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1. 发明公开

CN1406860A 制作超微细图形的装置失效
公开(公告)号：CN1406860A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN01108757.9
申请日：2001-08-20
申请人：中国科学院光电技术研究所
发明人：石建平 , 陈旭南 , 罗先刚 , 高洪涛 , 陈献忠 , 李展
IPC分类号： B82B3/00 , H01L21/00
CPC分类号： H05H3/02 , G03H5/00
摘要：本发明是一种用原子制作任意超微细图形的装置，由原子束发生器、真空室、通电线圈、激光束、计算全息编码片和基片等构成。它利用磁场、激光场使准直原子束冷却、减速，形成准单色德布罗意波；使准单色德布罗意波通过计算全息编码片孔产生衍射和干涉，在工件台上直接堆积制作出任意形状的超微细图形。该装置克服了现有技术的缺陷，可广泛应用于制作包含纳米图形的超微细三维图形、纳米材料和纳米器件等的研究和开发。

2. 发明公开

CN105874323A 包括采集和重建技术的、基于解谐配置的大型FOV相衬成像无效
公开(公告)号：CN105874323A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201480071793.4
申请日：2014-11-18
申请人：卡尔斯特里姆保健公司
发明人： P.巴图林 , M.E.夏菲尔
IPC分类号： G01N23/20 , A61B6/00
CPC分类号： A61B6/484 , A61B6/0457 , A61B6/06 , A61B6/4035 , A61B6/4291 , A61B6/5205 , A61B6/54 , G01N23/20075 , G01N2223/427 , G01N2223/6126 , G03H5/00 , G21K2207/005
摘要：本文公开方法和设备的实施方案，用以获得相衬数字成像系统(如塔尔博特?罗干涉测量系统)以及用于所述成像系统的方法，所述成像系统和方法可包括：用于射线照相成像的X射线源和X射线检测器；波束成形组件；X射线光栅干涉仪，其包括相位光栅(G1)和分析器光栅(G2)；以及X射线检测器；其中源光栅(G0)、所述相位光栅(G1)和所述分析器光栅(G2)是解谐的，并且获得多个不相关参考图像以便利用所述解谐系统进行成像处理。所述相位光栅(G1)、所述分析器光栅(G2)以及所述X射线检测器彼此之间具有保持固定的相对位置，并且所述干涉仪和待成像样本相对于彼此进行扫描。由于所述干涉仪是解谐的，因此网纹状条纹得以形成在所述检测器上，并且所述干涉仪的扫描范围覆盖所述网纹状条纹图样的整个周期。

3. 发明公开

CN105518528A 在衬底上形成期望的图案的方法无效
公开(公告)号：CN105518528A
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：CN201480049625.5
申请日：2014-07-21
申请人：卑尔根技术交易股份公司
发明人： B·霍尔斯特
IPC分类号： G03F1/20 , G03F1/78 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2037 , G03F1/20 , G03F7/2045 , G03H1/0891 , G03H5/00 , G03H2001/0094 , G03H2001/2234
摘要：本发明涉及在衬底上形成期望的图案的方法，所述方法包括步骤：a)产生原子束或分子束，尤其是He原子束；b)提供具有期望图案，例如在所述衬底上期望的图案的傅里叶变换的掩模；c)引导所述原子束或分子束通过所述图案化的掩模至衬底，据此通过与穿透掩模的部分所述原子束或分子束相互作用，在所述衬底上形成图案，所述图案基于掩模的图案，其中所述图案化的掩模由包含以下步骤的方法制备：d)提供多孔起始掩模材料，所述材料具有允许所述原子束或分子束穿透的尺寸的开口；e)通过填充所述掩模的部分开口从而对所述原子束或分子束变得不透明来在所述掩模上生成期望的图案。本发明的方法对于制备导电电路结构(微芯片)或微机电系统(MEMS)或微米/纳米射流结构或一般纳米结构的表面(即，疏水或亲水的表面或反射/抗反射表面)是有用的。

4. 发明公开

CN102236052A 间接雷达全息设备及相应的方法无效
公开(公告)号：CN102236052A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110083802.X
申请日：2011-03-30
申请人：索尼公司
发明人：马克·萨克斯
IPC分类号： G01R29/10 , G01N22/00
CPC分类号： G03H5/00 , G01S13/003 , G01S13/887 , G03H1/0443 , G03H1/08
摘要：本发明涉及间接雷达全息设备及相应的方法。该设备扫描场景并生成代表场景的高密度信号图案。为减少信号获取时间和/或提高分辨率，设备包括：照射装置，根据照射信号用辐射照射场景；参考信号生成装置，从照射信号生成参考信号；辐射检测装置，检测来自场景的位点的在预定光谱范围中发射的辐射，并生成每个位点的辐射信号；控制装置，控制照射装置和/或辐射检测装置来检测分布于场景上的少于高密度信号图案的强度信号的数目的位点处的辐射；信号组合装置，把所生成的辐射信号与参考信号进行组合，获得强度信号的低密度信号图案；处理装置，处理低密度信号图案的强度信号，对低密度信号图案应用压缩感知来生成高密度信号图案。

5. 发明授权

CN1211715C 制作超微细图形的装置失效
公开(公告)号：CN1211715C
公开(公告)日：2005-07-20
申请号：CN01108757.9
申请日：2001-08-20
申请人：中国科学院光电技术研究所
发明人：石建平 , 陈旭南 , 罗先刚 , 高洪涛 , 陈献忠 , 李展
IPC分类号： G03H5/00 , H01L21/00
CPC分类号： H05H3/02 , G03H5/00
摘要：本发明是一种用原子制作任意超微细图形的装置，由原子束发生器、真空室、通电线圈、激光束、计算全息编码片和基片等构成。它利用磁场、激光场使准直原子束冷却、减速，形成准单色德布罗意波；使准单色德布罗意波通过计算全息编码片孔产生衍射和干涉，在工件台上直接堆积制作出任意形状的超微细图形。该装置克服了现有技术的缺陷，可广泛应用于制作包含纳米图形的超微细三维图形、纳米材料和纳米器件等的研究和开发。

6. 发明申请

WO2015174887A1 СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ РАДИОГОЛОГРАММЫ ОБЪЕКТА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО РЕАЛИЗАЦИИ 审中-公开
标题翻译：一种用于实现物体的无线电频率霍尔的方法及其实现方法
公开(公告)号：WO2015174887A1
公开(公告)日：2015-11-19
申请号：PCT/RU2014/001018
申请日：2014-12-31
申请人： ЗАКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ ФИРМА "МИКРАН"
发明人： ДОЦЕНКО, Владимир Викторович , НОСОВ, Дмитрий Михайлович , РОВКИН, Михаил Евгеньевич , РУССКОВ, Дмитрий Анатольевич , ХЛУСОВ, Валерий Александрович
IPC分类号： G03H5/00 , G01S13/89
CPC分类号： G01S13/89 , G03H5/00
摘要： Изобретение относится к области радиовидения и позволяет реализовать малошумящие матричные регистрирующие экраны для широкодоступных радиоголографических систем, не содержащих в своем составе механических сканирующих элементов и формирующих изображение объекта в реальном времени. Изобретение раскрывает, в частности, способ формирования радиоголограммы, в котором электромагнитной волной W 1 облучают объект, электромагнитной волной W 2 облучают пространственную плоскость или некоторую криволинейную поверхность и осуществляют разнос частот электромагнитных волн W 1 и W 2 на величину Δƒ. Формируют радиоголограммы объекта в виде амплитудно-фазового распределения сигнала биений с разностной частотой Δƒ амплитуды суммы отраженной от объекта электромагнитной волны W 3 и электромагнитной волны W 2 по области регистрации радиоголограммы, зафиксированного относительно опорного сигнала с частотой ƒ 0 =Δƒ.
摘要翻译：本发明涉及射频成像领域，并且使得可以产生用于广泛可接入的射频全息系统的低噪声阵列记录屏幕，其不包含机械扫描元件并且实际上产生物体的图像 -时间。本发明特别公开了一种产生射电全息图的方法，其中物体被电磁波W1照射，空间平面或一些曲线表面被电磁波W2照射，并且电磁波W1的频率并且W2间隔Δf。产生对象的射频全息图，其形式为以对象的反射的电磁波W3和跨越对象的电磁波W2的和的振幅的差分频率Δf的拍频信号的振幅和相位分布射频全息图的记录区域相对于频率为ƒ0=Δf的参考信号固定。

7. 发明申请

WO2006082758A1 干渉装置审中-公开
标题翻译：干涉
公开(公告)号：WO2006082758A1
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：PCT/JP2006/301330
申请日：2006-01-27
申请人：独立行政法人理化学研究所 , 原田研 , 明石哲也 , 戸川欣彦 , 松田強 , 守谷騰
发明人：原田研 , 明石哲也 , 戸川欣彦 , 松田強 , 守谷騰
IPC分类号： H01J37/295 , G02B21/00
CPC分类号： H01J37/295 , G01N23/00 , G02B19/0014 , G02B19/0047 , G03H5/00 , H01J37/04 , H01J2237/1514 , H01J2237/228 , H01J2237/2614
摘要： In a two-stage electron beam biprism interferometer, it is possible to adjust the direction of interference area and the azimuth of the interference fringes. The interferometer includes a biprism having upper-stage and lower-stage electron beam. By operating an azimuth angle F between filament electrodes (9u, 9b) of the biprism having the upper-stage and the lower-stage electron beam, it is possible to control the azimuth ? of interference area and the interference fringes formed therein. This can also be applied to an interferometer using light as a light source.
摘要翻译：在两级电子束双棱镜干涉仪中，可以调整干涉区域的方向和干涉条纹的方位角。干涉仪包括具有上级和下级电子束的双棱镜。通过在具有上级和下级电子束的双棱镜的细丝电极（9u，9b）之间操作方位角F，可以控制方位角θ 的干涉区域和其中形成的干涉条纹。这也可以应用于使用光作为光源的干涉仪。

8. 发明申请

WO1993009546A1 X-RAY LITHOGRAPHY USING HOLOGRAPHIC IMAGES 审中-公开
标题翻译：使用全息图像的X射线光刻技术
公开(公告)号：WO1993009546A1
公开(公告)日：1993-05-13
申请号：PCT/US1992009314
申请日：1992-10-30
申请人： HOWELLS, Malcolm, R. , JACOBSEN, Chris
IPC分类号： G21K05/00
CPC分类号： G03F7/70408 , G03H5/00 , G03H2001/0094 , G21K1/06
摘要： A non-contact X-ray projection lithography method for producing a desired X-ray image on a selected surface of an X-ray-sensitive material, such as photoresist material on a wafer, the desired X-ray image having image minimum linewidths as small as 0.063 mu m, or even smaller. A hologram (15) and its position are determined that will produce the desired image (19) on the selected surface (17) when the hologram is irradiated with X-rays (11) from a suitably monochromatic X-ray source of a selected wavelength lambda . On-axis X-ray transmission through, or off-axis X-ray reflection from, a hologram may be used here, with very different requirements for monochromaticity, flux and brightness of the X-ray source. For reasonable penetration of photoresist materials by X-rays produced by the X-ray source, the wavelength lambda is preferably chosen to be no more than 13.5 nm in one embodiment and more preferably is chosen in the range 1-5 nm in the other embodiment. A lower limit on linewidth is set by the linewidth of available microstructure writing devices, such as an electron beam.
摘要翻译：一种非接触式X射线投影光刻方法，用于在诸如晶片上的光致抗蚀剂材料的X射线敏感材料的选定表面上产生期望的X射线图像，所希望的具有图像最小线宽的X射线图像为小至0.063亩，甚至更小。当全息图从所选波长的适当单色X射线源用X射线（11）照射时，确定全息图（15）并且其位置将在所选择的表面（17）上产生所需图像（19） lambda。这里可以使用通过全息图进行的轴上X射线透射或离轴X射线反射，对于X射线源的单色度，通量和亮度有非常不同的要求。为了通过由X射线源产生的X射线合理地穿透光致抗蚀剂材料，在一个实施例中，波长λ优选选择为不大于13.5nm，并且在另一个实施例中更优选选择在1-5nm的范围内。线宽的下限由可用的微结构写入装置（例如电子束）的线宽设定。

9. 发明授权

KR100252153B1 파원상 가시화방법 失效
标题翻译：波形图像可视化方法
公开(公告)号：KR100252153B1
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019970051405
申请日：1997-10-07
申请人： 가부시키가이샤 아드반테스트
发明人： 기다요시히도시
IPC分类号： G03H1/04
CPC分类号： G01R29/08 , G01R13/408 , G03H5/00
摘要： 홀로그램재생상의 재생영역을 분할한다. 홀로그램 측정데이타 V(R)에 가중함수를 곱한 후, FFT를 행한다. 세그먼트마다의 안테나감도역행렬 A
-1 (R'
a ,
b )에 역전반함수 r'
a ,
b eXp(j2π'
a ,
b /λ)를 곱하여 B
-1
a ,
b (s,t)을 구하고, 여기에 가중함수를 곱한 다음 FFT를 행한다. FFT의 출력끼리를 곱한 후, IFFT를 행한다. 가중함수의 보상을 행하여 세그먼트 재생상으로 한다. 또한, 전파홀로그램 관측을 2개의 주사면에서 행하고, 각각의 주사면에 수평편파 및 수직편파의 안테나를 놓고, 안테나에 의해 수신되는 전압벡터의 분포를 기록한다. 수직편파 수신안테나의 수신안테나 감도행렬의 오차와 수평편파 수신안테나의 수신안테나 감도행렬의 오차와의 크고 작음을 구하고, 수신되는 전압벡터와 수신안테나 감도역행렬과를 선택적으로 사용하여 파원전류벡터의 3성분을 구하여 가시화한다.

10. 发明公开

KR1020160029606A 디지털 홀로그래피 현미경 및 디지털 홀로그램 영상 생성 방법 有权
标题翻译：数字全息显微镜和数字全息图形成方法
公开(公告)号：KR1020160029606A
公开(公告)日：2016-03-15
申请号：KR1020140119395
申请日：2014-09-05
申请人： 광운대학교 산학협력단
发明人： 김은수 , 김병목 , 이상진
IPC分类号： G02B21/36 , G02B27/22 , G03H1/04
CPC分类号： G02B21/365 , G02B21/00 , G02B21/36 , G02B21/361 , G02B21/362 , G02B27/22 , G02B27/2207 , G02B27/2242 , G03H1/04 , G03H5/00 , G03H2001/0428
摘要： 본발명은디지털홀로그래피현미경장치와, 디지털홀로그래피기술을이용하여측정대상물체의 3차원물체형상을복원하는방법에관한것이다. 본발명에의한디지털홀로그래피현미경장치는, 혼합광원부; 혼합광원으로부터서로다른파장을가지는 2개의광선을분할하는파장분할부; 상기분할된광선들로부터각각참조광과물체광을분할하고, 상기물체광들과참조광들을이용하여측정대상물체에대한정보를가지는간섭무늬를획득하는간섭무늬획득부; 측정대상물체를거치하고상기물체광들을광학적으로조절하여측정대상물체에입사시키는대물부; 상기간섭무늬를측정하고, 이를이산신호로변환하는이미지센서부와이산신호화된간섭무늬정보를저장하는이미지저장부; 상기대물부와상기간섭무늬획득부와상기이미지센서부와상기이미지저장부를제어하는제어부; 상기간섭무늬정보를이용하여측정대상물체의 3차원형상정보를실시간으로복원하는물체형상복원부를포함할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及数字全息显微镜和通过使用数字全息技术来恢复待测物体的三维图像的方法。根据本发明，数字全息显微镜包括：混合光源单元; 波长分割单元，从混合光源单元分割具有不同波长的两条光线; 干涉图形获取单元，用于分割来自分割的光线的参考光和物体光，并通过使用对象灯和参考光获得具有关于物体的信息的干涉图案; 对象单元，其安装被测量物体，通过光学控制物体光将物体光照射到被测量物体; 图像存储单元，测量干涉图案并将干涉图案转换成离散信号; 图像存储单元，其存储关于离散信号的干涉图案的信息; 控制对象单元的控制单元，干涉图案获取单元，图像传感器单元和图像存储单元; 以及对象形状恢复单元通过使用关于干涉图案的信息实时地恢复待测量对象的三维形状信息。

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