive Schicht auf, wobei die photoaktive Schicht jeweils so innerhalb der ersten optischen Kavität angeordnet ist, dass genau ein Schwingungsmaximum der Resonanzwelle innerhalb der photoaktiven Schicht liegt Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ist die Ordnung der Resonanzwelle des ersten optoelektronischen Bauelements größer als 1. Gemäß einem zweiten Aspekt weist das erste optoelektronische Bauelement neben der Detektionszelle mindestens eine optisch transparente Abstandshalterschicht, die in der ersten optischen Kavität zwischen einer der Spiegelschichten und der Detektionszelle angeordnet ist, und mindestens einen Außenkontakt auf, der an eine äußere Oberfläche der Detektionszelle angrenzt und aus einem elektrisch leitfähigen Material besteht.
    • 2. 发明专利
    • Hybrides multispektrales Bauelement
    • DE102019102176A1
    • 2020-07-30
    • DE102019102176
    • 2019-01-29
    • SENORICS GMBH
    • BRÜCKNER ROBERTJAHNEL MATTHIASLEO KARLTIMMRECK RONNY
    • H01L27/144H01L27/30H01L31/12
    • Die Erfindung betrifft ein hybrides multispektrales Bauelement, welches ein Substrat mit einer ersten Oberfläche und einer zweiten Oberfläche, mindestens ein erstes Funktionselement mit einer ersten Funktionsschicht, die zur Detektion oder Emission von Licht eines ersten Wellenlängenbereiches geeignet ist, und mindestens ein zweites Funktionselement mit einer zweiten Funktionsschicht, die zur Detektion oder Emission von Licht eines zweiten Wellenlängenbereiches, welches von dem ersten Wellenlängenbereich verschieden ist, geeignet ist, umfasst. Das erste Funktionselement ist auf der ersten Oberfläche des Substrates angeordnet, während das zweite Funktionselement auf der zweiten Oberfläche des Substrats angeordnet ist. Das erste Funktionselement ist in einem ersten lateralen Bereich des multispektralen Bauelements angeordnet und das zweite Funktionselement ist in einem zweiten lateralen Bereich des multispektralen Bauelements angeordnet. Der erste laterale Bereich und der zweite laterale Bereich sind so lateral versetzt zu einander angeordnet, dass das Licht des zweiten Wellenlängenbereichs das zweite Funktionselement erreicht oder das Licht des zweiten Wellenlängenbereichs, welches von dem zweiten Funktionselement emittiert wird, das multispektrale Bauelement auf der ersten Oberfläche des Substrates verlässt, ohne die erste Funktionsschicht durchlaufen zu haben.
    • 3. 发明专利
    • Hybrides multispektrales Bauelement
    • DE102019102176B4
    • 2022-11-24
    • DE102019102176
    • 2019-01-29
    • SENORICS GMBH
    • BRÜCKNER ROBERTJAHNEL MATTHIASLEO KARLTIMMRECK RONNY
    • H01L27/144H01L27/15H01L27/30H01L31/12
    • Hybrides multispektrales Bauelement (1, 2, 3) umfassend:- ein Substrat (100, 100') mit einer ersten Oberfläche (101) und einer zweiten Oberfläche (102), wobei die zweite Oberfläche (102) der ersten Oberfläche (101) gegenüberliegt,- mindestens ein erstes Funktionselement (10, 10a-10d) mit einer ersten Funktionsschicht (11), die zur Detektion oder Emission von Licht eines ersten Wellenlängenbereiches geeignet ist, wobei das mindestens eine erste Funktionselement (10, 10a-10d) auf der ersten Oberfläche (101) des Substrates (100, 100') angeordnet ist,- mindestens ein zweites Funktionselement (20, 20a-20c) mit einer zweiten Funktionsschicht (21), die zur Detektion oder Emission von Licht eines zweiten Wellenlängenbereiches, welches von dem ersten Wellenlängenbereich verschieden ist, geeignet ist, wobei das mindestens eine zweite Funktionselement (20, 20a-20c) auf der zweiten Oberfläche (102) des Substrats (100, 100') angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass das mindestens eine erste Funktionselement (10, 10a-10d) in mindestens einem ersten lateralen Bereich (110) des multispektralen Bauelements (1, 2, 3) angeordnet ist und das mindestens eine zweite Funktionselement (20, 20a-20c) in mindestens einem zweiten lateralen Bereich (120) des multispektralen Bauelements (1, 2, 3) angeordnet ist, wobei der mindestens eine erste laterale Bereich (110) und der mindestens eine zweite laterale Bereich (120) so lateral versetzt zu einander angeordnet sind, dass das Licht des zweiten Wellenlängenbereichs das mindestens eine zweite Funktionselement (20, 20a-20c) erreicht oder das Licht des zweiten Wellenlängenbereichs, welches von dem mindestens einen zweiten Funktionselement (20, 20a-20c) emittiert wird, das multispektrale Bauelement (1, 2, 3) auf der ersten Oberfläche (101) des Substrates (100, 100') verlässt, ohne die erste Funktionsschicht (11) durchlaufen zu haben.
    • 5. 发明专利
    • Optoelektronisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen davon
    • DE102019113346A1
    • 2020-11-26
    • DE102019113346
    • 2019-05-20
    • SENORICS GMBH
    • WYNANDS DAVIDLEO KARLMEERHEIM RICOJAHNEL MATTHIAS
    • H01L51/42H01L31/101H01L51/48
    • Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein optoelektronisches Bauelement (100) aufweisen: eine erste Elektrode (104) auf einem Substrat (102), welche eine erste reflektierende Fläche (104a) aufweist; eine über der ersten Elektrode (104) angeordnete zweite Elektrode (112) aufweisend eine zweite reflektierende Fläche (112a), wobei die zweite reflektierende Fläche (112a) und die erste reflektierende Fläche (104a) derart eingerichtet sind, dass diese eine optische Kavität bilden; ein photoaktives Element (130), welches zwischen der ersten reflektierenden Fläche (104a) und der zweiten reflektierenden Fläche (112a) angeordnet ist, wobei das photoaktive Element (130) derart eingerichtet ist, dass wenn das optoelektronische Bauelement (100) mittels einer elektromagnetischen Welle bestrahlt wird, Ladungsträger eines ersten Typs und Ladungsträger eines zweiten Typs in dem photoaktiven Element (130) mittels Absorption der elektromagnetischen Welle erzeugt werden, die in dem photoaktiven Element (130) erzeugten Ladungsträger des ersten Typs zu der ersten Elektrode (104) transportiert werden, und die in dem photoaktiven Element (130) erzeugten Ladungsträger des zweiten Typs zu der zweiten Elektrode (112) transportiert werden.