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1. 发明公开

CN107525816A 具有超薄氮化硅观察窗口的TEM液体测试芯片及其制法审中-实审
公开(公告)号：CN107525816A
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201710914483.X
申请日：2017-09-30
申请人：南通盟维芯片科技有限公司
发明人：张跃钢 , 赵美珍 , 周莉莎 , 李洪飞
IPC分类号： G01N23/04
CPC分类号： G01N23/04 , G01N2223/03 , G01N2223/317 , G01N2223/637
摘要：本发明公开了一种具有超薄氮化硅观察窗口的TEM液体测试芯片及其制法。所述测试芯片包括：隔离层、第一绝缘膜、第二绝缘膜、上芯片、下芯片以及支撑层；所述上芯片具有朝向下芯片凸起的凸台，所述凸台具有第一通孔，所述第一绝缘膜覆盖凸台的表面及第一通孔在凸台表面上的开口；所述下芯片具有第二通孔，所述第二绝缘膜覆盖第二通孔在下芯片表面上的开口；所述支撑层夹设在上芯片、下芯片之间，使上芯片的凸台卡设至支撑层形成的凹槽中，形成封闭的检测腔室。第一通孔与第二通孔垂直相交设置，所述隔离层夹设在第一、二绝缘膜之间。本发明采用光刻胶在下芯片上形成凹槽结构，可以有效避免因湿法腐蚀对LPCVD沉积设备造成的金属离子污染。

2. 发明授权

CN103376272B X射线检测装置有权
公开(公告)号：CN103376272B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310126248.8
申请日：2013-04-12
申请人：株式会社堀场制作所
发明人：后藤智 , 駒田世志人 , 中嶋嘉之
IPC分类号： G01N23/223 , G21K1/02
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/076 , G01N2223/316 , G01N2223/317 , G01N2223/6113 , G21K1/02 , G21K1/025
摘要：本发明提供一种X射线检测装置，其包括X射线照射部（3）、X射线检测器（4）以及具有多个光圈孔（21）、（22）、（23）且能移动的准直器（2）。准直器（2）上设有使光通过的窗口部（24），光圈孔（21）、（22）、（23）和窗口部（24）沿同一方向排列。准直器（2）通过在所述方向上移动，改变将X射线照射部（3）向试样照射的X射线缩小的光圈孔的直径，此外，准直器（2）能够移动到摄像部通过窗口部（24）能拍摄试样的位置。即使在X射线照射部（3）、X射线检测器（4）和准直器（2）接近的状态下，也能对试样进行拍摄，由此使能拍摄试样的X射线检测装置能够实现小型化。

3. 发明公开

CN104076051A 荧光X射线分析装置无效
公开(公告)号：CN104076051A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410111443.8
申请日：2014-03-24
申请人：日本株式会社日立高新技术科学
发明人：佐久田昌博 , 长谷川清 , 的场吉毅
IPC分类号： G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/317 , G01N2223/652
摘要：本发明提供荧光X射线分析装置，其能够检测载置于落下防止板上的异物。该荧光X射线分析装置具有：试样台，其在X射线照射位置处具有孔部，能够在孔部上设置试样；X射线源，其从下方对试样照射原级X射线（X1）；检测器，其相对于孔部配置在下方，对从被照射原级X射线的试样产生的荧光X射线（X2）进行检测；透明的落下防止板，其以能够进退的方式支承在孔部的正下方；驱动机构，其使落下防止板进退；观察用照相机，其设置在孔部的下方，能够对位于孔部的正下方时的落下防止板进行观察；以及运算部，其对由观察用照相机拍摄到的落下防止板的图像进行处理，运算部根据落下防止板移动或振动前后的图像的差分，检测落下防止板上的异物。

4. 发明公开

CN103376272A X射线检测装置有权
公开(公告)号：CN103376272A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310126248.8
申请日：2013-04-12
申请人：株式会社堀场制作所
发明人：后藤智 , 駒田世志人 , 中嶋嘉之
IPC分类号： G01N23/223 , G21K1/02
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/076 , G01N2223/316 , G01N2223/317 , G01N2223/6113 , G21K1/02 , G21K1/025
摘要：本发明提供一种X射线检测装置，其包括X射线照射部（3）、X射线检测器（4）以及具有多个光圈孔（21）、（22）、（23）且能移动的准直器（2）。准直器（2）上设有使光通过的窗口部（24），光圈孔（21）、（22）、（23）和窗口部（24）沿同一方向排列。准直器（2）通过在所述方向上移动，改变将X射线照射部（3）向试样照射的X射线缩小的光圈孔的直径，此外，准直器（2）能够移动到摄像部通过窗口部（24）能拍摄试样的位置。即使在X射线照射部（3）、X射线检测器（4）和准直器（2）接近的状态下，也能对试样进行拍摄，由此使能拍摄试样的X射线检测装置能够实现小型化。

5. 发明公开

EP2507828A4 PRE-STRESSED GAMMA DENSITOMETER WINDOW AND METHOD OF FABRICATION 有权转让
公开(公告)号：EP2507828A4
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：EP10835067
申请日：2010-12-01
申请人： SCHLUMBERGER TECHNOLOGY BV , SCHLUMBERGER HOLDINGS , PRAD RES & DEV LTD , SERVICES PETROLIERS SCHLUMBERGER (SPS)
发明人： RUSTAD ROLF , BRATLAND PAAL , NOEL JEAN-FRANÇOIS
IPC分类号： H01L23/06 , G01F1/74 , G01N23/083 , G01N23/12 , H01L23/10 , H01P1/08
CPC分类号： G01N23/12 , G01F1/74 , G01N23/083 , G01N2223/04 , G01N2223/317 , H01P1/08 , Y10T29/49865
摘要： A gamma densitometer window comprises a plate of non-metallic, preferably gamma transparent, material. The window further comprises a metallic frame member fitted around the outer edge of the plate and adapted to pre-load the plate with a compressive stress that is sufficiently high such that the sum of the compressive stress, tensile stress and shear stress components generated in the plate under high-pressure conditions is always compressive. The window is fabricated by shrink fitting the metallic frame member around the outer edge of the plate at a shrink-fit temperature such that the metallic frame member applies a compressive stress to the plate at any temperature below the shrink-fit temperature.

6. 发明申请

WO2014168854A1 PROTECTIVE SHIELD FOR X-RAY FLUORESCENCE (XRF) SYSTEM 审中-公开
标题翻译： X射线荧光（XRF）系统的保护膜
公开(公告)号：WO2014168854A1
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：PCT/US2014/033128
申请日：2014-04-07
申请人： THERMO SCIENTIFIC PORTABLE ANALYTICAL INSTRUMENTS INC.
发明人： FAILLA, James L., Jr. , CLIFFORD, David A. , MINTER, Wayne Allen
IPC分类号： G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/301 , G01N2223/317 , G21F1/00 , G21F1/08 , G21K1/00 , Y10T29/49826
摘要： In one embodiment, a protective shield for a spectrometer is provided. The shield includes a body configured to substantially protect a front of the spectrometer, the body including an aperture that includes a protective mesh. The protective mesh includes a high-strength, low-Z material, such as an arrangement of carbon fibers. A method of fabrication, a spectrometer and a method of using the spectrometer are disclosed.
摘要翻译：在一个实施例中，提供了用于光谱仪的保护屏蔽。护罩包括构造成基本上保护光谱仪前部的主体，该主体包括包括保护网的孔。保护网包括高强度低Z材料，例如碳纤维布置。公开了制造方法，光谱仪和使用光谱仪的方法。

7. 发明授权

US10837925B1 X-ray detector monitoring device 有权
公开(公告)号：US10837925B1
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：US16797243
申请日：2020-02-21
申请人： Shimadzu Corporation
发明人： Keijiro Suzuki , Takao Marui
IPC分类号： G01N23/00 , G01N23/223 , G01K7/16
CPC分类号： G01N23/223 , G01K7/16 , G01N2223/076 , G01N2223/3103 , G01N2223/317
摘要： An X-ray detector monitoring device capable of detecting a time when an X-ray detector is disabled due to a slow leak is provided. The X-ray detector monitoring device is provided with an X-ray detection element 32 for detecting X-ray intensity, an X-ray detector 30 having a vacuum insulation container 33 in which an X-ray introduction window 31 is formed, a cooling means 60 for cooling the X-ray detection element 32, a detection element temperature sensor 81 mounted on the X-ray detection element 32 to output detection element temperature information Tt by detecting a temperature of an X-ray detection element 32, and a control unit 40 and 70 configured to calculate an output value for controlling the cooling means 60 to output the output value to the cooling means 60 so that the detection element temperature information Tt becomes a preset temperature TS. The control unit 40 and 70 is configured to detect a vacuum state of the vacuum insulation container 33 based on the output value.

8. 发明授权

US09372164B2 XRF instrument with removably attached window protecting films 有权
标题翻译： XRF仪器具有可拆卸的连接窗保护膜
公开(公告)号：US09372164B2
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：US14249857
申请日：2014-04-10
申请人： Fabrice Cancre , Ted Michael Shields , Jiawei Tan
发明人： Fabrice Cancre , Ted Michael Shields , Jiawei Tan
IPC分类号： G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/301 , G01N2223/317 , G01N2223/318
摘要： Herein disclosed is an x-ray florescence (XRF) test system which comprises an XRF test instrument used for testing a test target's responses to X-rays, the instrument including a test window allowing the X-ray and its responsive energy to pass through, and at least one window protecting film allowing X-rays to pass through and providing protections to the window, the film being configured to be coupled with the window in a fashion to be removed from or applied or reapplied over the window. The corresponding calibration mode can be manually or automatically applied according to the specific film presently in use.
摘要翻译：本文公开了一种X射线荧光（XRF）测试系统，其包括用于测试测试对象对X射线的响应的XRF测试仪器，该仪器包括允许X射线及其响应能量通过的测试窗口，以及至少一个窗口保护膜，其允许X射线穿过并向窗户提供保护，该膜被配置为以与窗口相连的方式与窗口耦合，以便在窗户上移除或施加或重新施加于窗户上。相应的校准模式可以根据目前使用的特定胶片手动或自动应用。

9. 发明授权

US09188553B2 X-ray fluorescence analyzer 有权
标题翻译： X射线荧光分析仪
公开(公告)号：US09188553B2
公开(公告)日：2015-11-17
申请号：US14222778
申请日：2014-03-24
申请人： Hitachi High-Tech Science Corporation
发明人： Masahiro Sakuta , Kiyoshi Hasegawa , Yoshiki Matoba
IPC分类号： G01N21/64 , G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/317 , G01N2223/652
摘要： An X-ray fluorescence analyzer includes a sample stage having an opening at an X-ray irradiation position, an X-ray source which irradiates a sample placed on the opening with a primary X-ray from below, a detector which detects an X-ray fluorescence generated from the sample, a transparent drop prevention plate supported to be advanced and retracted immediately below the opening, a drive mechanism which advances and retracts the drop prevention plate, an observation camera which observes the drop prevention plate positioned immediately below the opening, and an operation unit which processes an image of the drop prevention plate which is captured by the observation camera. The operation unit detects a foreign matter on the drop prevention plate based on an image difference between images before and after the drive mechanism moves or vibrates the drop prevention plate within an observation range of the observation camera.
摘要翻译：一种X射线荧光分析装置，其具有在X射线照射位置具有开口的样品台，将来自下方的主X射线照射在开口上的样品的X射线源，检测器，从样品产生的射线荧光，支撑在开口正下方前进和后退的透明防滴板，使防滴板前进和后退的驱动机构，观察位于开口正下方的防滴板的观察照相机，以及操作单元，其处理由观察摄像机捕获的防滴板的图像。操作单元基于在驱动机构移动之前和之后的图像之间的图像差异来检测防滴落板上的异物，或者在观察相机的观察范围内使防滴板振动。

10. 发明申请

US20140301532A1 PROTECTIVE SHIELD FOR X-RAY FLUORESCENCE (XRF) SYSTEM 审中-公开
标题翻译： X射线荧光（XRF）系统的保护膜
公开(公告)号：US20140301532A1
公开(公告)日：2014-10-09
申请号：US14051052
申请日：2013-10-10
申请人： James L. Failla, JR. , David A. Clifford , Wayne Allen Minter
发明人： James L. Failla, JR. , David A. Clifford , Wayne Allen Minter
IPC分类号： G21F1/00 , G01N23/223
CPC分类号： G01N23/223 , G01N2223/301 , G01N2223/317 , G21F1/00 , G21F1/08 , G21K1/00 , Y10T29/49826
摘要： In one embodiment, a protective shield for a spectrometer is provided. The shield includes a body configured to substantially protect a front of the spectrometer, the body including an aperture that includes a protective mesh. The protective mesh includes a high-strength, low-Z material, such as an arrangement of carbon fibers. A method of fabrication, a spectrometer and a method of using the spectrometer are disclosed.
摘要翻译：在一个实施例中，提供了用于光谱仪的保护屏蔽。护罩包括构造成基本上保护光谱仪前部的主体，该主体包括包括保护网的孔。保护网包括高强度低Z材料，例如碳纤维布置。公开了制造方法，光谱仪和使用光谱仪的方法。

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