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1. 发明授权

CN1503059B 光刻设备和制造器件的方法失效
公开(公告)号：CN1503059B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200310119662.2
申请日：2003-11-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： W·O·普里尔 , E·A·F·范德帕斯奇 , R·F·狄龙 , P·D·肯肖
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70958 , G01B9/02007 , G01B9/02014 , G01B9/02027 , G01B9/0207 , G01B9/02074 , G01B2290/45 , G01B2290/60 , G01B2290/70 , G03F7/70775 , G03F7/70883
摘要：光刻设备和制造器件的方法,由于大气条件的变化，诸如压力、温度和扰动，使用来自二次谐波干涉仪的测量来校正干涉测量系统的测量结果。在使用SHI数据以前，去除代表SHI数据与光路长度关系的匀变。该SHI可以使用无源Q开关激光器作为光源，可以在接收模块使用布儒斯特棱镜。可以使用光纤来将光引导到探测器。反射测量束的镜子具有这样的涂层，即其厚度选择为使SHI数据对涂层厚度的变化的敏感性最小化。

2. 发明公开

CN1503059A 光刻设备和制造器件的方法失效
公开(公告)号：CN1503059A
公开(公告)日：2004-06-09
申请号：CN200310119662.2
申请日：2003-11-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： W·O·普里尔 , E·A·F·范德帕斯奇 , R·F·狄龙 , P·D·肯肖
IPC分类号： G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/70958 , G01B9/02007 , G01B9/02014 , G01B9/02027 , G01B9/0207 , G01B9/02074 , G01B2290/45 , G01B2290/60 , G01B2290/70 , G03F7/70775 , G03F7/70883
摘要：由于大气条件的变化，诸如压力、温度和扰动，使用来自二次谐波干涉仪的测量来校正干涉测量系统的测量结果。在使用SHI数据以前，去除代表SHI数据与光路长度关系的匀变。该SHI可以使用无源Q开关激光器作为光源，可以在接收模块使用布儒斯特棱镜。可以使用光纤来将光引导到探测器。反射测量束的镜子具有这样的涂层，即其厚度选择为使SHI数据对涂层厚度的变化的敏感性最小化。

3. 发明申请

WO00017604A1 QUASI-STATIC FIBER PRESSURE SENSOR 审中-公开
标题翻译：静态光纤传感器
公开(公告)号：WO00017604A1
公开(公告)日：2000-03-30
申请号：PCT/US1999/015794
申请日：1999-07-13
IPC分类号： A61B5/0452 , A61B5/0402 , A61B5/0456 , A61N1/365 , A61N1/37 , G01B9/02 , G01D5/353 , G06F9/38
CPC分类号： G01B9/02044 , G01B9/02023 , G01B9/02067 , G01B9/02074 , G01B9/0209 , G01B2290/25 , G01D5/35303
摘要： This invention is a quasi-static fiber pressure sensor using self referenced interferometry based on a broadband semiconductor source (12) which probes the pressure plate deflection (24) within a Fabry-Perot cavity where phase is demodulated with a dual grating spectrometer (32) providing real time, high resolution remote measurement of pressure using optical interrogation of a deflecting pressure plate. This technique yields absolute gap measurement in real time over a wide range of gap lengths with nanometer resolution. By tailoring the pressure plate designed to cover the range of gaps and deflection can be resolved, pressure sensing with psi resolution can be obtained in a kpsig pressure range.
摘要翻译：本发明是使用基于宽带半导体源（12）的自参考干涉测量的准静态光纤压力传感器，该宽带半导体源探测法布里 - 珀罗腔内的压板偏转（24），其中相位用双光栅光谱仪（32）解调，使用光学询问偏转压力板提供实时，高分辨率的压力测量。该技术在纳米分辨率的宽范围的间隙长度内实时产生绝对间隙测量。通过调整设计用于覆盖间隙范围的压板，可以解决偏转，可以在kpsig压力范围内获得psi分辨率的压力感测。

4. 发明申请

WO2012018832A3 AUTOMATIC CALIBRATION OF FOURIER-DOMAIN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY SYSTEMS 审中-公开
标题翻译： FOURIER-DOMAIN光学相干系统的自动校准
公开(公告)号：WO2012018832A3
公开(公告)日：2012-05-24
申请号：PCT/US2011046290
申请日：2011-08-02
申请人： UNIV JOHNS HOPKINS , KANG JIN , BALICKI MARCIN ARKADIUSZ , LIU XUAN
发明人： KANG JIN , BALICKI MARCIN ARKADIUSZ , LIU XUAN
IPC分类号： A61B17/94 , G01B9/02 , G06F19/00
CPC分类号： G01B9/02091 , G01B9/02044 , G01B9/02074 , G01N21/4795
摘要： A method for calibrating a Fourier domain optical coherence tomography system includes receiving spectral data from an optical detector comprising a linear array of detector elements, each detector element having a position labeled n, wherein detected light was wavelength-dispersed across the linear array of detector elements; determining parameters of a preselected functional relationship between wave number, kn, corresponding to detector element n as a function of optical detector element n based on the spectral data; further receiving subsequent spectral data subsequent to the first-mentioned receiving, wherein detected light was wavelength-dispersed across the linear array of detector elements; converting the subsequent spectral data using the preselected functional relationship between wave number kn and optical detector element n to obtain converted spectral data; and performing an inverse Fourier transform of the converted spectral data to obtain a depth profile.
摘要翻译：用于校准傅立叶域光学相干断层摄影系统的方法包括从包括检测器元件的线性阵列的光学检测器接收光谱数据，每个检测器元件具有标记为n的位置，其中检测到的光被波长分散在检测器元件的线性阵列 ; 基于光谱数据确定与检测器元件n对应的波数kn的预选函数关系的参数作为光学检测器元件n的函数; 进一步接收在所述第一次接收之后的随后的光谱数据，其中检测的光被波长分散在检测器元件的线性阵列上; 使用波数kn和光检测器元件n之间的预选功能关系来转换随后的光谱数据，以获得转换的光谱数据; 并对所转换的光谱数据执行逆傅立叶变换以获得深度分布。

5. 发明申请

WO2011068862A3 SYSTEM AND METHOD FOR CALIBRATED SPECTRAL DOMAIN OPTICAL COHERENCE TOMOGRAPHY AND LOW COHERENCE INTERFEROMETRY 审中-公开
标题翻译：用于校准光谱域光学相干层析成像和低相干干涉测量的系统和方法
公开(公告)号：WO2011068862A3
公开(公告)日：2011-10-13
申请号：PCT/US2010058548
申请日：2010-12-01
申请人： BRIGHAM & WOMENS HOSPITAL , BREZINSKI MARK , LIU BIN , AZIMI EHSAN
发明人： BREZINSKI MARK , LIU BIN , AZIMI EHSAN
IPC分类号： G01N21/17 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02091 , A61B5/0066 , A61B5/7257 , G01B9/02044 , G01B9/02074 , G01N21/4795 , G01N2021/1787
摘要： Systems and methods for enhancing spectral domain optical coherence tomography (OCT] are provided. In particular, a system and method for calibration of spectral interference signals using an acquired calibration signal are provided. The calibration signal may be logarithmically amplified to further improve the accuracy of the calibration. From the calibration signal, a series of more accurate calibration data are calculated. An acquired spectral interference signal is calibrated using these calibration data. Moreover, systems that include logarithmic amplification of the spectral interference signal and variable band-pass filtering of the spectral interference signal are provided. Such systems increase the dynamic range and visualization capabilities relative to conventional spectral domain OCT systems.
摘要翻译：提供了用于增强光谱域光学相干断层扫描（OCT）的系统和方法，具体而言，提供了一种使用获取的校准信号来校准光谱干涉信号的系统和方法，该校准信号可以被对数放大以进一步提高从校准信号中，计算出一系列更准确的校准数据，使用这些校准数据校准获取的光谱干涉信号，并且包括光谱干涉信号的对数放大和可变带通滤波的系统光谱干涉信号，这些系统相对于传统的光谱域OCT系统增加了动态范围和可视化能力。

6. 发明申请

US20150355023A1 System and Method of Alignment for Balanced Detection in a Spectral Domain Optical Coherence Tomography 审中-公开
标题翻译：用于平衡检测的光谱相干层析成像的系统和方法
公开(公告)号：US20150355023A1
公开(公告)日：2015-12-10
申请号：US14298682
申请日：2014-06-06
申请人： Canon Kabushiki Kaisha
发明人： Takefumi Ota
IPC分类号： G01J3/02 , G01B9/02 , G01J3/453
CPC分类号： G01B9/02041 , A61B5/0066 , G01B9/02044 , G01B9/02072 , G01B9/02074 , G01B9/02091
摘要： An alignment process for a balance detecting spectral domain optical coherence tomography system. The alignment process includes comparing a spectral performance curve of a first detector array to a spectral performance curve of a second detector array to determine if the system is aligned.
摘要翻译：平衡检测光谱相干层析成像系统的对准过程。对准过程包括将第一检测器阵列的光谱性能曲线与第二检测器阵列的光谱性能曲线进行比较，以确定系统是否对准。

7. 发明授权

US07884947B2 Interferometry for determining characteristics of an object surface, with spatially coherent illumination 有权
标题翻译：用于确定物体表面特征的干涉测量，具有空间相干照明
公开(公告)号：US07884947B2
公开(公告)日：2011-02-08
申请号：US11758252
申请日：2007-06-05
申请人： Xavier Colonna De Lega , Peter De Groot
发明人： Xavier Colonna De Lega , Peter De Groot
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02027 , G01B9/02043 , G01B9/02044 , G01B9/02057 , G01B9/02074 , G01B9/02084 , G01B9/02088 , G01B9/0209 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01N21/211
摘要： Disclosed is an apparatus which includes: an interferometer configured to direct broadband spatially coherent test light to a test surface of a test object over a range of illumination angles and subsequently combine it with reference light to form an interference pattern, the test and reference light being derived from a common source; and multi-element detector; and one or more optics configured to direct at least a portion of the combined light to the detector so that different elements of the detector correspond to different illumination angles of a region of the test surface illuminated by the test light.
摘要翻译：公开了一种装置，其包括：干涉仪，其被配置为在宽度范围的照射角度下将宽带空间相干测试光引导到测试对象的测试表面，并随后将其与参考光组合以形成干涉图案，所述测试和参考光为源自一个共同的来源; 多元素检测器; 以及一个或多个光学器件，被配置为将组合的光的至少一部分引导到检测器，使得检测器的不同元件对应于由测试光照射的测试表面的区域的不同照明角度。

8. 发明申请

US20090261240A1 CALIBRATION JIG FOR OPTICAL TOMOGRAPHIC IMAGING APPARATUS AND METHOD FOR GENERATING A CALIBRATION CONVERSION TABLE 有权
标题翻译：用于光学图像成像装置的校准夹和用于产生校准转换表的方法
公开(公告)号：US20090261240A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：US12496273
申请日：2009-07-01
申请人： Daisuke WATANABE , Yuichi Teramura
发明人： Daisuke WATANABE , Yuichi Teramura
IPC分类号： G01D18/00 , G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02072 , G01B9/02004 , G01B9/0205 , G01B9/02074 , G01B9/02083 , G01B9/02091 , G01D18/00 , G06F17/17
摘要： A calibration jig allowing simple and repeatable calibration of a probe optical tomographic apparatus is disclosed. The jig includes a holding member removably attachable to an attachment section of the apparatus and a reflective surface held by the holding member. The reflective surface reflects measurement light emitted from an emitting section of the attachment section and directs reflected light back to the emitting section. If a probe of the apparatus is covered with a sheath, the jig may include a light transmitting member, which generates the same dispersion as dispersion at the sheath, between the emitting section and the reflective surface. The reflective surface may be a single reflective surface disposed within an area corresponding to twice a coherence length of the laser light with a zero path position of the reflective surface being the center of the area.
摘要翻译：公开了一种允许探针光学断层摄影装置的简单且可重复校准的校准夹具。夹具包括可移除地附接到装置的附接部分的保持构件和由保持构件保持的反射表面。反射表面反射从附接部分的发射部分发射的测量光并将反射光引导回发射部分。如果装置的探针被护套覆盖，则夹具可以包括透光构件，其在发射部分和反射表面之间产生与护套处的分散体相同的色散。反射表面可以是设置在对应于激光的相干长度的两倍的区域内的单个反射表面，反射表面的零路径位置是该区域的中心。

9. 发明授权

US07327465B2 Compensation for effects of beam misalignments in interferometer metrology systems 失效
标题翻译：干涉仪计量系统中光束不对准效应的补偿
公开(公告)号：US07327465B2
公开(公告)日：2008-02-05
申请号：US11250116
申请日：2005-10-13
申请人： Henry A. Hill
发明人： Henry A. Hill
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01B9/02018 , G01B9/02007 , G01B9/02019 , G01B9/02059 , G01B9/02074 , G01B9/02098 , G01B2290/70 , G03F7/70516 , G03F7/70775
摘要： In general, in a first aspect, the invention features methods that include deriving a first beam and a second beam from an input beam and directing the first and second beams along different paths, where the path of the first beam contacts a measurement object, producing an output beam comprising a phase related to an optical path difference between the different beam paths, determining a position of the measurement object with respect to at least one degree of freedom based on information derived from the output beam, monitoring variations in a direction of the input beam, and using the monitored variations in the direction of the input beam to reduce errors in the determined position associated with deviations of the path of the input beam from a nominal input beam path.
摘要翻译：通常，在第一方面，本发明的特征在于，方法包括从输入光束导出第一光束和第二光束，并将第一和第二光束沿着不同的路径引导，其中第一光束的路径接触测量对象，产生输出光束，其包括与不同光束路径之间的光程差有关的相位，基于从输出光束导出的信息确定测量对象相对于至少一个自由度的位置，监测所述测量对象的方向上的变化并且使用在输入光束的方向上监视的变化来减少与输入光束与标称输入光束路径的路径的偏差相关联的确定位置中的误差。

10. 发明授权

US06956657B2 Method for self-calibrated sub-aperture stitching for surface figure measurement 有权
标题翻译：用于表面图形测量的自校准子孔缝合方法
公开(公告)号：US06956657B2
公开(公告)日：2005-10-18
申请号：US10303236
申请日：2002-11-25
申请人： Donald Golini , Greg Forbes , Paul Murphy
发明人： Donald Golini , Greg Forbes , Paul Murphy
IPC分类号： G01B11/24 , G01B9/02 , G01B11/255 , G01J9/00 , G01M11/00 , G01M11/02 , G01N21/84
CPC分类号： G01M11/0271 , G01B9/02074 , G01B9/02085 , G01B11/255 , G01B2210/52 , G01B2290/65 , G01M11/0264
摘要： A method for accurately synthesizing a full-aperture data map from a series of overlapped sub-aperture data maps. In addition to conventional alignment uncertainties, a generalized compensation framework corrects a variety of errors, including compensators that are independent in each sub-aperture. Another class of compensators (interlocked) include coefficients that are the same across all the sub-apertures. A constrained least-squares optimization routine maximizes data consistency in sub-aperture overlap regions. The stitching algorithm includes constraints representative of the accuracies of the hardware to ensure that the results are within meaningful bounds. The constraints also enable the computation of estimates of uncertainties in the final results. The method therefore automatically calibrates the system, provides a full-aperture surface map, and an estimate of residual uncertainties. Therefore, larger surfaces can be tested with greater departures from a best-fit sphere to greater accuracy than was possible in the prior art.
摘要翻译：一种用于从一系列重叠子孔径数据图精确地合成全孔径数据图的方法。除了传统的对准不确定性之外，广义补偿框架可以纠正各种错误，包括在每个子孔径中独立的补偿器。另一类补偿器（互锁）包括在所有子孔径上相同的系数。受限最小二乘优化程序使子孔重叠区域的数据一致性最大化。拼接算法包括代表硬件准确性的约束，以确保结果在有意义的界限之内。这些约束也使计算最终结果中不确定性的估计值。因此，该方法可以自动校准系统，提供全孔径曲面图和剩余不确定度估计值。因此，与现有技术相比，更大的表面可以与最佳拟合球体的更大偏离更大的精度进行测试。

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